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紧凑型多级罗茨干泵。提供洁净真空。性能可靠。
ACP 系列多级罗茨泵技术满足洁净干燥真空工艺的要求。
最佳解决方案-涡旋泵和油泵的理想替代品
气冷模式 - 省去了水冷模式下的安装和运行费用
变频器 - 计时表,远程操作模式(RS-485、干触点、Profibus可选),多转速选择(节能,噪音低)
多接口选择 - 吹扫气体,气镇,其它符合要求的特定接口
通用电源 - 宽电压供应 50/60 Hz 单相和三相
标准认证 - 符合 CE 标准,通过 UL/CSA 认证,SEMI S2 认证
电子显微镜
表面分析仪
检漏仪
质谱仪
光谱仪
粒子加速器
涡轮分子泵组
实验室
灯具制造
真空镀膜
低温泵再生
等离子清洗
干燥
Load-lock
SD型号:用于无尘、无腐蚀性气体工艺
SD 型号专为洁净(无尘)和无腐蚀性气体的工艺而设计。标准泵配有气镇设备,以增强抽吸洁净气体的能力,并避免泵体内部的蒸汽冷凝。我们提供三种气镇设备供您选择,满足不同要求。
G型号:适用于少量腐蚀性气体工艺
G 型号真空泵可用于输送少量的腐蚀性气体。惰性气体吹扫功能具有保护低压和高压轴承的作用,并能稀释吸入腔中的腐蚀性介质。
CV型号:用于凝结蒸汽工艺
CV 型号是专为避免泵体内蒸汽凝结而设计的。它通过以下方法达到目的:通过较高的气镇流量来加热泵体并稀释可凝结气体。同时在排气管的最低点安置带有排流螺塞的消音器。通过注入吹扫气体,达到保护球轴承和轴封的目的。CV 系列真空泵具有高达 1,000 克/小时的水蒸气容量。
无颗粒物污染
利用无摩擦抽气模式的优点,真空泵能在无润滑油的状态下运行,提供性能优越的无油真空环境,并无碳氢气体的回流。转子和定子之间无任何密封件,因此不会产生颗粒排放物。
可靠性高
抽气过程中,无需用到任何易损件,因此确保真空泵具有卓越的稳定性和极高的可靠性,即使在最苛刻的应用中仍然表现出色。
性能恒定
通过变频器驱动的发动机提供恒定的转速,从而在世界各地均实现了稳定的抽速和一致的极限压力。
维护成本低
基于真空泵的低运营成本,我们的 ACP 28/40 只需每运行 22,000 小时进行一次维护,ACP 15 每运行 20,000 小时维护一次。
可凝性气体抽送能力强
高流量气镇口和可排水消声器使 ACP 能抽送大量的可凝性蒸汽(纯水蒸气高达 1,000 克/小时)。
该泵是为需要进行洁净(无尘)以及无腐蚀性气体的泵吸应用而设计。标准泵装配有一个气镇,以便于输送轻气体和避免泵内蒸汽冷凝。三种气镇备选件可供使用。
空气冷却装置:对于水冷装置无安装与运行成本
变频器:运行时间计数器,远程控制(RS-485、无电位接触、Profibus 请咨询),多选转速(节能,降低声压,与应用匹配)
通用型电源:宽电压范围,50/60 Hz 单相和三相
标准:CE 标准,UL/CSA 认证,SEMI S2 认证
ACP 系列的无油多级罗茨泵,SD 机型,带最高 15 m3/h 抽吸能力
由于无摩擦设计而不会受到颗粒的污染:在气体输送路径中不存在磨损件
无烃类蒸汽的回流:ACP 系列的泵对于泵模块是无润滑剂
恒定功率(抽吸能力,最高持续进气压力和最终压力)
可靠性高:自 1988 年以来我们使用无油罗茨泵的经验
维护成本低:无年服务,完整大修仅每 20000 小时一次 (ACP 15)
适用于冷凝蒸汽:气镇和带有排出口螺塞的消声器
典型最终压力 | 3 · 10-2 百帕 |
冷却 | 空气 |
尺寸(长 x 宽 x 高) | 514 x 190 x 270 毫米 |
带气镇的典型最终压力 | 1 · 10-1 百帕 |
抽速等级 | 15 m3/h |
最大抽速 | 14 m³/h |
最大氦气泄漏率 | 5 · 10-8 Pa m3/s |
最大连续进气压力 | 1013 百帕 |
最终压力时的功率消耗 | 450 瓦 |
版本 | 标准 |
环境温度 | 12 - 40 摄氏度 |
过程 | 清洁制成工艺 |
连接法兰(入口) | DN 25 ISO-KF |
连接法兰(出口) | DN 16 ISO-KF |
重量 | 23 千克 |