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德国普发真空pfeiffer vacuum 超高真空残余气体分析仪QMG 220 M3

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德国普发真空pfeiffer vacuum 超高真空残余气体分析仪QMG 220 M3

  • 所属分类:残余气体分析仪

  • 点击次数:
  • 发布日期:2017/12/17
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详细介绍

用于过程监测和优化产品品质的分析设备

德国普发真空pfeiffer vacuum 超高真空残余气体分析仪QMG 220 M3,PrismaPlus™,C-SEM,1-300 amu,交叉束离子源,W,200℃,0°,IO 220 模块

普发真空为真空处理过程中的气体测定提供了各种不同的分析仪。从质谱仪到复杂的分析系统,在我们这里您将会找到从超高真空范围一直到大气压力的气体分析解决方案。四极杆质谱仪 PrismaPlus/PrismaPro 是气体分析最基础的设备。PrismaPlus/Pro 是一个普遍适用的质谱仪,其磁场轴技术保证了高灵敏度。它还具有高效率以及测量速度快的特点。并且 PrismaPlus/Pro 不仅仅显示各自的分压,同样也可以检测总压力。它的界面接口使这款质谱仪可以很容易地与气体色谱仪连接。紧凑的设计,模块化结构和用户友好软件 使其成为泄漏检测、半导体制造、玻璃镀膜、冶金化工的理想设备。另外,在研发领域也有无数的应用。普发真空为其客户在所有这些领域中提供量身定制的解决方案。当然,普发真空还提供所需的质谱仪配件,例如各种离子源阴极。

什么是质谱仪

质谱测量是一种可以用来测量原子和分子质量的方法。通过这种方式测量化学混合物成分的分压来分析化合物。待分析的物质首先被转化为气态的聚合状态并且发生电离。电场使离子加速,使得它们在其各自的质荷比基础上被分类和分离。然后测定气体各种成分的分压。每个质谱仪包括一个离子源、一个质量过滤器和一个检测器。根据所采用的质量过滤器来区分不同类型的质谱仪 。由于其广泛的应用选项,四极杆质谱仪具有可靠的测量表现。这些分析设备也经常用于真空技术。

质谱仪及其应用

四极杆质谱仪具有平行排列的四根电极杆,构成了四极场。它们的交点与平面垂直于圆柱体轴线,形成一个场(因此命名为四极)。静态电场使离子加速以后,离子飞过四极场。杆之间的四极场每次只会允许给定质量的一个粒子通过,。四极杆质谱仪提供高分辨率版本以简易版两种型号供用户用作残余气体分析。由于其频率范围宽,这类质谱仪可应用于众多领域,包括从药理学到环境分析领域。

超高真空中的残余气体分析

带有二级电子倍增器的四极杆质谱仪,为超高真空室内的气体成分定性分析提供最大的检测灵敏度。

对于高真空下的残余气体分析,必须只检测到极少量的气体。普发真空残余气体分析仪里的二级电子倍增器因此保证了四极质量过滤器提供的小型离子电流较高的放大率。所有使用的材料都经过精心挑选,用于超高真空并能承受较高的烘烤温度。

一些离子源可用于不同的应用,包括具有极低释气速率的栅网离子源。

PrismaPlus™ QMG 220 M3, 1-300 amu

模块化结构的紧凑型质谱仪可适合您的使用。有以下离子源可供选择:具有极高灵敏度和线性的开放式离子源,适用于残余气体分析和 HV 与极高真空范围内分析性任务。适用于与进气系统接合的气密离子源。适用于直接进气的交叉臂离子源。格栅离子源特别针对极高真空内残余气体分析,具有极低脱气率和解吸率。 适用于残余气体分析和 HV 与 UHV极高真空范围内分析性任务。适用于与进气系统接合的气密离子源。格栅离子源特别针对极高真空内残余气体分析,具有极低脱气率和解吸率。

产品描述

  • 较高质量范围内残余气体分析和分析性测量任务的质量范围 1-300 amu

  • 高真空和极高真空范围内的高效残余气体分析和真空工艺监控

  • 测量速度、稳定性和分辨率性能高

  • 分析仪和电子装置的互换性

  • 两根长丝形成最佳可用性

PrismaPlus™ QMG 220 M3,具有交叉束离子源

  • 适用于不与离子源壁相互作用的直接进气

  • 适用于与进气系统接合

  • 两根长丝形成最佳可用性

  • 较高质量范围内分析性测量任务的质量范围 1-300 amu

    阴极加热温度:分析仪 [摄氏度]连接E/A 接口订单号
    200I/O 220PT M06 331 111

    PrismaPlus™ QMG 220 M3,具有气密性离子源

    • 适用于进气系统、低耗气量、高信号/噪音比例的组合

    • 两根长丝形成最佳可用性

    • 较高质量范围内分析性测量任务的质量范围 1-300 amu

      阴极加热温度:分析仪 [摄氏度]连接E/A 接口订单号
      200I/O 220PT M06 321 111
      钇铱200I/O 220PT M06 322 111

      PrismaPlus™ QMG 220 M3,具有网格离子源

      • 特殊用于极高真空下残余气体分析 极低脱气率和解吸率

      • 两根长丝形成最佳可用性

      • 较高质量范围内残余气体分析的质量范围 1-300 amu

        阴极加热温度:分析仪 [摄氏度]连接E/A 接口订单号
        200I/O 220PT M06 341 111

        PrismaPlus™ QMG 220 M3,具有开放式离子源

        • 具有极高灵敏度和线性的离子源 适用于残余气体分析和高真空与极高真空下分析任务

        • 两根长丝形成最佳可用性

        • 较高质量范围内残余气体分析和分析性测量任务的质量范围 1-300 amu

        • 高真空和极高真空范围内的高效残余气体分析和真空工艺监控

        • 分析仪和电子装置的互换性

          阴极加热温度:分析仪 [摄氏度]连接E/A 接口订单号
          200I/O 220PT M06 311 111
          20090°
          PT M06 311 120
          钇铱200I/O 220PT M06 312 111

          QMG 220 M3,PrismaPlus™,C-SEM,1-300 amu,交叉束离子源,W,200℃,0°,IO 220 模块

          概述
          • PrismaPlus 紧凑型质谱仪

          • 适用于 Windows XP Professional 和 Vista Ultimate 的 Quadera®软件

          • 简单定义和调用测量方案

          • 借助集成的矩阵计算确定气体浓度

          • 网络通过以太网实现

          • 模拟式和数字式输入端及输出端

          • 浦发真空总压变送器的连接可能性

          PT M06 331 111

          技术参数
          E/A 接口I/O 220
          EMCEN 61326-1
          MID 中的测量通道的数量128 件
          供应: 电压90 – 260 V AC
          分辨率,10% 峰值高度时可调节0.5 - 2.5 u
          加热温度:分析仪200 摄氏度
          安全EN 61010-1 / IEC 1010
          安装方向任意
          对 Ar 的灵敏度:C-SEM100 A/mbar
          对 Ar 的灵敏度:法拉第1.5 · 10-4 A/mbar
          对于相邻物体的输入:40 比 4150 百万分率
          峰值比的可再现性0.5 %
          工作温度:分析仪150 摄氏度
          工作温度:电气设备0 – 40 摄氏度
          探测器C-SEM/Faraday
          接口Ethernet
          最大工作压力:C-SEM1 · 10-5 百帕
          最大工作压力:法拉第1 · 10-4 百帕
          杆系统:直径6 毫米
          杆系统:长度100 毫米
          检测极限:C-SEM (hPa)4 · 10-14 百帕
          检测极限:Faraday (hPa)2 · 10-11 百帕
          测量速度:MID2 ms - 60 s/amu
          测量速度:扫描条形图20 ms - 60 s/amu
          测量速度:模拟扫描20 ms - 60 s/amu
          温度:储存-25 – 70 摄氏度
          用于传感器的连接各有一个接口用于 ActiveLine 和 DigiLine 变送器
          离子源交叉臂,2 阴极
          质量范围1 – 300 u
          输入数字4 + EXT_PROTECTION, 24 V
          输入模拟5 x ± 10 V / 14 位
          输出:数字16 x 槽,光电隔离,24 V
          输出:模拟4 x 0-10 V / 12 位
          连接
          连接法兰(入口)DN 40 CF-F
          重量4 千克
          阴极
          尺寸

          尺寸图-TIM-RS


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