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730 [Capacitance Manometers]

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730 [Capacitance Manometers]

  • 所属分类:Vacuum Gauge

  • 点击次数:
  • 发布日期:2018/03/04
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详细介绍

730 [Capacitance Manometers]

730 Capacitance Manometers

일반적으로 진공 Chamber에 설치되어, 실제 진공 Chamber내에 압력을 읽어내는 게이지 이며, 보통 ±12~30 VDC의 파워를 필요로 하고  0~10VDC 시그널의 출력을 가지는 Capacitance Manometer는 반도체공정 및 진공 장비에 사용됩니다.

 

Features & Benefits

 실제 Vacuum Chamber내에 Total  Pressure를 간접측정 방식으로 Pressure를 측정 

 Vacuum Chamber내에 Gas의 종류에 따라 영향을 받지 않는다.

 오염물질에 강한 소재를 사용하여 어느 진공게이지 보다 Life Time을 향상, 정밀도가 높아 Process용으로 사용된다.

 730은 Atovac Power Supply & Readout 장치와 연결해 쉽게 사용이 가능하다.


 
 

 

Product



Specifications

Pressure ranges (mmHg Full Scale)

10, 20, 100, 200, 1000 

Useable measurement range 

1 x 10(-4) F.S 

Accuracy

(non-linearity, hysteresis, and non-repeatability) 

±0.5% of Reading

±0.25% of Reading (0pt) 

Temperature Coefficients

Zero

Span 

0 to + 50°c

< ± 0.25% FS/50°c

< ± 1.35% Rdg/50°c

Ambient operating temperature range

0°c to 80°c

Materials exposed to gases

Inconel 

Volume (Px side) 

6.0cc 

Overpressure limit without damage

45 psia (310 kpa) 

Input Required 

+12~30 VDC 

Output

0 to +10VDC into ≥ 10K Ω load 

Fittings

8 VCR female, 4 VCR female

NW16KF, NW25KF 

Agency compliance

CE, RoHS Compliant 

 



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