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INFICON CrystalSix 晶体对于要求连续监控速率的长时间过程非常重要。CrystalSix 传感器在一个传感器头中含有 6 颗石英监控器晶体，为 OLED、MBE、太阳能、长时间光学镀膜或其他需要长时间腔室排气的过程提供安全性。与 INFICON 薄膜沉积监控器结合使用时，CrystalSix 在当前晶体失效或不稳定的情况下，会自动将新的晶体转动到适当的位置。晶体更换是自动完成的，不会中断您的过程，支持持续监控沉积速率。
晶体索引通过气动机制完成。相比同类装置使用的昂贵的真空发热电机，这种气动马达可提供更好的晶体热稳定性。一个 8 英寸的水冷却管保持传感器头的热稳定性，并提供晶体位置的灵活性。
与某些 INFICON 薄膜控制器结合使用时，传感器提供位置反馈，因此可针对特定的材料安排特定的位置。
装有 6 颗晶体，可进行可靠的自动转换，从而最大限度延长过程运行时间
晶体转换由空气驱动完成（竞争产品是使用生热电机），因而晶体温度非常稳定
1/8" 管保持热稳定性，并提供传感器放置的灵活性
提供可选晶体闸
| 类型 | CrystalSix Sensor | |
|---|---|---|
| 无水时的最高烘烤温度 | 130°C | |
| 最小水流时的最高工作等温环境温度 | 400° C | |
| 水、空气和同轴长度 | Standard 30 in. (76 cm) | |
| 晶体交换 | Front-loading, extraction tool required (supplied with unit) | |
| 安装 | Six #4-40 tapped holes on the back of the sensor body | |
| 尺寸（最大外壳） | 3.8 in. (9.7 cm) DIA x 2.0 in. (5.1 cm) high | |
| 安装要求 | ||
| 馈入件 | Qty (1) 2¾ in. ConFlat® with one coaxial feedthrough, two pass water, one air IPN 750-685-G1, or, Qty (1) 750-685-G2, with one coaxial feedthrough three tube with Ultra-Torr compression fittings or, Qty (1) 1 in. bolt with one coaxial feedthrough, two pass water, one air IPN 750-030-G1,
| |
| 其他 | User to provide vacuum-tight braze joints or connectors for the water and air tubes. Valve assembly for air, IPN 750-420-G1 (not provided), with a 0.022 in. restrictor orifice installed by the user. (Orifice included with CrystalSix accessory kit.) | |
| 实用工具 | ||
| 最小水流 | 150-200 cc/min, 30° C max (Do not allow water to freeze). Coolant should not contain chlorides as stress corrosion cracking may occur. | |
| 可调节的空气源 | 80-90 PSIG (5.5 bar – 6.2 bar) [550 kPa – 620 kPa] 2 meter maximum length of 1/8 in. tubing between sensor head and the solenoid valve. | |
| 材料 | ||
| 板、支架、材料罩、机械部件 | 304 type stainless steel | |
| 弹簧、电气触点 | Au plated Be-Cu, Au Plate Inconel, 303 stainless steel | |
| 水管和空气管 | S-304, 0.125 in. (0.32 cm) O.D. x 0.016 in. (0.04 cm) Wall Thickness 30 in. Long (76 cm) seamless stainless steel tubing | |
| 连接器 (Microdot®) | Stainless steel | |
| 绝缘体 | >99% Al2O3 | |
| 电缆 | Teflon® insulated copper | |
| 晶体 | 0.550 in. Diameter | |
| 主体和圆盘 | 2024 T351 Aluminum | |
| CrystalSix Sensor | |
|---|---|
| 零件号 | 明细 |
| 750-446-G1 | CrystalSix 传感器（仅传感器，不包括馈入件） |
| 名称 | 说明 |
|---|---|
| QCM 传感器馈入件 | QCM 传感器馈入件 |
| CrystalSix Sensor | |
|---|---|
| 零件号 | 明细 |
| 750-420-G1 | 电磁阀，24 伏（与带闸门和多晶体传感器配合使用） |
| 名称 | 说明 |
|---|---|
| 石英监控器晶体 | 石英监控器晶体 |
| CrystalSix Sensor | |
|---|---|
| 零件号 | 明细 |
| 007-007 | 止动弹簧（用于晶体支架） |
| 007-023 | 陶瓷夹持器 |
| 070-0170 | 2 SPLIT LOCKWASHER SS |
| 070-0398 | 5103-12H,EXT CRESCENT RET RIN |
| 070-0777 | Compression Spring, CrystalSix |
| 070-0778 | Ball Bearing, CrystalSix |
| 070-0779 | Ball Bearing, CrystalSix |
| 070-0870 | Washer, Teflon, CrystalSix |
| 070-0877 | Shim Spacer, CrystalSix |
| 070-0879 | Ball Bearing, CrystalSix |
| 073-114 | .022 DIA SS WIRE SPR TMPR 304 |
| 082-026 | Nut, 2-56 Hex, Stainless Steel |
| 750-048-P1 | Retainer Spring, CrystalSix |
| 750-175-P1 | 绝缘体（片簧下面） |
| 750-188-P2 | 片簧 |
| 750-249-P2 | Retaining Pin, CrystalSix Sensor |
| 750-250-G1 | Deposition Shield, CrystalSix Sensor |
| 750-256-P2 | Extension Spring |
| 750-257-P3 | Corrugated Spring, CrystalSix Sensor |
| 750-261-G1 | Carousel Assembly, CrystalSix Sensor |
| 750-262-G1 | 晶体支架 |
| 750-265-G1 | Top Plate Weld Assembly, CrystalSix |
| 750-276-P2 | DET,ACTUATOR COVER PASSIVATED |
| 750-278-P2 | DET,WATER LINE |
| 750-286-P2 | Pneumatic Actuator,CrystalSix/Crystal 12 |
| 750-290-P3 | Electrical Contact, CrystalSix Sensor |
| 750-291-P1 | Detent, CrystalSix/Crystal 12 |
| 750-293-P2 | Ratchet, CrystalSix/Crystal 12 |
| 750-294-P2 | Stop Ratchet, CrystalSix/Crystal 12 |
| 750-295-G1 | Pawl/Actuator Stem, Crystal 12 Sensor |
| 750-336-G1 | 电阻网络组件 |
| 750-338-P1 | DET, CONTACT INSULATOR |
| In-vacuum cables | |
| 321-039-G12 | 真空电缆，15.2 厘米（6 英寸） |
| 007-252 | 真空电缆，30.5 厘米（12 英寸） |
| 321-039-G11 | 真空电缆，61.0 厘米（24 英寸） |
| 007-044 | 真空电缆，78.1 厘米（30.75 英寸） |
| 007-059 | 真空电缆，91.4 厘米（36 英寸） |
| 007-061 | 真空电缆，121.9 厘米（48 英寸）- 需要 ModeLock 控制器 |
| 321-039-G13 | 真空电缆，154.2 厘米（60 英寸）- 需要 ModeLock 控制器 |
| 321-039-G14 | 真空电缆，182.9 厘米（72 英寸）- 需要 ModeLock 控制器 |
| 321-039-G15 | 真空电缆，3.5 米（137.8 英寸）- 需要 ModeLock 控制器和4 米 XIU |
| 321-039-G16 | 真空电缆，4 米（157.5 英寸）- 需要 ModeLock 控制器和4 米 XIU |
