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  • 所属分类:爱德华真空泵维修

  • 点击次数:
  • 发布日期:2020/02/28
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详细介绍

英国爱德华iH晶圆半导体干式真空泵iH80维修,爱德华edwards真空泵维修保养

昆山熙日机械设备有限公司是由一批长期服务于某知名外企的骨干精英组建而成,注册资金100万,自公司成立起一直致力于真空设备及配件的研究、生产、推广、销售、安装及维修领域。

昆山熙日机械设备有限公司专业维修英国edwards爱德华干式真空泵 iH系列:iH80,iH160,iH600,iH1000,iH1800,iH1800HTX

爱德华EDWARDS公司是世界最大的真空泵设计和生产厂家之一,做为BOC EDWARDS GROUP下属的真空技术公司的系列泵产品现在服务于世界60余个国家。  
产品包括:
·半导体工业用真空泵和系统
·科研仪器、真空加工用途真空泵和系统
·泄漏检测、真空仪器、真空元件用于全部工业领域

·排气控制、温度控制、污水处理系统、气体处理系统、化学品和生料控制及元件清洗服务用于半导体行业
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无油干式机械真空泵(又简称干式机械泵)是指泵能从大气压力下开始抽气,又能将被抽气体直接排到大气中去,泵腔内无油或其他工作介质,而且泵的极限压力与油封式真空泵同等量级或者接近的机械真空泵。
Edwards iH干泵应用:
•负载锁定
•转换
•计量
•平版印刷
•PVD 制程
•PVD 预清洁
•RTA
•剥离/灰化
•刻蚀
•植入源
•HDP CVD
•RTP
•SACVD
•MCVD
•PECVD
•LPCVD
•ALD

熙日机械是中国领先品质的真空产品与服务提供商。我们在业界有着极好的声誉,具有解决个性问题的独特方案。高品质真空产品和系统的整合应用,提供给客户真空技术和应用的完美体验!
法泰克真空系统提供商—Meio旗下事业部,为工业企业的采购人员,工程设计,实验室和研发人员提供全方位的真空解决方案。提供的产品和服务包括基础真空泵,真空吸盘,管件,配件等真空产品,到先进的真空获取和测量元器件。以及集成真空系统和订制设计中央真正系统。法泰克凭借其在真空领域的知识和资源,为自动化化业提供整合的真空搬运,提升,热处理,加工,等真空周边应用。
我们经销进口及国产精品品牌真空泵,真空元器件。是国内外众多的真空知名厂家授权的总经销商和代理商。
公司拥有专业的技术人员和强大施工队伍,可承接各类真空系统工程项目咨询,设计和施工。成功为苏州工业园区和新区多家跨国公司设计实施了中央真空系统。

Edwards iH干泵为高难度的制程(如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品) 提供高度可靠、成本低廉的泵解决方案。Edwards iH系列 具有五级主泵,使用创新的悬臂式转子、爪式和罗茨 设计,可改善粉尘的处理,减少排气噪音。此外,iH 系列泵配有一台单级机械增压泵和完全 封闭的水冷却电机。
昆山熙日机械设备有限公司专业维修英国edwards干式真空泵多年,为您提供一站式维修服务。


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