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Throttle valve

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Throttle valve

  • 所属分类:Throttle Valve

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  • 发布日期:2018/03/04
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详细介绍

GPC3000 [Throttle Valve Controller]

GPC3000 Throttle ValveController

GPC3000 Pressure&Flow Controller는 기본적으로 Capacitance Manometer에 Power(±15VDC)를 공급하고 이로부터 Pressure Signal을 받아들여 Display함과 동시에 Throttle Valve를 연결하고 PID또는 Self-Tuning 기능을 사용하여 Pressure를 Control하는 장치이다. 이 중에서 Self-Tuning기능을 사용하면 Chamber 내로 유입되는 Gas의 양, Pump Speed, Valve Position 별 진공 압력 변화, 그리고 기타 다른 중요한 Parameter들을 감지하여 Pressure Control Factor들을 습듭한다. User가 이 기능을 사용하여 Pressure Control을 할 경우 원하는 압력에 보다 빨리 도달 할 수 있다. Process Limit Relay가 2개 내장되어 있어 User의 장비 Process에 도움이 되도록 하였다.

 

 

Features & Benefits

■ GPC3000에는 Option으로 최대 4개의 MFC를 연결할 수 있는 PCB Card가 준비되어 있으며 PCB 1장당 2 Channel(MFC 2개 연결)로 구성되어 있다.

■ GPC3000은 아주 편리하고 간단하게 Local(Front Panel), I/O 또는 RS-232 Remote로 모든 제어가 가능하게 설계 되어 있다.

Product

Specifications

Valves Operated

ATV1000 Exhaust Throttle Valves, MKS Type

653 and 253 Exhaust Throttle Valves and Others

Pressure Input Signal

Standard : 0-10 VDC

Input Power Required90-132 or 180-264 VAC, 50/60 Hz

Set Point

Programmable

External Analog

5 total, programmable in any combin for pressure or position

(adjustable from the front panel or RS232 selectable from the front panel, TTL, or RS232)

0-10 VDC

Controller Repeatability

±0.1% of F.S

Ambient Operating

Temperature

150C - 450C

Output Power

±15 VDC ±5% @ 1.5 Amp 

Analog Output Signal

0-10 VDC for 0-100% valve position  and 0-10 VDC for 1-100%, F.S pressure

Size

1/2-rack packing : 88mm H x 241mm W x 225 D

Display

128 x 64 dot Graphic LCD (pressure, position and external set-point readout)

Display Units

Soft Start

Torr, mTorr, mbar, Pascal, cmH20, inH20, mbar, kpa Standard

PID Control

Standard

Remote Zero

Standard

Interface

Front panel, Analog, TTL and RS232

Relay Output

2, process limits : 24 Volts AC/DC 0.5Amp resistive

Remote Control Override

(Open, Close, Hold)

Standard

Position Control

Capability

Standard

Battery Backup

N/A


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