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普发真空为真空处理过程中的气体测定提供了各种不同的分析仪。从质谱仪到复杂的分析系统，在我们这里您将会找到从超高真空范围一直到大气压力的气体分析解决方案。四极杆质谱仪 PrismaPlus/PrismaPro 是气体分析最基础的设备。PrismaPlus/Pro 是一个普遍适用的质谱仪，其磁场轴技术保证了高灵敏度。它还具有高效率以及测量速度快的特点。并且 PrismaPlus/Pro 不仅仅显示各自的分压，同样也可以检测总压力。它的界面接口使这款质谱仪可以很容易地与气体色谱仪连接。紧凑的设计，模块化结构和用户友好软件 使其成为泄漏检测、半导体制造、玻璃镀膜、冶金化工的理想设备。另外，在研发领域也有无数的应用。普发真空为其客户在所有这些领域中提供量身定制的解决方案。当然，普发真空还提供所需的质谱仪配件，例如各种离子源阴极。
质谱测量是一种可以用来测量原子和分子质量的方法。通过这种方式测量化学混合物成分的分压来分析化合物。待分析的物质首先被转化为气态的聚合状态并且发生电离。电场使离子加速，使得它们在其各自的质荷比基础上被分类和分离。然后测定气体各种成分的分压。每个质谱仪包括一个离子源、一个质量过滤器和一个检测器。根据所采用的质量过滤器来区分不同类型的质谱仪 。由于其广泛的应用选项，四极杆质谱仪具有可靠的测量表现。这些分析设备也经常用于真空技术。
四极杆质谱仪具有平行排列的四根电极杆，构成了四极场。它们的交点与平面垂直于圆柱体轴线，形成一个场（因此命名为四极）。静态电场使离子加速以后，离子飞过四极场。杆之间的四极场每次只会允许给定质量的一个粒子通过，。四极杆质谱仪提供高分辨率版本以简易版两种型号供用户用作残余气体分析。由于其频率范围宽，这类质谱仪可应用于众多领域，包括从药理学到环境分析领域。
带有二级电子倍增器的四极杆质谱仪，为超高真空室内的气体成分定性分析提供最大的检测灵敏度。
对于高真空下的残余气体分析，必须只检测到极少量的气体。普发真空残余气体分析仪里的二级电子倍增器因此保证了四极质量过滤器提供的小型离子电流较高的放大率。所有使用的材料都经过精心挑选，用于超高真空并能承受较高的烘烤温度。
一些离子源可用于不同的应用，包括具有极低释气速率的栅网离子源。
模块化结构的紧凑型质谱仪可适合您的使用。有以下离子源可供选择：具有极高灵敏度和线性的开放式离子源，适用于残余气体分析和 HV 与极高真空范围内分析性任务。适用于与进气系统接合的气密离子源。适用于直接进气的交叉臂离子源。格栅离子源特别针对极高真空内残余气体分析，具有极低脱气率和解吸率。
适用于最佳分辨率和极高灵敏度的质量范围 1-100 amu
高真空和极高真空范围内的高效残余气体分析和真空工艺监控
测量速度、稳定性和分辨率性能高
分析仪和电子装置的互换性
两根长丝形成最佳可用性
适用于不与离子源壁相互作用的直接进气
适用于与进气系统接合
两根长丝形成最佳可用性
适用于最佳分辨率和极高灵敏度的质量范围 1-100 amu
| 阴极 | 加热温度：分析仪 [摄氏度] | 连接 | E/A 接口 | 订单号 |
|---|---|---|---|---|
| 钨 | 200 | 0° | PT M06 131 110 | |
| 钨 | 200 | 0° | I/O 220 | PT M06 131 111 |
| 钨 | 200 | 90° | PT M06 131 120 | |
| 钨 | 200 | 90° | I/O 220 | PT M06 131 121 |
适用于进气系统、低耗气量、高信号/噪音比例的组合
两根长丝形成最佳可用性
适用于最佳分辨率和极高灵敏度的质量范围 1-100 amu
| 阴极 | 加热温度：分析仪 [摄氏度] | 连接 | E/A 接口 | 订单号 |
|---|---|---|---|---|
| 钨 | 200 | 0° | PT M06 121 110 | |
| 钨 | 200 | 0° | I/O 220 | PT M06 121 111 |
| 钨 | 200 | 90° | PT M06 121 120 | |
| 钨 | 200 | 90° | I/O 220 | PT M06 121 121 |
| 钇铱 | 200 | 0° | I/O 220 | PT M06 122 111 |
特殊用于极高真空下残余气体分析 极低脱气率和解吸率
两根长丝形成最佳可用性
适用于最佳分辨率和极高灵敏度的质量范围 1-100 amu
| 阴极 | 加热温度：分析仪 [摄氏度] | 连接 | E/A 接口 | 订单号 |
|---|---|---|---|---|
| 钨 | 200 | 0° | PT M06 141 110 | |
| 钨 | 200 | 0° | I/O 220 | PT M06 141 111 |
| 钨 | 200 | 90° | PT M06 141 120 | |
| 钨 | 200 | 90° | I/O 220 | PT M06 141 121 |
| 钨 | 200 | 0° | PT M06 141 210 |
具有极高灵敏度和线性的离子源 适用于残余气体分析和高真空与极高真空下分析任务
两根长丝形成最佳可用性
适用于最佳分辨率和极高灵敏度的质量范围 1-100 amu
高真空和极高真空范围内的高效残余气体分析和真空工艺监控
| 阴极 | 加热温度：分析仪 [摄氏度] | 连接 | E/A 接口 | 订单号 |
|---|---|---|---|---|
| 钨 | 200 | 0° | PT M06 111 110 | |
| 钨 | 200 | 0° | I/O 220 | PT M06 111 111 |
| 钨 | 200 | 90° | PT M06 111 120 | |
| 钨 | 200 | 90° | I/O 220 | PT M06 111 121 |
| 钨 | 200 | 0° | I/O 220 | PT M06 111 211 |
| 钇铱 | 200 | 0° | I/O 220 | PT M06 112 111 |
PrismaPlus 紧凑型质谱仪
适用于 Windows XP Professional 和 Vista Ultimate 的 Quadera®软件
简单定义和调用测量方案
借助集成的矩阵计算确定气体浓度
网络通过以太网实现
| EMC | EN 61326-1 |
| MID 中的测量通道的数量 | 128 件 |
| 供应: 电压 | 90 – 260 V AC |
| 分辨率，10% 峰值高度时可调节 | 0.5 - 2.5 u |
| 加热温度：分析仪 | 200 摄氏度 |
| 安全 | EN 61010-1 / IEC 1010 |
| 安装方向 | 任意 |
| 对 Ar 的灵敏度：C-SEM | 200 A/mbar |
| 对 Ar 的灵敏度：法拉第 | 5 · 10-4 A/mbar |
| 对于相邻物体的输入：40 比 41 | 10 百万分率 |
| 峰值比的可再现性 | 0.5 % |
| 工作温度：分析仪 | 150 摄氏度 |
| 工作温度：电气设备 | 0 – 40 摄氏度 |
| 探测器 | C-SEM/Faraday |
| 接口 | Ethernet |
| 最大工作压力：C-SEM | 1 · 10-5 百帕 |
| 最大工作压力：法拉第 | 1 · 10-4 百帕 |
| 杆系统：直径 | 6 毫米 |
| 杆系统：长度 | 100 毫米 |
| 检测极限：C-SEM (hPa) | 1 · 10-14 百帕 |
| 检测极限：Faraday (hPa) | 5 · 10-12 百帕 |
| 测量速度：MID | 2 ms - 60 s/amu |
| 测量速度：扫描条形图 | 20 ms - 60 s/amu |
| 测量速度：模拟扫描 | 20 ms - 60 s/amu |
| 温度：储存 | -25 – 70 摄氏度 |
| 离子源 | 交叉臂,2 阴极 |
| 质量范围 | 1 – 100 u |
| 输入数字 | EXT_PROTECTION, 24 V |
| 连接 | 0° |
| 连接法兰（入口） | DN 40 CF-F |
| 重量 | 3.8 千克 |
| 阴极 | 钨 |
