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SKY® CDG025D-X真空计

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SKY® CDG025D-X真空计

  • 所属分类:真空计

  • 点击次数:
  • 发布日期:2018/01/04
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详细介绍

SKY® CDG025D-X3 0.1 ... 1000 托 / 毫巴过程压力真空计

INFICON SKY CDG025D 电容膜片真空计属于高精度温度补偿型真空计,在苛刻的生产环境中具有稳定的性能。 先进的数字电子设备提高真空计的性能和易于使用的特点,如一键调零功能和设定点调整。 抗腐蚀性的超纯陶瓷传感器具有卓越的零点稳定性和预计数百万次压强周期(包括大气冲击)的长使用寿命。 独特的传感器屏蔽(专利申请中)保护真空计免受过程污染。 坚固耐用的机械设计和数字电子设备改善了 EMC 兼容性、长期稳定性和温度补偿。 CDG025D 为电源接通后的快速稳定与暴露大气压后的快速恢复等特性设定了新标准。

CDG025D tiba33e1_tiba39e1.png

益处

  • 全刻度范围从 100 毫托 … 1000 托

  • 电源接通后快速稳定

  • 暴露于大气压后快速恢复

  • 防腐陶瓷传感器

  • 卓越的长期信号稳定性

  • 温度补偿

  • 传感器防污染双层保护

  • 一键调零功能

  • 电源范围广

  • 2 个设定点

  • RS232 接口

  • 符合洁净室标准

典型应用

  • 用于刻蚀、CVD、PVD、ALD 的半导体生产设备

  • 数据存储和显示制造设备

  • 工业真空设备

  • 常规高精度压力测量

规格

类型1000 Torr / 1100 mbar500 ... 10 Torr / mbar1 Torr / mbar0.25 Torr0.1 Torr / mbar
精度 (1)% of reading0.20.20.20.250.5
温度效应




零点percent FS/°C0.0050.0050.0150.020.02
满量程% of reading / °C0.010.010.010.030.03
分辨率percent FS0.0030.0030.0030.0030.003
压力,最大kPa (absolute)400260260130130
反应时间 (2)ms303030130130 / 30 (3)
最低读数percent FS0.010.010.010.010.01
建议的最低读数percent FS0.050.050.050.050.05
建议的最低控制压力percent FS0.50.50.50.50.5
温度




运行(环境)°C+5 … +50+5 … +50+5 … +50+5 … +50+5 … +50
在法兰处烘烤 (4)°C≤110≤110≤110≤110≤110
贮存°C–40 … +65–40 … +65–40 … +65–40 … +65–40 … +65
电源电压V (dc)+14 … +30+14 … +30+14 … +30+14 … +30+14 … +30
功耗W≤1≤1≤1≤1≤1
输出信号(模拟)V (dc)0 … +100 … +100 … +100 … +100 … +10
保护等级
IP 30IP 30IP 30IP 30IP 30
标准




CE 合规
EN 61000‑6‑2, EN 61000-6-3, EN 61010 & RoHSEN 61000‑6‑2, EN 61000-6-3, EN 61010 & RoHSEN 61000‑6‑2, EN 61000-6-3, EN 61010 & RoHSEN 61000‑6‑2, EN 61000-6-3, EN 61010 & RoHSEN 61000‑6‑2, EN 61000-6-3, EN 61010 & RoHS
ETL 认证
UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1
电气连接
D-Sub, 15-pin, maleD-Sub, 15-pin, maleD-Sub, 15-pin, maleD-Sub, 15-pin, maleD-Sub, 15-pin, male
设定点




设定点数量
2 (SP1,SP2)2 (SP1,SP2)2 (SP1,SP2)2 (SP1,SP2)2 (SP1,SP2)
继电器触点3030303030
滞后percent FS11111
暴露于真空的材料
Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (5))Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (5))Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (5))Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (5))Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (5))
内部容积




内部容积 1/2'' 管cm³ (in.³)3.6 (0.22)3.6 (0.22)3.6 (0.22)3.6 (0.22)3.6 (0.22)
内部容积 DN 16 ISO KFcm³ (in.³)3.6 (0.22)3.6 (0.22)3.6 (0.22)3.6 (0.22)3.6 (0.22)
内部容积 DN 16 CF-Rcm³ (in.³)3.6 (0.22)3.6 (0.22)3.6 (0.22)3.6 (0.22)3.6 (0.22)
内部容积 8 VCR®cm³ (in.³)3.6 (0.22)3.6 (0.22)3.6 (0.22)3.6 (0.22)3.6 (0.22)
重量




重量 1/2'' 管g310310310310310
重量 DN 16 ISO KFg330330330330330
重量 DN 16 CF-Rg350350350350350
重量 8 VCR®g370370370370370

(1) 25 °C 环境温度时非线性、滞后、可重复,运行 2 小时后不产生温度效应。

(2) 增加 10 ...90 % FS

(3) 仅适用于压力控制类型

(4) 非运行

(5) 18% 铬、10% 镍、3% 钼、69% 铁

零件号

CDG025D-X3 PIM 2016_04_18.png


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