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磁悬浮涡轮分子泵
电磁轴承也被称作“主动式磁悬浮轴承”,其转子位置会被不间断的监测和自动调整,并依靠自动平衡补偿来实现无磨损、低震动的运行。保证转子能持续稳定的工作。同时,这样的轴承设计也实现了零维护和无润滑油。
HiPace M和ATH 500 M拥有5轴磁轴承。利用这种轴承技术,转子 的位置能被实时控制。在工作中,动平衡装置会进行自动校准,可 以最小程度上减轻震动和工艺过程中产生的轴承位移。低能耗和极 低的维护成本确保了其极高的性价比。
是否觉得不同的界面接口标准让您头疼不已?我们的磁悬浮涡轮分 子泵能提供集成化的电子驱动装置供您选择,从而满足各种不同界 面接口的连接需要。
我们ATH M和ATP M系列的磁悬浮涡轮分子泵拥有5轴磁轴转子 监测系统和实时的转子位移自动修正功能。通过采用这种高性能的 轴承技术,我们的泵不仅能确保长时间的稳定性和可靠性,同时运 行时也非常安静。此系列轴承技术的泵在半导体、镀膜和干蚀刻等 离子体过程行业的高真空工艺中具有标杆地位,此外也广泛应用于 许多其他工业行业和研发领域。
Holweck 级 5 轴磁悬浮涡轮泵适合用于 N2的直至 550 l/s 的吸气能力
紧凑型集成驱动电子设备
用于在所有情况下的安装
水冷或风冷
带有CE标志且符合 RoHS 标准
加热版本(MT)可用于腐蚀性应用
Holweck 级 5 轴磁悬浮涡轮泵适合用于 N2的直至 350 l/s 的吸气能力
连接法兰 DN 100 ISO-F
紧凑型集成驱动电子设备
用于在所有情况下的安装
远程遥控,风冷,不加热
带有CE标志且符合 RoHS 标准
Ar 的压缩比 | > 8 · 106 |
Ar 的抽速 | 320 l/s |
Ar 的气体流量 | 42.3 hPa l/s | 31.73 Torr l/s | 42.3 mbar l/s |
H2 的压缩比 | > 2 · 102 |
H2 的抽速 | 170 l/s |
H2 的气体流量 | > 169 hPa l/s | > 126.75 Torr l/s | > 169 mbar l/s |
He 的压缩比 | > 1 · 104 |
He 的抽速 | 310 l/s |
He 的气体流量 | > 169 hPa l/s | > 126.75 Torr l/s | > 169 mbar l/s |
N2 的压缩比 | > 2 · 107 |
N2 的抽速 | 350 l/s |
N2 的最大预真空 | 2.6 百帕 |
N2 的气体流量 | 67.6 hPa l/s | 50.7 Torr l/s | 67.6 mbar l/s |
冷却类型,可选项 | 空气 |
冷却类型,标准 | 水 |
声压水平 | ≤ 42 分贝 (A) |
安装方向 | 所有位置 |
工作电压 | 48 (± 5 %) V DC |
抽速等级 | 500 l/s |
接口 | 远程遥控 |
方位 | 配有磁轴承 |
最终压力 | < 1 · 10-8 百帕 |
最终压力时的功率消耗 | 100 瓦 |
电子驱动单元 | 集成驱动电子设备 |
转速 ± 2 % | 50,000 rpm | 50,000 min-1 |
运行时间 | < 2 分 |
连接法兰(入口) | DN 100 ISO-K |
连接法兰(出口) | DN 25 ISO-KF |
重量 | 17 千克 |