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Edwards iH 干泵为高难度的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品）提供高度可靠、成本低廉的泵解决方案。iH 系列具有五级主泵，使用创新的悬臂式转子、爪式和罗茨设计，可改善粉尘的处理，减少排气噪音。此外，iH 系列泵配有一台单级机械增压泵和完全封闭的水冷却电机。
iH 系列为难以执行的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品的 PECVD 和 LPCVD 制程）提供了高可靠性。
负载锁
输送
计量
平版印刷
PVD 制程
PVD 预清洁
RTA
剥离/灰化
刻蚀
植入源
HDP CVD
RTP
SACVD
MCVD
PECVD
LPCVD
ALD
优化了设施消耗。
无需预防性维护。
悬臂轴和特殊的异型转子便于颗粒的处理。
在节省电机功率的同时最大程度提高了工作繁重的 CVD 应用条件下的稳定性。
耐腐蚀的制造材料允许泵送腐蚀性气体。
较高的工作温度为避免气体冷凝提供了充分的安全保证。
整体式轴杆无需使用电机联结器，而第五级泵消除了使用消音器的需要并消除了颗粒堆积，从而降低了总体占地面积。
技术数据
| 峰值速度 | 165 m3h-1 |
| 97 cfm | |
| 2750 l min-1 | |
| 极限真空 | 1 x 10-2 mbar |
| 7.5 x 10-3 Torr | |
| 1 Pa | |
| 典型轴封氮流量 | 4 slm |
| 进气口连接 | ISO63 |
| 出口连接 | NW40 |
| 15 psi 压降下典型冷却水流量 | 120 l h-1 |
| 2 l min-1 | |
| 重量 | 244 kg |
| 极限功率输入 | 3.1 kW |
| 电机额定功率 | 5.0 kW |
| 油容量 | 0.85 l |
一家集设计、研发、生产、销售于一体的公司。严谨的管理、超卓的设备、着力于打造优质产品，尽显高科技魅力，安全环保、节能、精致美观、并以周到人性化的设计和稳定出色的质量，成为行业内广大客户的设备
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