联系人： 张小姐
手 机：13913143077
联系人：李先生
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监控您的过程
无与伦比的性能有助于提高产量并实现最长运行时间
持续升高的硅晶圆价格和成品需求意味着损坏晶圆的代价比以前更高。因此，在半导体制造中心了解过程并监测缺陷也变得更加重要。Transpector MPH 气体分析系统专门用于让您的系统在所有气体分析应用中都实现业内一流的性能，有助于最大限度地提高芯片产量，降低工具停工时间。Transpector MPH 兼具较低总体拥有成本和较长故障平均间隔时间的特性，有助于让您的盈亏底线优于市场上的所有其他残余气体分析仪 (RGA)。
INFICON 发挥其在气体分析过程控制设备领域的专长，制造的 RGA 拥有业内一流的数据采集速度、最低可检测分压和最小的信噪比。所有这些特性都不会牺牲 INFICON Transpector 气体分析仪一贯出色的可靠性。
模拟扫描和所选峰值的 1.8 ms 最高每点数据率
TCP/IP 以太网连接
双丝极
可现场更换电子倍增器
组合阳极、阴极和反射极丝极套件
较短的传感器可降低安装占地面积
九个数量级的动态量程
<2E-15 Torr 的 MDPP（100 amu 型号)
信噪比更高
可调换传感器和电子元件
传感器在洁净室环境中装配、测试并进行双层包装
符合 RoHS 标准
| 类型 | MPH100F | MPH100M | MPH200F | MPH200M | MPH300F | MPH300M | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 传感器长度 | 14.3 cm | 19.3 cm | 14.3 cm | 19.3 cm | 14.3 cm | 19.3 cm | |
| 质量范围 | 100 amu | 100 amu | 200 amu | 200 amu | 300 amu | 300 amu | |
| 检测器类型 | FC | FC/EM | FC | FC/EM | FC | FC/EM | |
| 灵敏度 (FC) | 6E-4 A/Torr | 6E-4 A/Torr | 5E-4 A/Torr | 5E-4 A/Torr | 4E-4 A/Torr | 4E-4 A/Torr | |
| 灵敏度 (EM) | NA | 500 A/Torr | NA | 500 A/Torr | NA | 250 A/Torr | |
| 最小可检测分压 | 3E-13 Torr | 2E-15 Torr | 4E-13 Torr | 3E-15 Torr | 5E-13 Torr | 4E-15 Torr | |
| 最高传感器工作温度(FC) | 200°C | 200°C | 200°C | 200°C | 200°C | 200°C | |
| 最高传感器工作温度(EM) | NA | 150°C | NA | 150°C | NA | 150°C | |
| 丝极类型选件 (1) | Y2O3/Ir | Y2O3/Ir | Y2O3/Ir | Y2O3/Ir | Y2O3/Ir | Y2O3/Ir | |
| 丝极类型选件 (2) | Tungsten | Tungsten | Tungsten | Tungsten | Tungsten | Tungsten | |
| 分辨率（整个质量范围内） | <1 amu wide (3) | <1 amu wide (3) | <1 amu wide (3) | <1 amu wide (3) | <1 amu wide (3) | <1 amu wide (3) | |
| 温度系数 | <1% of peak height/°C | <1% of peak height/°C | <1% of peak height/°C | <1% of peak height/°C | <1% of peak height/°C | <1% of peak height/°C | |
| 最高每点数据率 | 1.8 ms | 1.8 ms | 1.8 ms | 1.8 ms | 1.8 ms | 1.8 ms | |
| 零冲击（@ 质量 2） | <5 ppm | <5 ppm | <65 ppm | <65 ppm | <100 ppm | <100 ppm | |
| 最大工作压力 | 5E-4 Torr | 5E-4 Torr | 5E-4 Torr | 5E-4 Torr | 5E-4 Torr | 5E-4 Torr | |
| 最高烘烤温度 | 300 | 300 | 300 | 300 | 300 | 300 | |
| 功率输入 | 20-30 VDC | 20-30 VDC | 20-30 VDC | 20-30 VDC | 20-30 VDC | 20-30 VDC | |
(1) 用于普通应用
(2) 用于卤素环境应用
(3) 位于峰值高度的 10%
| MPH100F | |
|---|---|
| 零件号 | 明细 |
| 961-021-G1 | MPH 电源，80 - 250 VAC / 4 ft (1.2m) 美式插头 |
| 961-021-G2 | MPH 电源，80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 美式插头，带 15 ft (4.5m) 延长电缆 |
| 961-021-G3 | MPH 电源，80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 美式插头，带 30 ft (9m) 延长电缆 |
| 961-021-G4 | MPH 电源，80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 230V 插头 |
| 961-021-G5 | MPH 电源，80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 230V 插头，带有 15 ft (4.5m) 延长电缆 |
| 961-021-G6 | MPH 电源，80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 230V 插头，带有 30 ft (9m) 延长电缆 |
| 600-1190-P8 | Cable, Ethernet Communication, 7.6 Meter |
| 600-1190-P15 | ETHERNET COMUNICATION CABLE 15.3 METER |
| 600-1428-P1 | 电源延长电缆 - 15 ft (4.5m) |
| 600-1429-P1 | 电源延长电缆 - 30 ft (9m) |
| 961-417-G1 | 4 端口以太网路由器，带有 Wi-Fi 按钮 |
| 961-418-G1 | 8 端口以太网交换机 |
| 961-702-G1 | Pirani 联锁套件 |
| 914-024-G1 | Angle Valve Kit, Manual |
| 914-026-G1 | MPH 角阀套件，电动气动 24 V(DC)（包括加热器） |
| 961-029-G1 | HEATING JACKET KIT 120V |
| 961-029-G2 | HEATING JACKET KIT 230V |
| MPH100M | |
| 零件号 | 明细 |
| 961-021-G1 | MPH 电源，80 - 250 VAC / 4 ft (1.2m) 美式插头 |
| 961-021-G2 | MPH 电源，80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 美式插头，带 15 ft (4.5m) 延长电缆 |
| 961-021-G3 | MPH 电源，80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 美式插头，带 30 ft (9m) 延长电缆 |
| 961-021-G4 | MPH 电源，80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 230V 插头 |
| 961-021-G5 | MPH 电源，80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 230V 插头，带有 15 ft (4.5m) 延长电缆 |
| 961-021-G6 | MPH 电源，80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 230V 插头，带有 30 ft (9m) 延长电缆 |
| 600-1190-P8 | Cable, Ethernet Communication, 7.6 Meter |
| 600-1190-P15 | ETHERNET COMUNICATION CABLE 15.3 METER |
| 600-1428-P1 | 电源延长电缆 - 15 ft (4.5m) |
| 600-1429-P1 | 电源延长电缆 - 30 ft (9m) |
| 961-417-G1 | 4 端口以太网路由器，带有 Wi-Fi 按钮 |
| 961-418-G1 | 8 端口以太网交换机 |
| 961-702-G1 | Pirani 联锁套件 |
| 914-024-G1 | Angle Valve Kit, Manual |
| 914-026-G1 | MPH 角阀套件，电动气动 24 V(DC)（包括加热器） |
| 961-029-G1 | HEATING JACKET KIT 120V |
| 961-029-G2 | HEATING JACKET KIT 230V |
| MPH200F | |
| 零件号 | 明细 |
| 961-021-G1 | MPH 电源，80 - 250 VAC / 4 ft (1.2m) 美式插头 |
| 961-021-G2 | MPH 电源，80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 美式插头，带 15 ft (4.5m) 延长电缆 |
| 961-021-G3 | MPH 电源，80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 美式插头，带 30 ft (9m) 延长电缆 |
| 961-021-G4 | MPH 电源，80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 230V 插头 |
| 961-021-G5 | MPH 电源，80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 230V 插头，带有 15 ft (4.5m) 延长电缆 |
| 961-021-G6 | MPH 电源，80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 230V 插头，带有 30 ft (9m) 延长电缆 |
| 600-1190-P8 | Cable, Ethernet Communication, 7.6 Meter |
| 600-1190-P15 | ETHERNET COMUNICATION CABLE 15.3 METER |
| 600-1428-P1 | 电源延长电缆 - 15 ft (4.5m) |
| 600-1429-P1 | 电源延长电缆 - 30 ft (9m) |
| 961-417-G1 | 4 端口以太网路由器，带有 Wi-Fi 按钮 |
| 961-418-G1 | 8 端口以太网交换机 |
| 961-702-G1 | Pirani 联锁套件 |
| 914-024-G1 | Angle Valve Kit, Manual |
| 914-026-G1 | MPH 角阀套件，电动气动 24 V(DC)（包括加热器） |
| 961-029-G1 | HEATING JACKET KIT 120V |
| 961-029-G2 | HEATING JACKET KIT 230V |
| MPH200M | |
| 零件号 | 明细 |
| 961-021-G1 | MPH 电源，80 - 250 VAC / 4 ft (1.2m) 美式插头 |
| 961-021-G2 | MPH 电源，80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 美式插头，带 15 ft (4.5m) 延长电缆 |
| 961-021-G3 | MPH 电源，80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 美式插头，带 30 ft (9m) 延长电缆 |
| 961-021-G4 | MPH 电源，80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 230V 插头 |
| 961-021-G5 | MPH 电源，80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 230V 插头，带有 15 ft (4.5m) 延长电缆 |
| 961-021-G6 | MPH 电源，80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 230V 插头，带有 30 ft (9m) 延长电缆 |
| 600-1190-P8 | Cable, Ethernet Communication, 7.6 Meter |
| 600-1190-P15 | ETHERNET COMUNICATION CABLE 15.3 METER |
| 600-1428-P1 | 电源延长电缆 - 15 ft (4.5m) |
| 600-1429-P1 | 电源延长电缆 - 30 ft (9m) |
| 961-417-G1 | 4 端口以太网路由器，带有 Wi-Fi 按钮 |
| 961-418-G1 | 8 端口以太网交换机 |
| 961-702-G1 | Pirani 联锁套件 |
| 914-024-G1 | Angle Valve Kit, Manual |
| 914-026-G1 | MPH 角阀套件，电动气动 24 V(DC)（包括加热器） |
| 961-029-G1 | HEATING JACKET KIT 120V |
| 961-029-G2 | HEATING JACKET KIT 230V |
| MPH300F | |
| 零件号 | 明细 |
| 961-021-G1 | MPH 电源，80 - 250 VAC / 4 ft (1.2m) 美式插头 |
| 961-417-G1 | 4 端口以太网路由器，带有 Wi-Fi 按钮 |
| 961-021-G2 | MPH 电源，80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 美式插头，带 15 ft (4.5m) 延长电缆 |
| 961-021-G3 | MPH 电源，80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 美式插头，带 30 ft (9m) 延长电缆 |
| 961-021-G4 | MPH 电源，80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 230V 插头 |
| 961-021-G5 | MPH 电源，80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 230V 插头，带有 15 ft (4.5m) 延长电缆 |
| 961-021-G6 | MPH 电源，80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 230V 插头，带有 30 ft (9m) 延长电缆 |
| 600-1190-P8 | Cable, Ethernet Communication, 7.6 Meter |
| 600-1190-P15 | ETHERNET COMUNICATION CABLE 15.3 METER |
| 600-1428-P1 | 电源延长电缆 - 15 ft (4.5m) |
| 600-1429-P1 | 电源延长电缆 - 30 ft (9m) |
| 961-418-G1 | 8 端口以太网交换机 |
| 961-702-G1 | Pirani 联锁套件 |
| 914-024-G1 | Angle Valve Kit, Manual |
| 914-026-G1 | MPH 角阀套件，电动气动 24 V(DC)（包括加热器） |
| 961-029-G1 | HEATING JACKET KIT 120V |
| 961-029-G2 | HEATING JACKET KIT 230V |
| MPH300M | |
| 零件号 | 明细 |
| 961-021-G1 | MPH 电源，80 - 250 VAC / 4 ft (1.2m) 美式插头 |
| 961-416-P1 | 备用 MPH 加热套 |
| 961-021-G2 | MPH 电源，80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 美式插头，带 15 ft (4.5m) 延长电缆 |
| 961-021-G3 | MPH 电源，80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 美式插头，带 30 ft (9m) 延长电缆 |
| 961-021-G4 | MPH 电源，80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 230V 插头 |
| 961-021-G5 | MPH 电源，80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 230V 插头，带有 15 ft (4.5m) 延长电缆 |
| 961-021-G6 | MPH 电源，80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 230V 插头，带有 30 ft (9m) 延长电缆 |
| 600-1190-P8 | Cable, Ethernet Communication, 7.6 Meter |
| 600-1190-P15 | ETHERNET COMUNICATION CABLE 15.3 METER |
| 600-1428-P1 | 电源延长电缆 - 15 ft (4.5m) |
| 600-1429-P1 | 电源延长电缆 - 30 ft (9m) |
| 961-417-G1 | 4 端口以太网路由器，带有 Wi-Fi 按钮 |
| 961-418-G1 | 8 端口以太网交换机 |
| 961-702-G1 | Pirani 联锁套件 |
| 914-024-G1 | Angle Valve Kit, Manual |
| 914-026-G1 | MPH 角阀套件，电动气动 24 V(DC)（包括加热器） |
| 961-029-G1 | HEATING JACKET KIT 120V |
| 961-029-G2 | HEATING JACKET KIT 230V |
| MPH100F | |
|---|---|
| 零件号 | 明细 |
| 961-H1FAS | MPH 传感器，100 AMU FC (MPH100F)，带有 Y2O3/Ir 丝 |
| 961-H1FBS | MPH 传感器，100 AMU FC (MPH100F)，带有钨丝 |
| MP-H10S | MPH 电子盒，100 AMU FC 或 EM/FC（MPH100F、MPH100M），带有以太网 |
| 961-700-G1 | 镀铱丝套件 |
| 961-700-G2 | 钨丝套件 |
| 961-701-G1 | 镀依丝离子源 |
| 961-701-G2 | 钨丝离子源 |
| 961-416-P1 | 备用 MPH 加热套 |
| 914-407-P1 | Spare Valve Heating Jacket |
| 600-1117-P1 | Heater Power Cable, Transpector, 120 VAC |
| 600-1117-P2 | Heater Power Cable, Transpector, 230 VAC |
| 914-410-P1 | Spare Angle Valve, Manual |
| 914-220-G1 | Spare Angle Valve, Air Operated |
| 961-206-G2 | MPH 延长套件 |
| 961-022-G1 | 备用 O 形密封圈和螺母套件 |
| 074-5007-G1 | 气体分析产品手册 CD |
| MPH100M | |
| 零件号 | 明细 |
| 961-H1MAS | MPH 传感器，100 AMU EM/FC (MPH100M)，带有 Y2O3/Ir 丝 |
| 961-H1MBS | MPH 传感器，100 AMU EM/FC (MPH100M)，带有钨丝 |
| MP-H10S | MPH 电子盒，100 AMU FC 或 EM/FC（MPH100F、MPH100M），带有以太网 |
| 961-700-G1 | 镀铱丝套件 |
| 961-700-G2 | 钨丝套件 |
| 961-701-G1 | 镀依丝离子源 |
| 961-701-G2 | 钨丝离子源 |
| 961-2428-G2 | 电子倍增器更换套件 |
| 961-416-P1 | 备用 MPH 加热套 |
| 914-407-P1 | Spare Valve Heating Jacket |
| 600-1117-P1 | Heater Power Cable, Transpector, 120 VAC |
| 600-1117-P2 | Heater Power Cable, Transpector, 230 VAC |
| 914-410-P1 | Spare Angle Valve, Manual |
| 914-220-G1 | Spare Angle Valve, Air Operated |
| 961-206-G2 | MPH 延长套件 |
| 961-205-G2 | MPH HPR 延长套件 |
| 961-022-G1 | 备用 O 形密封圈和螺母套件 |
| 074-5007-G1 | 气体分析产品手册 CD |
| MPH200F | |
| 零件号 | 明细 |
| 961-H2FAS | MPH 传感器，200 AMU FC (MPH200F)，带有 Y2O3/Ir 丝 |
| 961-H2FBS | MPH 传感器，200 AMU FC (MPH200F)，带有钨丝 |
| MP-H20S | MPH 电子盒，200 AMU FC 或 EM/FC（MPH200F、MPH200M），带有以太网 |
| 961-700-G1 | 镀铱丝套件 |
| 961-700-G2 | 钨丝套件 |
| 961-701-G1 | 镀依丝离子源 |
| 961-701-G2 | 钨丝离子源 |
| 961-416-P1 | 备用 MPH 加热套 |
| 914-407-P1 | Spare Valve Heating Jacket |
| 600-1117-P1 | Heater Power Cable, Transpector, 120 VAC |
| 600-1117-P2 | Heater Power Cable, Transpector, 230 VAC |
| 914-410-P1 | Spare Angle Valve, Manual |
| 914-220-G1 | Spare Angle Valve, Air Operated |
| 961-206-G2 | MPH 延长套件 |
| 961-022-G1 | 备用 O 形密封圈和螺母套件 |
| 074-5007-G1 | 气体分析产品手册 CD |
| MPH200M | |
| 零件号 | 明细 |
| 961-H2MAS | MPH 传感器，200 AMU EM/FC (MPH200M)，带有 Y2O3/Ir 丝 |
| 961-H2MBS | MPH 传感器，200 AMU EM/FC (MPH200M)，带有钨丝 |
| MP-H20S | MPH 电子盒，200 AMU FC 或 EM/FC（MPH200F、MPH200M），带有以太网 |
| 961-700-G1 | 镀铱丝套件 |
| 961-700-G2 | 钨丝套件 |
| 961-701-G1 | 镀依丝离子源 |
| 961-701-G2 | 钨丝离子源 |
| 961-2428-G2 | 电子倍增器更换套件 |
| 961-416-P1 | 备用 MPH 加热套 |
| 914-407-P1 | Spare Valve Heating Jacket |
| 600-1117-P1 | Heater Power Cable, Transpector, 120 VAC |
| 600-1117-P2 | Heater Power Cable, Transpector, 230 VAC |
| 914-410-P1 | Spare Angle Valve, Manual |
| 914-220-G1 | Spare Angle Valve, Air Operated |
| 961-206-G2 | MPH 延长套件 |
| 961-205-G2 | MPH HPR 延长套件 |
| 961-022-G1 | 备用 O 形密封圈和螺母套件 |
| 074-5007-G1 | 气体分析产品手册 CD |
| MPH300F | |
| 零件号 | 明细 |
| 961-H3FAS | MPH 传感器，300 AMU FC (MPH300F)，带有 Y2O3/Ir 丝 |
| 961-H3FBS | MPH 传感器，300 AMU FC (MPH300F)，带有钨丝 |
| MP-H30S | MPH 电子盒，300 AMU FC 或 EM/FC（MPH300F、MPH300M），带有以太网 |
| 961-700-G1 | 镀铱丝套件 |
| 961-700-G2 | 钨丝套件 |
| 961-701-G1 | 镀依丝离子源 |
| 961-701-G2 | 钨丝离子源 |
| 961-416-P1 | 备用 MPH 加热套 |
| 914-407-P1 | Spare Valve Heating Jacket |
| 600-1117-P1 | Heater Power Cable, Transpector, 120 VAC |
| 600-1117-P2 | Heater Power Cable, Transpector, 230 VAC |
| 914-410-P1 | Spare Angle Valve, Manual |
| 914-220-G1 | Spare Angle Valve, Air Operated |
| 961-206-G2 | MPH 延长套件 |
| 961-022-G1 | 备用 O 形密封圈和螺母套件 |
| 074-5007-G1 | 气体分析产品手册 CD |
| MPH300M | |
| 零件号 | 明细 |
| 961-H3MAS | MPH 传感器，300 AMU EM/FC (MPH300M)，带有 Y2O3/Ir 丝 |
| 961-H3MBS | MPH 传感器，300 AMU EM/FC (MPH300M)，带有钨丝 |
| MP-H30S | MPH 电子盒，300 AMU FC 或 EM/FC（MPH300F、MPH300M），带有以太网 |
| 961-700-G1 | 镀铱丝套件 |
| 961-700-G2 | 钨丝套件 |
| 961-701-G1 | 镀依丝离子源 |
| 961-701-G2 | 钨丝离子源 |
| 961-2428-G2 | 电子倍增器更换套件 |
| 961-416-P1 | 备用 MPH 加热套 |
| 914-407-P1 | Spare Valve Heating Jacket |
| 600-1117-P1 | Heater Power Cable, Transpector, 120 VAC |
| 600-1117-P2 | Heater Power Cable, Transpector, 230 VAC |
| 914-410-P1 | Spare Angle Valve, Manual |
| 914-220-G1 | Spare Angle Valve, Air Operated |
| 961-206-G2 | MPH 延长套件 |
| 961-205-G2 | MPH HPR 延长套件 |
| 961-022-G1 | 备用 O 形密封圈和螺母套件 |
| 074-5007-G1 | 气体分析产品手册 CD |
一家集设计、研发、生产、销售于一体的公司。严谨的管理、超卓的设备、着力于打造优质产品，尽显高科技魅力，安全环保、节能、精致美观、并以周到人性化的设计和稳定出色的质量，成为行业内广大客户的设备
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