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离子泵VacIon Plus 75

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离子泵VacIon Plus 75

  • 所属分类:高真空泵

  • 点击次数:
  • 发布日期:2018/02/28
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详细介绍

VacIon Plus 75


安捷伦的 VacIon Plus 离子泵系列具有适合各种抽速的 Diode、Noble Diode 和 StarCell 型号。Diode Vaclon Plus 离子泵通常用于抽空电子器件的通用超高真空 (UHV) 系统中及高分辨电子显微镜中。Noble Diode Vaclon Plus 离子泵用于以恒定的压力抽除混合气体的超高真空应用中,因此适合在粒子加速器、同步加速器环和表面分析应用中提供超高真空。StarCell 的专利设计使其成为唯一能抽除大量惰性气体和氢气的离子泵。该泵同样可以最高速度和最大容量处理甲烷、氩气和氦气。StarCell Vaclon Plus 离子泵适合需要在 10 -8 mbar 或以上压力下稳定工作的应用。

vacion_plus_75_ion_pump_lg.png

特性

  • 单元室采用优化设计,可最大限度提高排放强度和抽速

  • 离子泵在真空状态下运输

  • 具有宽广的抽速范围(从 0.2 l/s 至 1000 l/s)

  • 可提供多种泵体配置

  • 联锁的真空密封穿导件连接方便,并可避免腐蚀和最大限度缩小泵的总体尺寸

  • 三种不同的抽气单元可抽除所有可能的气体混合物

  • 专用陶瓷绝缘子可延长泵的寿命

  • 提供扫描电子显微镜 (SEM) 型

技术指标


StarCell®改进型二极离子泵二极泵
氮气名义抽速 (*) (L/s)656875
在 1 x 10-6 mbar 压力下的工作寿命(小时)80,00050,00050,000
最大启动压力 (mbar)≤ 5x10-2≤ 1x10-3
极限真空低于 10-11
抽气口法兰6 英寸 CFF (NW 100) AISI 304 ESR SST
最高烘烤温度 (℃)350
重量,kg(磅)19 (42)

(*) 根据 ISO/DIS 3556-1-1992 测试

外形图

VacIon Plus 75 外形图

技术参数

06_Ion_Pumps.pdf


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