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761 [Capacitance Manometers]

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761 [Capacitance Manometers]

  • 所属分类:Vacuum Gauge

  • 点击次数:
  • 发布日期:2018/03/04
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详细介绍

761 [Capacitance Manometers]

761 Capacitance Manometers

일반적으로 진공 Chamber에 설치되어, 실제 전공 Chamber내에 압력을 읽어내는 게이지이며, 보통±12~30 VDC의 파워를 필요로 하고 0~10VDC 시그널의 출력을 가지는 Capacitance Manometer 는 반도체공정 및 진공 장비에 사용됩니다.

 

Features & Benefits

■ 실제 Vacuum Chamber내에 Total Pressure를 간접측정 방식으로 Pressure를 측정

■ Vacuum Chamber내에 Gas의 종류에 따라 영향을 받지 않는다.

■ 오염물질에 강한 소재를 사용하여 어느 진공게이지 보다 Life Time을 향상 정밀도가 높아 Process용으로 사용된다.

■ 761은 ATOVAC Power Supply & Readout 장치와 연결해 쉽게 사용이 가능하다.



 

Product




Specifications

Pressure ranges (mmHg Full Scale)

 1

Useable measurement range

1 x 10(-4) F.S

Accuracy

(non-linearity, hysteresis, and non-repeatability

±0.5% of Reading

±0.25% of Reading (Opt)

Temperature Coefficients

Zero

Spen

15 to +40°C

± 0.02% FS/50 °C

± 0.04% Rdg/50°C

 Ambient operating temperature range

5°C to 50°C

Materials exposed to gases

Inconel

Volume (Px side)

5.0cc

Overpressure limit without damage 

45 psia (310 kpa)

Input Required

+12~30 VDC

Output 

0 to + 10VDC into ≥ 10K Ω load

Fittings 

8 VCR female, 4 VCR female

NW16KF, NW25KF

Agency Compliance 

CE, RoHS Compliant


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