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GMC1200 [Flow & Pressure Controller]

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GMC1200 [Flow & Pressure Controller]

  • 所属分类:Controller

  • 点击次数:
  • 发布日期:2018/03/04
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详细介绍

GMC1200 [Flow & Pressure Controller]

GMC1200 Flow & Pressure Controller

GMC1200 Flow & Pressure Controller는 기본적으로 MFC(Mass Flow Controller)에 Power(±15VDC)를 공급하고 Flow량을 Display하며 안정된 Set Point Voltage (0~5VDC)를 주어 MFC가 정확하게 Control될 수 있도록 하는 장치이다. 또한 2 Channel(PCB 한장)의 단위로 Capacitance Manometer Display Board를 이용하여 MFC 대신 압력을 Display 할수 있도록 설계되었다. (0~10 VDC Pressure Signal), Option 사양으로 Upstream Pressure Control Board를 추가하면, 따로 Pressure Control Mode로 들어갈 수 있어서, 각 Channel에 연결된 MFC 중에서 원하는 Channel들을 임의로 선택하여 Gas의 양을 가지고 원하는 압력을 자동으로 Control 할수 있으며 동시에 압력도 Display 할 수 있다.

여기서 Pressure Control Channel로 지정되지 않는 Channel은 따로 독립적으로 Flow 양을 Control 할 수 있다. 이 모든 것이 Micro Processor로 Control 되며 RS-232 Interface를 이용한 PC Control도 가능하다.

 

Features & Benefits

 초고속 마이크로 프로세서 채택.

 16bit Bipoar A/D Control 사용 (± Voltage Display 가능)

 문장 LCD보다 판독이 용이한 그래픽 LCD 채택.

 유량이나 압력 값의 단위르 ㄹ유저가 직접 입력 가능.

■ Gas 조절 등, 유저가 원하는 값을 숫자키를 이용하여 입력하므로 빠르고 편리한 것이 장점.

 2,4,6,8 Channel 식으로 Channel 추가가 가능.

■ MFC 대신에 Capacitance Manometer를 연결하여 압력의 측정이 가능.

 각 채널 별 비율 Control 가능. (비율 Control을 하지 안는채널은 따로 유량 Control 가능.)

 Total 유량 적산 기능.

 MFC와 Capacitance Manometer를 이용하여 Upstream Pressure Control이 가능 (Optional)

 

Products



Specifications

Physical

Width

241mm - Half Rack Mounting ears

Height

88mm - 2 U Rack 

Depth

200mm 

Weight 

Approx. 1.5kg ~ 2kgs (Depends on options) 

Electrical

Input Power

195 ~ 265VAC @50/60 Hz 85VA (max) - default

98 ~ 135VAC @50/60 Hz 85VA - Optional

Fuse rating

250 VAC @3 A 

Output Power

+/-15VDC  ±5% @2.7A

Operating Temperature 

0 ~ 50°c

Input Signal 

0 ~ 5.000VDC for MFC

0 ~ 10,000VDC for Capacitance Manometer 

Output Signal

0 ~ 5,000VDC for MFC Flow Command 

Display Window

128*64 dot Graphic LCD 

Display Units 

sccm, slm for MFC,  Torr for CM 

Interface

RS-232C PC Interface

TTL flow On/Off Interface 



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