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PVG-500S 皮拉尼规管

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PVG-500S 皮拉尼规管

  • 所属分类:真空测量

  • 点击次数:
  • 发布日期:2018/03/01
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详细介绍

PVG-500S 皮拉尼规管


Agilent PVG-500/500S(钨)/502S(镍)系列皮拉尼规实现了在紧凑的设计中对最新技术与坚固耐用的完美结合。PVG-500 系列采用最先进的数字皮拉尼技术和不锈钢传感器设计,可以满足今日市场的各种需求。

主动式真空计选型表

安捷伦主动式真空规的一体式紧凑包中含有规和控制器。这些规非常适用于嵌入式 OEM 以及一台控制计算机或 PLC 处理一个或多个规的显示/控制功能工业系统。用户提供输入电源(一般为 24 V),并通过电脑或 PLC 读取压力输出。用户可以通过各种设定点的交互功能实现系统自动化

真空范围真空规类型真空规特性
前级泵 — 大气压低至 10-mbar

CT-100 对流式真空规
  • 用于主动式粗真空压力测量的低成本解决方案

  • 设计用于质谱仪、表面分析系统之类的应用和工业应用

  • 适合真空进样室、复杂系统的压力排序,还能防止涡轮分子泵因空气突然进入而受损

  • 两种用户可选的压力范围(1 x 10 -4 至 1000 mbar),可以在最需要准确性和可再现性的情况下提供准确、可再现的读数

  • 压力响应迅速(低于 0.2 秒)


PVG-500 微型皮拉尼规
  • 紧凑耐用的铝制外壳,可以以任何方向安装,提供对数信号输出。

  • 具有金属密封穿导件的不锈钢传感器单元提供了适合多种应用的耐久设计

  • 按钮 ATM 和高真空 (HV) 调节功能的设置非常方便

  • 镍灯丝选件提供了腐蚀性应用解决方案

  • 可选设定点,利用压力读数触发重要操作


CDG-500 电容薄膜规管
  • 全量程从 1 到 1000 Torr,可用按钮调零和采用可选设定点控制

  • 卓越的长期信号稳定性和重现性可提供长期的性能,其结果与加热型不相上下

  • 从大气压下恢复迅速,启动后迅速达到稳定状态,缩短了过程循环时间

  • 耐腐蚀陶瓷传感器,带传感器屏蔽保护功能


PCG-750 皮拉尼/电容薄膜真空规管
  • 大气压下具有极高的准确度和重现性

  • 快速大气压检测缩短了流程的循环周期

  • 对于 10 mbar 以上的压力,结果与气体类型无关,因此可以安全排放任何混合气体

  • 紧凑耐用的外壳,可以以任何方向安装,提供对数信号输出

  • 设定点控制利用压力读数来触发关键操作

  • 可替换的即插即用传感器易于维修,降低了用户的使用维护成本

  • 镍灯丝选件提供了腐蚀性应用解决方案

  • 亮色 LED 显示选项可轻松监测压力

全量程真空规管 — 大气压低至 10-10 mbar

FRG-700/702 皮拉尼/反磁式真空规管
  • 在一体化、紧凑且经济的规管内集成两种测量技术

  • 测量从 5 x 10-9 mbar 至大气压(3.8 x 10-9 Torr 至大气压)的工作压力和极限压力

  • 一体化、紧凑的规管带有对数模拟输出,可大幅降低安装、设置和集成的复杂性

  • 适合监控高真空压力、蒸镀和溅镀系统的极限压力,以及中高真空范围内的普通真空测量和控制

  • 宽测量范围,从 5 × 10-9 mbar 至大气压

  • 灯丝不易毁坏

  • 优异的启动性能

  • 易于清洁


FRG-720/730 皮拉尼/B-A 型规
  • 组合式规 — B-A 型和皮拉尼提供较宽的测量范围,从 5 x 10-10 mbar 到大气压

  • 寿命长的涂氧化钇铱灯丝提供了适合多种应用的耐久设计

  • 皮拉尼联锁可防止 B-A 型传感器过早烧毁和受高压操作污染

  • 设定点控制利用压力读数来触发关键操作

  • LED 显示选项可轻松监测压力

  • Profibus 通讯选件便于控制网络

技术指标


测量范围
(空气,O2,CO,N2

5 x 10-4 到 1000 mbar(3.75 x 10-4 到 750 Torr)

准确度 (N2)

单位

读数 (%)

+ 15%

1 x 10-3 到 100 mbar (1 x 10-3 到 75 Torr)

+ 50%

5 x 10-4 至 1 x 10-3 mbar(3.75 x 10-4 至 1 x 10-3 Torr)

+ 50%

100 到 1000 mbar(75 到 750 Torr)

重复性 (空气)

1 x 10-3 到 100 mbar(1 x 10-3 到 75 Torr) — 读数的 % ��+2%

输出信号 (测量信号)

电压范围

测量范围

0 到 10.3 V

1.9 到 10.0 V

电压与压力关系

1.286 V/格,对数

错误信号

0 到 0.5 V(灯丝断裂)

最小负载阻抗

10 kΩ,短路保护

响应时间

80 ms

调整

一个触摸式开关,可用于 ATM 和 HV 调节

识别规管

27 kΩ,与常见备件参照

设定点 (2)


PVG-500

PVG-500S, PVG-502S

 设定范围

2 x 10-3 到 500 mbar(1.5 x 10 -3 到 375 Torr)

滞后

比读数的 % 的下阈值高 10%

继电器触点

30 VDC/0.5 ADC 浮动

切换时间

< 20 ms

电源电压

在规管处

脉动

能耗

14 到 30 VDC

≤ 1 Vpp

≤ 1 W

电气连接

FCC 68/RJ45 设备连接器,8 芯,外口

传感器电缆

8 芯加屏蔽

电缆长度

≤ 100 m(330 英尺)

暴露于真空中的材料

玻璃,镍,镍铁合金,钨(钨型)

允许温度

操作

储存

真空连接

5 到 60 ℃

–20 到 + 65 °C

80 ℃


外形图

PVG-500 系列皮拉尼规管外形图

技术参数

09_Vacuum_Measurement.pdf


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