vat真空阀门

产品分类

热门关键词

联系我们

昆山熙日机械设备有限公司

联系人: 张小姐

手机:(0)13913143077

联系人:李先生

手机:(0)15895662155

邮箱:kssunnyjx@126.com

QQ:1191890920

微信:kssunnyjx

网址:www.leybold-inficon.com

www.xiri-vacuum.com

办公地址:江苏省昆山市长江南路77号

维修地址:江苏省昆山市花桥镇星光工业园2A


德国普发PFEIFFER VACUUM多级罗茨泵A 100 L ES

您的当前位置: 首 页 >> 产品中心 >> 多级罗茨泵

德国普发PFEIFFER VACUUM多级罗茨泵A 100 L ES

  • 所属分类:多级罗茨泵

  • 点击次数:
  • 发布日期:2017/12/03
  • 在线询价
详细介绍

紧凑型  德国普发PFEIFFER VACUUM多级罗茨泵A 100 L ES 

用于洁净制程的整体式干泵
具有紧凑结构的洁净制程整体式干泵是专为满足半导体生产设施中的灵活弹性集成要求而开发的。为了在方便在机台内直接安装和快速抽空的设计要求,用于洁净制程的该系列紧凑型泵是装载互锁、传输室以及其他非腐蚀性应用的完美解决方案。

针对高气流量应用的全新解决方案
普发真空推向市场的用于高气流量应用的全新 200 m3/h 级别产品 A 200 L,再次展示出了其在整体式干泵市场中全球领导地位。凭借着 100 m3/h 级别产品 A 100 L 和 200 m3/h 级别产品 A 200 L,普发真空为一切洁净制程应用提供完整的产品种类。

优势

  • 高气流量

  • 体积小巧

  • 装配优化

  • 购置成本低

应用

  • 装载互锁和传输室

  • 半导体生产

  • 光伏

引领行业的整体式干泵
自从 A 100 L 泵问市以来,它彻底改变了半导体行业生产设施中泵的集成问题。基于干式多级罗茨泵技术,尽管尺寸小,整体式干泵依然提供了高抽速和短抽空时间的特点。如今,整体式洁净制程的干泵泵是最先进的,且 A100 系列在全世界范围内很多 300 mm 半导体工厂内进行了安装。

用于装载互锁和传输室的整体式干泵
在诸如装载互锁和传输室等洁净制程应用中,这些泵排除了泵安装中的真空管路影响。通过使用整体式干泵,可降低真空管路安装、集成和调试的成本。该泵在生产过程中提供可持续的杰出性能且具有高效节能的特点。高可靠性和长期稳定性使该泵脱颖而出。

整体式干泵——不仅仅用于半导体行业
该泵能提供干燥和无尘的洁净真空,整体式干泵也为太阳能光电设备提供最佳解决方案。低噪音和低振动是该水冷却系列的另一优势。小巧的体积保证了其在大型机台内集成的便利性。

A 100 L 0

真空泵市场领域的先锋。由于重点在于提高的运行时间,A 100 L 不需进行现场预前维护,并提供了在其级别中最高的可靠性,且平均故障间隔时间超过 195 000 小时。

应用领域

  • 半导体工业中的闸室和转接室

  • 在光伏应用中的闸室和溅射室

  • 低温应用和研究实验室使用

  • 工业(低温,气体制造,激光源)

  • 分析仪(用于电子显微术或表面分析的闸室)

客户价值

  • 高性能

  • 可靠

  • 高效节能

  • 紧凑

  • 可堆叠

  • 低振动和噪声水平

  • 即插即用系统:集成型监察装置

  • RS232 / RS485 接口可选

产品描述

  • 在集成型干式泵市场上处于主导地位

  • 高吸气能力 100 m3/h

产品

A 100 L ES 节能版本

用于洁净应用的紧凑型干式泵带有节能备件,且吸气能力为 100 m3/h

产品描述

  • 集成型自动节能模块减少了 50% 的耗电量

  • 泵配备冷却水循环。

  • 运行时间记录仪和三色 LED 指示灯在前端提供了有关泵状态的信息。

  • 16 针或 19 针接口连接向工具传输了 E/A 离散信息

  • 可选串行接口 RS232 或 RS485 提供了调控和监察功能

产品

A 100 L ES 节能版本,低电压,16 针 I/O

概述
  • 高流量,吸气能力 100 m3/h

  • 节能模块用于降低 50% 耗电量

  • 200 V - 208 V AC 低电压供电

  • 16 针接口连接

A100L51324

技术参数
E/A 接口16针SPI
典型振动位移 (入口法兰处 10-1000 Hz)1.5 微米
典型振动加速度 (入口法兰处 10-1000 Hz)0,1 m.s-2
典型振动速度 (入口法兰处 10-1000 Hz)1 mm.s-1
典型最终压力7 · 10-4 百帕
冷却
冷却水连接1/4 NPT 快速接口
待机模式时的功率消耗0,2-0,5 kW
抽速100 m³/h
抽速等级100 m3/h
最大噪声级55 分贝 (A)
最大循环频率当容积为 25 升时:40 s
最大泵容积1 立方米
最大连续进气20 Slm
最小冷却水流量1.6 l/min
最终压力时的功率消耗< 0.8 千瓦
版本标准
电源电压(3 相)200-208 V
过程清洁制成工艺
连接法兰(入口)DN 50 ISO-KF
连接法兰(出口)DN 25 ISO-KF
重量100 千克
频率50-60 Hz
尺寸

尺寸图-TIM-RS

产品特性

曲线-TIM-RS-2

曲线-TIM-RS-1


相关标签:     多级罗茨泵,德国普发PFEIFFERVACUUM多级罗茨泵A100LES价格,德国普发PFEIFFERVACUUM多级罗茨泵A100LES批发

最近浏览:

在线客服
分享 一键分享