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离子源栅网

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离子源栅网

  • 所属分类:真空镀膜机配件

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  • 发布日期:2018/04/02
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详细介绍

离子源栅网

产品名称:光驰镀膜机离子源栅网/optorun离子源栅网产品型号:UMING160602产品摘要:使用特殊材料加工而成,性能稳定。产品描述:1.栅网组装.将D、A、S网片按各自的4个定位孔互相对齐,用内六角螺丝按装配示意图将5种8组共40片陶瓷与栅网粗略固定组合在一起。2).用四支标准无弯曲的D2定位针分别伸入串联在一起的3片栅网各自的4个定位空中,将三片栅网的位置精确矫正,再略微按对角线锁紧一些。

产品描述

产品名称:光驰镀膜机离子源栅网/optorun离子源栅网

产品型号:UMING160602

产品摘要:使用特殊材料加工而成,性能稳定。

产品描述:

1.栅网组装.将D、A、S网片按各自的4个定位孔互相对齐,用内六角螺丝按装配示意图将5种8组共40片陶瓷与栅网粗略固定组合在一起。2).用四支标准无弯曲的D2定位针分别伸入串联在一起的3片栅网各自的4个定位空中,将三片栅网的位置精确矫正,再略微按对角线锁紧一些8个M4螺母,以几片栅网不会互相滑动为准。3).垂直观察栅网最中心的孔,目测DA---SA网片之间的孔位必须同轴度良好,确认栅网没有安装偏移,否则适当微调4).目测栅网最边缘的8组孔系的对称程度,确定DA---SA栅网之间没有沿栅网中心孔存在旋转误差。5).反复确认中心孔的同轴度和边缘孔隙的对称度正确无误后,用扭力扳手沿对角线逐渐将各个螺母按规定扭矩锁紧。

2.技术规格请不要设定下面范围以外的参数。若设定下记范围以外的参数,本公司不能保证其正常运作,也有可能造成故障。离子源Beam电流=150~1,200mA Beam电压=100~1,500V Acc电压=100~1,000V(绝对不要设定100以下的值)※此规格为各电源,离子源,中和器的输出可能范围,并不表示设定以上规定范围内的值即可正常运作,在实际使用中还必须考虑ACC电流值,动作的安定性等。 

 3.配套配件栅网之间的间隔绝缘子:采用耐高温/耐高压陶瓷制作,可保证各栅网间在1000Vdc时须20MΩ以上:栅网维护周期为每50~100小时确认其外观??绝缘,如有异常请及时清扫或交换。如厚度有磨损,其磨损厚度为-0.02mm时,请交换新品。(例如:t=1.0mm的绝缘子当变为t=0.98mm时,请交换新品。)注意:请注意绝缘子很容易碎裂。


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