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德国普发真空pfeiffer vacuum HiPace® 300 M磁悬浮涡轮分子泵

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德国普发真空pfeiffer vacuum HiPace® 300 M磁悬浮涡轮分子泵

  • 所属分类:分子泵

  • 点击次数:
  • 发布日期:2017/12/15
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详细介绍

5轴磁悬浮涡轮分子泵  德国普发真空pfeiffer vacuum HiPace® 300 M磁悬浮涡轮分子泵

磁悬浮涡轮分子泵
电磁轴承也被称作“主动式磁悬浮轴承”,其转子位置会被不间断的监测和自动调整,并依靠自动平衡补偿来实现无磨损、低震动的运行。保证转子能持续稳定的工作。同时,这样的轴承设计也实现了零维护和无润滑油
5轴磁悬浮涡轮分子泵

技术上的完美杰作

HiPace M和ATH 500 M拥有5轴磁轴承。利用这种轴承技术,转子 的位置能被实时控制。在工作中,动平衡装置会进行自动校准,可 以最小程度上减轻震动和工艺过程中产生的轴承位移。低能耗和极 低的维护成本确保了其极高的性价比。

超强的兼容性

是否觉得不同的界面接口标准让您头疼不已?我们的磁悬浮涡轮分 子泵能提供集成化的电子驱动装置供您选择,从而满足各种不同界 面接口的连接需要。

可靠

我们ATH M和ATP M系列的磁悬浮涡轮分子泵拥有5轴磁轴转子 监测系统和实时的转子位移自动修正功能。通过采用这种高性能的 轴承技术,我们的泵不仅能确保长时间的稳定性和可靠性,同时运 行时也非常安静。此系列轴承技术的泵在半导体、镀膜和干蚀刻等 离子体过程行业的高真空工艺中具有标杆地位,此外也广泛应用于 许多其他工业行业和研发领域。

HiPace® 300 M

产品

HiPace® 300 M,具有 TM 700,DN 100 ISO-K

概述
  • 5 轴磁悬浮涡轮泵,具备用于 N2的255 l/s 的吸气能力

  • 集成的数字式磁性支承电子装置 TM 700

  • 用于在所有情况下的安装 可有 4 个配件以供灵活连接

  • 带有集成型水冷系统以保证最大气体流量

  • 接口:RS-485,远程遥控(Profibus/DeviceNet 备询)

  • 涡轮因其低振动和无油而与众不同

  • 带有专利的传感器现场校准装置

  • 包括涌流阀和专利的“ 脉冲通风”

  • 保护类型:IP 54

  • 广泛的配件扩展使用范围

PM P03 950

技术参数
Ar 的 0.1 hPa HV 压力时的气体流量11 hPa l/s | 8.25 Torr l/s | 11 mbar l/s
Ar 的压缩比> 1 · 1011
Ar 的抽速250 l/s
Ar 的最终转速时的气体流量13 hPa l/s | 9.75 Torr l/s | 13 mbar l/s
H2 的 0.1 hPa HV 压力时的气体流量5 hPa l/s | 3.75 Torr l/s | 5 mbar l/s
H2 的压缩比5 · 105
H2 的抽速170 l/s
He 的 0.1 hPa HV 压力时的气体流量8 hPa l/s | 6 Torr l/s | 8 mbar l/s
He 的压缩比> 1 · 108
He 的抽速215 l/s
N2 的 0.1 hPa HV 压力时的气体流量10 hPa l/s | 7.5 Torr l/s | 10 mbar l/s
N2 的压缩比> 1 · 1011
N2 的抽速255 l/s
N2 的最大预真空20 百帕
N2 的最终转速时的气体流量28 hPa l/s | 21 Torr l/s | 28 mbar l/s
保护类型IP54
允许冷却水的温度15 – 35 摄氏度
冷却水耗量80 l/h
冷却类型,可选项空气,对流
冷却类型,标准
声压水平≤ 45 分贝 (A)
安装方向所有位置
工作电压48 (± 5 %) V DC
抽速等级300 l/s
振动臂
排气连接G 1/8"
接口RS-485, 远程
方位配有磁轴承
最大允许磁场5 mT
根据 PNEUROP 的最终压力< 1 · 10-7 百帕
电子驱动单元TM 700
转速 ± 2 %49,000 rpm | 49,000 min-1
转速可变化20 - 100 %
连接法兰(入口)DN 100 ISO-K
连接法兰(出口)DN 16 ISO-KF
重量13.1 千克
尺寸

尺寸图-TIM-RS

产品特性

曲线-TIM-RS-1


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