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  • 发布日期:2020/02/28
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详细介绍

英国爱德华EDWARDS EPX系列干泵EPX180l维修

产品介绍

EPX系列干泵

概述

新的紧凑型 EPX500 高真空干泵的特性是:工作性能更佳,运行成本更低。EPX500 使用了独特的专利保护机械装置,能够从大气压抽空到小于 7 x 10-5 Torr 的极限压力。
模块化 EPX500 基于备受赞誉、大获成功的 IPX 系列,可提供卓越的性能,与 IPX 相比,包装重量轻了 20%、体积小了 30% 且功率降低了 40%。 

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应用

EPX 系列涵盖广泛的应用,从水处理到中度工作负载的制程。
EPX“L”系列旨在用于泵送惰性气体混合物(如负荷锁定)且通过制程机台接口提供控制的清洁工作应用。

功能和优势

紧凑的占地面积 – 作为可用的最小工具上泵之一,EPX 显著节省了占地面积。EPX 可以直接安装到工具上,从而节省了前级管道和安装成本,如果需要也可远程安装。

低运行成本 - EPX 仅需要 1.4 kW 的功率和整合空闲模式,从而可最大化功率效率。

独特的专利保护机械装置 – EPX 可以从大气压抽空到涡轮分子基准压力,并可以在所有进气口压力下连续工作。

超清洁机械装置 – 传统的高真空轴承底油脂使用油脂润滑,这可能成为制程工具中污染源。EPX 泵没有高真空轴承底油脂,并且不存在任何其他的潜在污染源。

非常可靠 – EPX 基于经过现场验证的 IPX 技术,具有 13 年的 MTBFp (SEMI E10),大约每 年维修一次,最大程度地延长了泵的使用寿命。

可兼容的网络 - EPX 系列配有最终用户控制,可以连接到各种结构的网络,以进行诊断监视和控制。 

技术数据 


EPX180

EPX500

峰值速度

170 m3h-1

500 m3h-1


105 ft3min-1

295 ft3min-1


2835 l min-1

8338 l min-1

极限真空




<1 x 10-4 mbar

<1 x 10-6 mbar


<7.5 x 10-5 Torr

<7.5 x 10-7 Torr


<1 x 10-2 Pa

<1 x 10-4 Pa

预热时间(达到标称性能)

30 分钟

30 分钟

入口法兰

ISO63

ISO160

出口法兰

NW25

NW25

噪音 

<59 dB(A)

<59 dB(A)

最小冷却水流速

2 l m-1

2 lmin-1

冷却水温度

15 – 35 °C

15 – 35°C

电源供给

200/208 V50/60 Hz 三相

200/208 V50/60 Hz 三相

极限功率

1.4 kW

1.4 kW

电机额定功率

3.0 kW

3.0 kW

TIM

C3

SPI

重量

43.5 kg

45.2 kg


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