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  • 发布日期:2020/02/28
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昆山熙日机械设备有限公司是由一批长期服务于某知名外企的骨干精英组建而成,注册资金100万,自公司成立起一直致力于真空设备及配件的研究、生产、推广、销售、安装及维修领域。

本公司经过多年不懈的努力,已拥有一支专业的IT研发人员和全面的销售网络,所经营的产品畅销国内外,现已与国内外多家大型企业保持着长期的合作关系,本公司产品以质量优良、操作简单、性价比高及周到的售后服务等广受市场好评,使得公司的效益得到迅速发展,为公司的长远发展打下牢固的基础。

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英国爱德华半导体EPX180L 干式真空泵

 

概述

新的紧凑型 EPX180 高真空干泵的特性是:工作性能更佳,运行成本更低。EPX180 使用了独特的保护机械装置,能够从大气压抽空到小于 7 x 10-5 Torr 的极限压力。

模块化 EPX180 基于备受赞誉、大获成功的 IPX 系列,可提供卓越的性能,与 IPX 相比,包装重量轻了 20%、体积小了 30% 且功率降低了 40%。英国爱德华EPX180L干式真空泵维修保养

技术

EPX 泵系统在大气压和极限真空之间的压力下工作,增压室内无润滑或密封液。这样可以确保泵送系统清洁,不会因为系统的排空而使油或液体回流到系统中。

泵的定子和封闭马达通过集成化水冷回路进行冷却。因此,EPX 泵适合在不允许使用风扇的洁净室环境下使用。冷却水供应和回水管通过水接头(由客户指定)连接到泵。冷却水的提供必须与环境条件(湿度和温度)相当,以便不会达到结露点。

泵装有一个 EMC 供应过滤器和一个变换器驱动,该驱动可提供和控制泵马达的电源。前盖上的 LED 标识 EPX 泵的状态。马达速度取决于泵入口处的压力。当泵在入口压力处于或接近大气压的情况下启动时,马达会加速到某个速度,该速度受可以由变换器驱动提供的电流限制。随着入口处的压力降低,马达速度会加快,直至该速度最终达到其预定的最大速度。如果入口处的压力增大,则马达速度会再次减慢。

EPX L 系列的泵不能进行手动操作;这些泵必须通过外部控制设备进行控制和监视,而控制设备必须通过工具接口模块 (TIM) 连接到 EPX 泵。

EPX 泵由四个振动隔离器进行支持。

泵保护传感器可在出现故障状态时自动关闭泵。英国爱德华EPX180L干式真空泵维修保养

应用

  • EPX 系列涵盖广泛的应用,从水处理到中度工作负载的制程。

    EPX“L”系列旨在用于泵送惰性气体混合物(如负荷锁定)且通过制程机台接口提供控制的清洁工作应用。

功能和优势

  • 紧凑的占地面积 – 作为可用的最小工具上泵之一,EPX 显著节省了占地面积。EPX 可以直接安装到工具上,从而节省了前级管道和安装成本,如果需要也可远程安装。

  • 低运行成本 - EPX 仅需要 1.4 kW 的功率和整合空闲模式,从而可最大化功率效率。

  • 独特的保护机械装置 – EPX 可以从大气压抽空到涡轮分子基准压力,并可以在所有进气口压力下连续工作。

  • 超清洁机械装置 – 传统的高真空轴承底油脂使用油脂润滑,这可能成为制程工具中污染源。EPX 泵没有高真空轴承底油脂,并且不存在任何其他的潜在污染源。

  • 非常可靠 – EPX 基于经过现场验证的 IPX 技术,具有 13 年的 MTBFp (SEMI E10),大约每 5 年维修一次,延长了泵的使用寿命。

  • 可兼容的网络 - EPX 系列配有最终用户控制,可以连接到各种结构的网络,以进行诊断监视和控制。


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