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安捷伦CDG-500 电容薄膜规管

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安捷伦CDG-500 电容薄膜规管

  • 所属分类:检漏

  • 点击次数:
  • 发布日期:2018/03/01
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详细介绍

CDG-500 电容薄膜规管


Agilent CDG-500 系列温度补偿电容薄膜规管可以在高压范围内提供较高精度。可提供从 1000 Torr 至 1 Torr 的全量程测量。CDG-500 系列采用耐腐蚀的超纯氧化铝瓷隔膜,可提供超常的信号稳定性,并具有从大气环境中快速恢复、预热时间短和坚固性无与伦比的特点。

安捷伦主动式真空规系列产品

主动式真空计选型表


安捷伦主动式真空规的一体式紧凑包中含有规和控制器。这些规非常适用于嵌入式 OEM 以及一台控制计算机或 PLC 处理一个或多个规的显示/控制功能工业系统。用户提供输入电源(一般为 24 V),并通过电脑或 PLC 读取压力输出。用户可以通过各种设定点的交互功能实现系统自动化。

真空范围真空规类型真空规特性
前级泵 — 大气压低至 10-mbar

CT-100 对流式真空规
  • 用于主动式粗真空压力测量的低成本解决方案

  • 设计用于质谱仪、表面分析系统之类的应用和工业应用

  • 适合真空进样室、复杂系统的压力排序,还能防止涡轮分子泵因空气突然进入而受损

  • 两种用户可选的压力范围(1 x 10 -4 至 1000 mbar),可以在最需要准确性和可再现性的情况下提供准确、可再现的读数

  • 压力响应迅速(低于 0.2 秒)


PVG-500 微型皮拉尼规
  • 紧凑耐用的铝制外壳,可以以任何方向安装,提供对数信号输出。

  • 具有金属密封穿导件的不锈钢传感器单元提供了适合多种应用的耐久设计

  • 按钮 ATM 和高真空 (HV) 调节功能的设置非常方便

  • 镍灯丝选件提供了腐蚀性应用解决方案

  • 可选设定点,利用压力读数触发重要操作


CDG-500 电容薄膜规管
  • 全量程从 1 到 1000 Torr,可用按钮调零和采用可选设定点控制

  • 卓越的长期信号稳定性和重现性可提供长期的性能,其结果与加热型不相上下

  • 从大气压下恢复迅速,启动后迅速达到稳定状态,缩短了过程循环时间

  • 耐腐蚀陶瓷传感器,带传感器屏蔽保护功能


PCG-750 皮拉尼/电容薄膜真空规管
  • 大气压下具有极高的准确度和重现性

  • 快速大气压检测缩短了流程的循环周期

  • 对于 10 mbar 以上的压力,结果与气体类型无关,因此可以安全排放任何混合气体

  • 紧凑耐用的外壳,可以以任何方向安装,提供对数信号输出

  • 设定点控制利用压力读数来触发关键操作

  • 可替换的即插即用传感器易于维修,降低了用户的使用维护成本

  • 镍灯丝选件提供了腐蚀性应用解决方案

  • 亮色 LED 显示选项可轻松监测压力

全量程真空规管 — 大气压低至 10-10 mbar

FRG-700/702 皮拉尼/反磁式真空规管
  • 在一体化、紧凑且经济的规管内集成两种测量技术

  • 测量从 5 x 10-9 mbar 至大气压(3.8 x 10-9 Torr 至大气压)的工作压力和极限压力

  • 一体化、紧凑的规管带有对数模拟输出,可大幅降低安装、设置和集成的复杂性

  • 适合监控高真空压力、蒸镀和溅镀系统的极限压力,以及中高真空范围内的普通真空测量和控制

  • 宽测量范围,从 5 × 10-9 mbar 至大气压

  • 灯丝不易毁坏

  • 优异的启动性能

  • 易于清洁


FRG-720/730 皮拉尼/B-A 型规
  • 组合式规 — B-A 型和皮拉尼提供较宽的测量范围,从 5 x 10-10 mbar 到大气压

  • 寿命长的涂氧化钇铱灯丝提供了适合多种应用的耐久设计

  • 皮拉尼联锁可防止 B-A 型传感器过早烧毁和受高压操作污染

  • 设定点控制利用压力读数来触发关键操作

  • LED 显示选项可轻松监测压力

  • Profibus 通讯选件便于控制网络

特性


  • 全量程从 1 至 1000 Torr,按钮调零,可选设定点控制使一体化更加方便

  • 优异的长期信号稳定性和重现性

  • 从大气压下恢复迅速,启动后迅速达到稳定状态,缩短了过程循环时间

  • 采用耐腐蚀陶瓷传感器和屏蔽保护,确保了坚固耐用


技术指标


测量范围(全量程)Torr1000100101
Pa133,32213,3321,333133
mbar133313313.31.3
读数 (%)0.20.20.20.2

温度效应

全量程%/°C0.0050.0050.0050.015
跨度读数 (%)/°C0.010.010.010.01
分辨率全量程%0.0030.0030.0030.003
最大压力kPa(绝对压力)400260260260
最低读数全量程%0.01
建议最低读数全量程%0.05
建议最低控制压力全量程%0.05
温度操作(周围环境)烘烤温度
(法兰处)2
储存
5 到 50 ℃< 110 °C–40 到 65 °C
电源电压14 到 30 VDC
能耗< 1 W
输出信号(模拟)0 到 10 VDC
响应时间30 ms
防护等级IP30
电气连接D-Sub,15 针,内螺纹
设定点3 — 二 (2) 个设定点,SP 1 和 SP 2继电器触点滞后
30 VDC;< 0.5 ADC全量程的 1%
暴露于真空中的材料氧化铝陶瓷 (Al2O3),Vacon 704,不锈钢 (AlSl 316L5) AgCuTi 钎焊,密封玻璃

1 不考虑工作两小时后的温度效应,在 25 ℃ 环境工作温度下的非线性、滞后、重复性
2 未操作
3 仅限于 CDG-500 设定点型号
4 28% Ni,23% Co,49% Fe
5 18% Cr,10% Ni,3% Mo,69% Fe

外形图

CDG-500 电容薄膜规管外形图

技术参数

09_Vacuum_Measurement.pdf


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