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All Teflon(POCL3)

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All Teflon(POCL3)

  • 所属分类:Throttle Valve

  • 点击次数:
  • 发布日期:2018/03/04
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详细介绍

All Teflon(POCL3)

ATV1000 All Teflon Throttle Valve

ATV1000 All Teflon Throttle Valve 는 진공 Chamber의 압력을 조절하는데 사용된다. 

ATV1000 All Teflon (Throttle Valve)는 GPC3000 (Auto Pressure Controller)와 호환하여 사용 하도록 설계 되어 있다.

특히 포클(POCL) 액인 것을 특징으로 하는 반도체 공정 제조 장비의 배출 장치로 많이 사용 된다. 

 

Features & Benefits

 ATV1000 All Teflon (Throttle Valve)는 Micro-Stepping Motor 및 Direct Gear Driver를 사용하여 Valve 의 Resolution을 향상시켰고, 

반 영구적으로 사용이 가능하다.

 ATV1000 All Teflon (Throttle Valve)는 귀사에서 제공하는 GPC3000 Controller와 연결하여 사용이 가능하며, 기타 타 회사 제품의 Controller도 연결하여 사용할수 있다.

 ATV1000 All Teflon (Throttle Valve)는 Teflon 재질로 되어 있어 오염으로부터 특화 되어있다. 

 

Product 




Specifications

Speed (open to close)

2.0 sec 

Resolution

1/24000 

Drive Method

Direct gear drive 

Valve Motor Ambient

Operating Temperature

-20 to +40 

Differential Pressure

Across Valve

1 atm. (15psig) max. 

External Leakage at Shaft seal

1x10-8sec/sec He 

Materials Exposed to Process

PTFE, PEEK, Viton

Compatible Controller

Model GPC3000

MKS Type 651, 1651 

Size

i inch Teflon join 

Full Closed Leak (100mmH2O)

 3 l/min


 


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