TwisTorr 804 FS
Agilent TwisTorr 804 FS 高真空涡轮分子泵采用 TwisTorr 拖动技术和安捷伦悬浮轴承,具有高性能、高可靠性及经济性。TwisTorr 拖动技术对小分子气体(如氢气和氦气)能提供高压缩比,从而实现大抽气量和高前级耐压,进而能使用更经济实惠、更小型的前级泵。该技术使得转子能采用紧凑的设计,变得高效节能,并能保持较低的工作温度。安捷伦悬浮轴承系统降低了噪音和振动,并能保证最佳的轴承工作条件,从而能延长工作寿命,最大程度减少系统停机时间,并能确保长时间稳定性。TwisTorr 804 FS 泵独有的轴承和干式润滑剂设计,使得泵无需泵油和维护,能够以任意方向安装。可选择一体式控制器或机架控制器。
附件
07_Turbo_Pumps.pdf
典型涡轮泵应用
安捷伦涡轮分子泵包括集成泵组和多流路泵,其设计旨在实际应用中达到最佳性能。泵的紧凑型设计满足工业中的严苛空间要求。涡旋分子泵几乎不需要维护,并可避免错误使用。无论您是终端用户还是原始设备制造商,安捷伦均可针对您的应用为您提供帮助和支持,或定制适合您的需求的系统。
典型涡轮泵应用
质谱和分析仪器 | 针对质谱系统优化的全系列泵和控制器 具有多入口泵组的定制泵 低成本、易于使用、高分析性能 对于 GC/MS,提供用于相对低气体载荷环境的 1 个真空室和用于分析无机样品的中等真空接口 对于 LC/MS,需要提供多室、高通量真空系统 对于 ICP-MS,提供多种真空系统,包括用于氩气等重载气的泵和使用氦气的碰撞池 对于 TOF 系统,需要较小尺寸、高通量和高效的散热设备
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科研中的真空应用 | | 高能物理 融合技术 一般 UHV 研究 同步光源粒子加速器
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工业真空加工 | | 薄膜沉积: 玻璃涂层设备(建筑和汽车玻璃,平板显示器) 薄膜太阳能电池生产(光电) 光学数据介质(CD、DVD、磁光光盘) 磁性存储介质 表面处理 光学涂层(眼科、精密光电) 膜或箔上的辊式/卷绕涂覆
设备加工: 生产电视机和显示器显像管 疏散灯(高速公路照明、投影机) X 射线管和电子设备
一般工艺: |
纳米技术仪器 | 分析从有机化合物到半导体晶片等各类物质 全系列的高真空和超高真空泵特别适用于要求严苛的 SEM、TEM 和表面分析系统 低振动涡旋泵适用于最敏感的显微分析 可快速、无油式排空大型样品室内的气体 集成的泵控制器可灵活进行控制,几乎不生成电磁噪音 非常适合为半导体生产创造合适环境 高转速确保能够以高泵速抽空半导体生产中释放的轻质气体(He、H) 符合高速循环应用的严格要求,例如真空装载锁 通过对多个涡旋泵联用一个前级泵,可提高工具的可靠性 联用 Turbo-V 和 TriScroll 干式泵可泵送大量气体 安装于支架上的控制器或一体式控制器允许将电子设备放置于远处
| 电子显微镜(SEM、TEM) 聚焦离子束系统 (FIB) 表面分析 半导体制造
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