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德国普发真空pfeiffer vacuum高真空残余气体分析仪QMG 220 F2,PrismaPlus™

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德国普发真空pfeiffer vacuum高真空残余气体分析仪QMG 220 F2,PrismaPlus™

  • 所属分类:残余气体分析仪

  • 点击次数:
  • 发布日期:2017/12/17
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详细介绍

用于过程监测和优化产品品质的分析设备 德国普发真空pfeiffer vacuum高真空残余气体分析仪QMG 220 F2,PrismaPlus™

普发真空为真空处理过程中的气体测定提供了各种不同的分析仪。从质谱仪到复杂的分析系统,在我们这里您将会找到从超高真空范围一直到大气压力的气体分析解决方案。四极杆质谱仪 PrismaPlus/PrismaPro 是气体分析最基础的设备。PrismaPlus/Pro 是一个普遍适用的质谱仪,其磁场轴技术保证了高灵敏度。它还具有高效率以及测量速度快的特点。并且 PrismaPlus/Pro 不仅仅显示各自的分压,同样也可以检测总压力。它的界面接口使这款质谱仪可以很容易地与气体色谱仪连接。紧凑的设计,模块化结构和用户友好软件 使其成为泄漏检测、半导体制造、玻璃镀膜、冶金化工的理想设备。另外,在研发领域也有无数的应用。普发真空为其客户在所有这些领域中提供量身定制的解决方案。当然,普发真空还提供所需的质谱仪配件,例如各种离子源阴极。

什么是质谱仪

质谱测量是一种可以用来测量原子和分子质量的方法。通过这种方式测量化学混合物成分的分压来分析化合物。待分析的物质首先被转化为气态的聚合状态并且发生电离。电场使离子加速,使得它们在其各自的质荷比基础上被分类和分离。然后测定气体各种成分的分压。每个质谱仪包括一个离子源、一个质量过滤器和一个检测器。根据所采用的质量过滤器来区分不同类型的质谱仪 。由于其广泛的应用选项,四极杆质谱仪具有可靠的测量表现。这些分析设备也经常用于真空技术。

质谱仪及其应用

四极杆质谱仪具有平行排列的四根电极杆,构成了四极场。它们的交点与平面垂直于圆柱体轴线,形成一个场(因此命名为四极)。静态电场使离子加速以后,离子飞过四极场。杆之间的四极场每次只会允许给定质量的一个粒子通过,。四极杆质谱仪提供高分辨率版本以简易版两种型号供用户用作残余气体分析。由于其频率范围宽,这类质谱仪可应用于众多领域,包括从药理学到环境分析领域。

高真空中的残余气体分析

带有法拉第检测器的四极杆质谱仪是用于高真空气体成分定性分析的首选设备。

与真空计相比,四极杆质谱仪提供了有关真空方面更丰富的信息。通常法拉第检测器足以获取高真空下的有关泄漏、水蒸汽或碳氢化合物污染物泄漏的信息。为此,普发真空提供了一系列具有多种质量范围和阴极材料的四极杆质谱仪。

PrismaPlus™ QMG 220 F2, 1-200 amu

模块化结构的紧凑型质谱仪可适合您的使用。有以下离子源可供选择:具有极高灵敏度和线性的开放式离子源,适用于残余气体分析和 HV 与极高真空范围内分析性任务。适用于与进气系统接合的气密离子源。适用于直接进气的交叉臂离子源。格栅离子源特别针对极高真空内残余气体分析,具有极低脱气率和解吸率。

产品描述

  • 较高质量范围内残余气体分析的质量范围 1-200 amu

  • 耐用及高效的残余气体分析以及高真空范围内真空工艺监控

  • 分析仪和电子装置的互换性

  • 两根长丝形成最佳可用性

阴极加热温度:分析仪连接E/A 接口订单号
200摄氏度
PT M05 211 110
200摄氏度I/O 220PT M05 211 111
钇铱200摄氏度I/O 220PT M05 212 111

QMG 220 F2,PrismaPlus™,1-200 amu,开放式离子源,W,200℃,0°

概述
  • PrismaPlus 紧凑型质谱仪

  • 适用于 Windows XP Professional 和 Vista Ultimate 的 Quadera®软件

  • 通过简单点击调用泄漏查找及残余气体分析程序

  • 借助集成的矩阵计算确定气体浓度

  • 最低检测分压 2 · 10-12 hPa

  • 网络通过以太网实现

PT M05 211 110

技术参数
EMCEN 61326-1
MID 中的测量通道的数量128 件
供应: 电压90 – 260 V AC
分辨率,10% 峰值高度时可调节0.5 - 2.5 u
加热温度:分析仪200 摄氏度
安全EN 61010-1 / IEC 1010
安装方向任意
对 Ar 的灵敏度6 · 10-4 A/hPa
对于相邻物体的输入:40 比 4120 百万分率
峰值比的可再现性0.5 %
工作温度:分析仪150 摄氏度
工作温度:电气设备0 – 40 摄氏度
探测器Faraday
接口Ethernet
最大工作压力:1 · 10-4 hPa
杆系统:直径6 毫米
杆系统:长度100 毫米
检测限2 · 10-12 百帕
测量速度:MID2 ms - 60 s/amu
测量速度:扫描条形图20 ms - 60 s/amu
测量速度:模拟扫描20 ms - 60 s/amu
温度:储存-25 – 70 摄氏度
离子源开,2 阴极
质量范围1 – 200 u
输入数字Ext_Protection, 24 V
连接
连接法兰(入口)DN 40 CF-F
重量2.4 千克
阴极
尺寸

尺寸图-TIM-RS


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