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德国普发真空pfeiffer vacuumATH 1600 MT磁悬浮分子泵

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德国普发真空pfeiffer vacuumATH 1600 MT磁悬浮分子泵

  • 所属分类:分子泵

  • 点击次数:
  • 发布日期:2017/12/15
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详细介绍

5轴磁悬浮涡轮分子泵  德国普发真空pfeiffer vacuumATH 1600 MT磁悬浮分子泵

磁悬浮涡轮分子泵
电磁轴承也被称作“主动式磁悬浮轴承”,其转子位置会被不间断的监测和自动调整,并依靠自动平衡补偿来实现无磨损、低震动的运行。保证转子能持续稳定的工作。同时,这样的轴承设计也实现了零维护和无润滑油
5轴磁悬浮涡轮分子泵

技术上的完美杰作

HiPace M和ATH 500 M拥有5轴磁轴承。利用这种轴承技术,转子 的位置能被实时控制。在工作中,动平衡装置会进行自动校准,可 以最小程度上减轻震动和工艺过程中产生的轴承位移。低能耗和极 低的维护成本确保了其极高的性价比。

超强的兼容性

是否觉得不同的界面接口标准让您头疼不已?我们的磁悬浮涡轮分 子泵能提供集成化的电子驱动装置供您选择,从而满足各种不同界 面接口的连接需要。

可靠

我们ATH M和ATP M系列的磁悬浮涡轮分子泵拥有5轴磁轴转子 监测系统和实时的转子位移自动修正功能。通过采用这种高性能的 轴承技术,我们的泵不仅能确保长时间的稳定性和可靠性,同时运 行时也非常安静。此系列轴承技术的泵在半导体、镀膜和干蚀刻等 离子体过程行业的高真空工艺中具有标杆地位,此外也广泛应用于 许多其他工业行业和研发领域。

ATH 1600 M

Holweck 级 5 轴磁悬浮涡轮泵适合用于 N2的直至 1400 l/s 的吸气能力

产品描述

  • 使用集成驱动电子设备 OBC 或外部 Magpower 驱动电子设备运行

  • 用于在所有情况下的安装

  • 水冷

  • 带有CE标志且符合 RoHS 标准

  • 加热版本(MT)可用于腐蚀性应用

产品

ATH 1600 MT,DN 200 CF-F,外部驱动电子设备,水冷,加热

概述
  • Holweck 级 5 轴磁悬浮涡轮泵适合用于 N2的直至 1360 l/s 的吸气能力

  • 法兰 DN 200 CF-F 适用于超高真空时要求严苛的应用

  • 使用外部Magpower 驱动电子设备运行

  • 用于在所有情况下的安装

  • 水冷,加热

  • 带有CE标志且符合 RoHS 标准

P6522103

技术参数
Ar 的压缩比> 1 · 108
Ar 的抽速1280 l/s
Ar 的最大转速时的气体流量,75 °C 的被加热的泵8.5 hPa l/s | 6.38 Torr l/s | 8.5 mbar l/s
Ar 的气体流量20.3 hPa l/s | 15.22 Torr l/s | 20.3 mbar l/s
H2 的压缩比> 5 · 102
H2 的抽速540 l/s
H2 的最大转速时的气体流量,75 °C 的被加热的泵> 16.9 hPa l/s | > 12.68 Torr l/s | > 16.9 mbar l/s
H2 的气体流量> 67.6 hPa l/s | > 50.7 Torr l/s | > 67.6 mbar l/s
He 的压缩比> 4 · 103
He 的抽速940 l/s
He 的气体流量> 67.6 hPa l/s | > 50.7 Torr l/s | > 67.6 mbar l/s
N2 的压缩比> 1 · 108
N2 的抽速1360 l/s
N2 的最大转速时的气体流量,75 °C 的被加热的泵16.9 hPa l/s | 12.68 Torr l/s | 16.9 mbar l/s
N2 的最大预真空2.2 百帕
N2 的气体流量67.6 hPa l/s | 50.7 Torr l/s | 67.6 mbar l/s
允许冷却水的温度15 – 25 摄氏度
冷却水耗量1 l/min
冷却类型
分离的驱动电气设备
声压水平≤ 48 分贝 (A)
安装方向所有位置
工作电压200-240 V AC, 50/60 Hz 0
抽速等级1600 l/s
接口通过外部驱动电子设备
方位配有磁轴承
最终压力< 6 · 10-9 百帕
最终压力时的功率消耗300 瓦
最高冷却水温度40 摄氏度
电子驱动单元外部驱动电子设备
腐蚀性气体的版本
转速 ± 2 %39,000 rpm | 39,000 min-1
运行时间< 6 分
连接法兰(入口)DN 200 CF-F
连接法兰(出口)DN 40 ISO-KF
重量34 千克
颗粒计数
尺寸

尺寸图-TIM-RS

产品特性

曲线-TIM-RS-2

曲线-TIM-RS-1


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