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INFICON Edge 电容膜片真空计属于高精准真空测量仪器，专为 苛刻的生产环境而设计。经验证的温度控制、防腐蚀超纯陶瓷传感器可长期提供 卓越的满量程稳定性和最先进的零点稳定性。Edge 采用 INFICON 获得专利的 独特传感器屏蔽，可保护真空计在使用过程中产生不需要的附带结果。 先进的电子设备为所有应用提供各种可配置的信号条件以及可选的 EtherCAT 现场总线接口。 创新的加热概念确保了冰凉的接触表面并节省了宝贵的工具空间。 INFICON Edge 是同类产品中体积最小的真空测量仪器。
设计紧凑，节省宝贵的工具空间
易于集成，EtherCAT，各种满刻度和法兰，标配两个设定点
轻松一键调零或远程信号调零指令，可调零点偏移
诊断端口用于快速维修和维护
两年保修服务，先进的加热概念和真空计保护延长了使用寿命
卓越的信号稳定性和可重复性，即使是最苛刻的等离子应用，都无需长期执行重新校准
合规性与标准：CE、EN、UL、SEMI、RoHS
用于 CVD、刻蚀、PVD 和其他半导体制造过程
| 类型 | 1000 ... 500 Torr / mbar | 200 ... 1 Torr / mbar | |
|---|---|---|---|
| 精度 (1) | % of reading | 0.15 | 0.15 |
| 温度效应 | |||
| 零点 | percent FS/°C | 0.0025 | 0.0025 |
| 满量程 | % of reading / °C | 0.02 | 0.02 |
| 压力，最大 | kPa (absolute) | 400 | 260 |
| 分辨率 | percent FS | 0.003 | 0.003 |
| 最低读数 | percent FS | 0.01 | 0.01 |
| 建议的最低读数 | percent FS | 0.05 | 0.05 |
| 建议的最低控制压力 | percent FS | 0.5 | 0.5 |
| 温度 | |||
| 传感器 | °C | 100 | 100 |
| 运行（周围环境）（5） | °C | +10 … +50 | +10 … +50 |
| 在法兰处烘烤 | °C | ≤110 | ≤110 |
| 贮存 | °C | –20 … +65 | –40 … +65 |
| 电源电压 | +14 … +30 VDC or ±15 V (±5%) | +14 … +30 VDC or ±15 V (±5%) | |
| 功耗 | |||
| 加热时 | W | ≤20 | ≤20 |
| 运行温度 | W | ≤14 | ≤14 |
| 输出信号（模拟） | V (dc) | 0 … +10 | 0 … +10 |
| 反应时间 (2) | ms | 30 | 30 |
| 保护等级 | IP 40 | IP 40 | |
| 标准 | |||
| CE 合规 | EN 61000‑6‑2/-6-3, EN 61010 & RoHS | EN 61000‑6‑2/-6-3, EN 61010 & RoHS | |
| ETL 认证 | UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1 | UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1 | |
| SEMI 合规 (5) | SEMI S2 | ||
| 电气连接 | D-sub, 15 pole, male | D-sub, 15 pole, male | |
| 设定点 | |||
| 设定点数量 | 2 (SP1,SP2) | 2 (SP1,SP2) | |
| 继电器触点 | ≤30 | ≤30 | |
| 滞后 | percent FS | 1 | 1 |
| 诊断端口 | |||
| 协议 | RS232-C | RS232-C | |
| 读数 | pressure, status, ID | pressure, status, ID | |
| 设置 | set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset | set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset | |
| 暴露于真空的材料 | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (4)) | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (4)) | |
| 内部容积 | |||
| 内部容积 1/2'' 管 | cm³ (in.³) | 4.2 (0.26) | 4.2 (0.26) |
| 内部容积 DN 16 ISO KF | cm³ (in.³) | 4.2 (0.26) | 4.2 (0.26) |
| 内部容积 DN 16 CF-R | cm³ (in.³) | 4.2 (0.26) | 4.2 (0.26) |
| 内部容积 8 VCR® | cm³ (in.³) | 4.2 (0.26) | 4.2 (0.26) |
| 重量 | |||
| 重量 1/2'' 管 | g | 837 | 837 |
| 重量 DN 16 ISO KF | g | 852 | 852 |
| 重量 DN 16 CF-R | g | 875 | 875 |
| 重量 8 VCR® | g | 897 | 897 |
| EtherCAT | |||
| 协议 EtherCAT | protocol specialized for EtherCAT | protocol specialized for EtherCAT | |
| 通讯标准 | ETG.5003 Part 1 "Semiconductor Device Profile" ETG.5003 Part 2080 "Specific Device Profile: Vacuum Pressure Gauge" | ETG.5003 Part 1 "Semiconductor Device Profile" ETG.5003 Part 2080 "Specific Device Profile: Vacuum Pressure Gauge" | |
| 数据率 | Kbps | 100000 | 100000 |
| 节点地址 | Explicit Device Identification | Explicit Device Identification | |
| 物理层 | 100BASE-Tx (IEEE 802.3) | 100BASE-Tx (IEEE 802.3) | |
| 数字功能读取 | pressure, status, ID | pressure, status, ID | |
| 数字功能设置 | set points, filter, zero adjust, reset, DC offset | set points, filter, zero adjust, reset, DC offset | |
| 过程数据 | Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping | Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping | |
| 邮箱 (CoE) | SDO requests, responses and information | SDO requests, responses and information | |
| EtherCAT 连接器 | RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT | RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT | |
| 电缆 | shielded Ethernet CAT5e or higher | shielded Ethernet CAT5e or higher | |
| 电缆长度 | m (ft.) | ≤100 (330) | ≤100 (330) |
| CDG（模拟输出、电源电压、设定点）连接器 | D-sub, 15 pin, male | D-sub, 15 pin, male | |
(1) 在25℃操作温度下的非线性、滞后和可重复性在操作2小时后不丑温度影响。
(2)提高 10 … 90% FS
。(3) 仅针对压力控制型
。(4) 18% 铬、10% 镍、3% 钼、69% 铁。
(5)环境温度 >40°C 可增大表面温度高于 SEMI S2 的规定值
