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安捷伦主动式真空规的一体式紧凑包中含有规和控制器。这些规非常适用于嵌入式 OEM 以及一台控制计算机或 PLC 处理一个或多个规的显示/控制功能工业系统。用户提供输入电源(一般为 24 V),并通过电脑或 PLC 读取压力输出。用户可以通过各种设定点的交互功能实现系统自动化。
真空范围 | 真空规类型 | 真空规特性 |
前级泵 — 大气压低至 10-3 mbar | ||
CT-100 对流式真空规 |
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PVG-500 微型皮拉尼规 |
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CDG-500 电容薄膜规管 |
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PCG-750 皮拉尼/电容薄膜真空规管 |
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全量程真空规管 — 大气压低至 10-10 mbar | ||
FRG-700/702 皮拉尼/反磁式真空规管 |
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FRG-720/730 皮拉尼/B-A 型规 |
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B-A 型和皮拉尼复合规具有从 5 x 10-10 mbar 至大气压的宽测量范围
皮拉尼联锁可防止 B-A 型传感器过早烧毁和受高压操作污染
使用寿命长的涂氧化钇铱灯丝提供了适合多种应用的耐久设计
设定控制点
LCD 显示器选件使压力读数监控更加方便
Profibus 通信选件简化了控制网络
技术指标
测量范围(空气、O2、CO、N2) | 5 x 10-10 到 1000 mbar(3.8 x 10-10 到 760 Torr) | ||||||
准确度 | 10-8 到 10-2 mbar/torr — 读数准确度为 ± 15% | ||||||
重复性 | 10-8 到 10-2 mbar/torr — 读数准确度为 ± 5% | ||||||
除气 | 压力低于 7.2 x 10-6 mbar — 电子轰击,最多 3 分钟 | ||||||
最大压力 | 2 bar(绝对压力) | ||||||
温度 | 操作 (周围环境) | 储存 | 在带有外延法兰处的烘烤温度 | 不带外延法兰处的烘烤温度 | 电子移除后的烘烤温度 | ||
0 到 50 °C | -20 到 + 70 ℃ | 150°C | 80 ℃ | 150°C | |||
电源电压 | 20 到 28 VDC,在启动 200 ms 电流为 1.4 A,工作时电流为 0.8 A | ||||||
输出信号模拟 测量范围 电压和压力关系 错误信号 最小负载阻抗 | 0 到 10 V 0.774 到 10.0 V 0.75 V/格 0.3/0.5 V 10 kΩ | ||||||
通讯接口 | RS-232C | ||||||
电气连接 | D-sub,15 针,外口 | ||||||
最大电缆长度 | 100 m(330 英尺) | ||||||
暴露于真空中的材料 | Yt2O3,Ir,Pt,Mo,Cu,W,NiFe,NiCr,不锈钢,玻璃 | ||||||
内部体积 | KF/CF | 24 cm3(1.46 立方英寸)/34 cm3(2.1 立方英寸) | |||||
重量 | KF/CF | 285 g/550 g | |||||
保护类型 | IP30 | ||||||
FRG-730 设定点继电器 (1) | 范围 | 继电器触点 | 滞后 | 触点额定值 | |||
1 x 10-9 到 100 mbar | n.o., | 读数的 10% | 30 V/0.5 A,直流 | ||||
Profibus 选项 | |||||||
波特率 | 9.6/19.2/93.75/187.5/500 千波特;1.5/12 毫波特 | ||||||
地址 | 2 个开关(地址 00 - 127)或可网络编程 | ||||||
数字功能 | 读取压力,选择单位 (Torr, mbar, Pa);脱气功能,皮拉尼全量程调整;监控规管状态;安全状态允许对错误情况的行为进行定义;详细的报警和警告信息 | ||||||
模拟功能 | 0 到 10 V 模拟输出压力指示;两个设定点继电器 A + B | ||||||
设定点继电器 (2) | 范围 | 继电器触点 | 滞后 | 触点额定值 | |||
1 x 10-9 到 100 mbar | n.o., | 10 % 读数 | 60 V/0.5 A,直流 | ||||
Profibus DP 连接器 | D-Sub,9 针,内口 |
外形图
技术参数