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SKY® CDG025D真空计

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SKY® CDG025D真空计

  • 所属分类:真空计

  • 点击次数:
  • 发布日期:2018/01/04
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详细介绍

SKY® CDG025D 0.1 ... 1000 托 / 毫巴

INFICON SKY CDG025D 电容隔片真空计系列的高精度 温度补偿型压力计可以在恶劣的 生产加工环境中提供稳定性能。 高级数字电子元件用于改进 真空计的性能,具有一键调零功能 和设定点调整等易于操作的特性。 防腐蚀超纯陶瓷传感器提供 优异的零点稳定性, 预期使用寿命长达数百万次压力循环(包括气压突变)。 独特的传感器屏蔽(正在申请专利)用于保护 真空计,使其免受加工污染。 坚固的机械设计和数字 电子元件可以改进电磁兼容性 (EMC)、长期稳定性和温度 补偿。 CDG025D 电容隔片真空计为开机后快速稳定 以及从大气气压中快速恢复的功能树立了新的标准。

CDG025D tiba33e1_tiba39e1.png

益处

  • 全刻度范围从 100 毫托 … 1000 托

  • 电源接通后快速稳定

  • 暴露于大气压后快速恢复

  • 防腐陶瓷传感器

  • 卓越的长期信号稳定性

  • 温度补偿

  • 传感器防污染保护

  • 一键调零功能

  • 电源范围广

典型应用

  • 用于刻蚀、CVD、PVD、ALD 的半导体生产设备

  • 数据存储和显示制造设备

  • 工业真空设备

  • 常规高精度压力测量

规格

类型1000 Torr / 1100 mbar500 ... 10 Torr / mbar1 Torr / mbar0.25 Torr0.1 Torr / mbar
精度 (1)% of reading0.20.20.20.250.5
温度效应




零点percent FS/°C0.0050.0050.0150.020.02
满量程% of reading / °C0.010.010.010.030.03
分辨率percent FS0.0030.0030.0030.0030.003
压力,最大kPa (absolute)400260260130130
反应时间 (2)ms303030130130
最低读数percent FS0.010.010.010.010.01
建议的最低读数percent FS0.050.050.050.050.05
建议的最低控制压力percent FS0.50.50.50.50.5
温度




运行(环境)°C+5 … +50+5 … +50+5 … +50+5 … +50+5 … +50
在法兰处烘烤 (3)°C≤110≤110≤110≤110≤110
贮存°C–40 … +65–40 … +65–40 … +65–40 … +65–40 … +65
电源电压V (dc)+14 … +30+14 … +30+14 … +30+14 … +30+14 … +30
功耗W≤1≤1≤1≤1≤1
输出信号(模拟)V (dc)0 … +100 … +100 … +100 … +100 … +10
保护等级
IP 30IP 30IP 30IP 30IP 30
标准




CE 合规
EN 61000‑6‑2, EN 61000-6-3, EN 61010 & RoHSEN 61000‑6‑2, EN 61000-6-3, EN 61010 & RoHSEN 61000‑6‑2, EN 61000-6-3, EN 61010 & RoHSEN 61000‑6‑2, EN 61000-6-3, EN 61010 & RoHSEN 61000‑6‑2, EN 61000-6-3, EN 61010 & RoHS
ETL 认证
UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1
电气连接
D-sub, 15 pole, maleD-sub, 15 pole, maleD-sub, 15 pole, maleD-sub, 15 pole, maleD-sub, 15 pole, male
设定点 (4)




设定点数量
2 (SP1,SP2)2 (SP1,SP2)2 (SP1,SP2)2 (SP1,SP2)2 (SP1,SP2)
继电器触点3030303030
滞后percent FS11111
暴露于真空的材料
Aluminum oxide ceramic (AI2O3), Vacon 70(5), stainless steel (AISI 316L (6)), AgCuTi hard solder, sealing glassAluminum oxide ceramic (AI2O3), Vacon 70(5), stainless steel (AISI 316L (6)), AgCuTi hard solder, sealing glassAluminum oxide ceramic (AI2O3), Vacon 70(5), stainless steel (AISI 316L (6)), AgCuTi hard solder, sealing glassAluminum oxide ceramic (AI2O3), Vacon 70(5), stainless steel (AISI 316L (6)), AgCuTi hard solder, sealing glassAluminum oxide ceramic (AI2O3), Vacon 70(5), stainless steel (AISI 316L (6)), AgCuTi hard solder, sealing glass
内部容积




1/2'' 管cm³ (in.³)3.6 (0.22)



DN 16 ISO KFcm³ (in.³)3.6 (0.22)



DN 16 CF-Rcm³ (in.³)3.6 (0.22)



8 VCR®cm³ (in.³)3.6 (0.22)



重量




1/2'' 管g




DN 16 ISO KFg




DN 16 CF-Rg




8 VCR®g




(1) 25 °C 环境温度时非线性、滞后、可重复,运行 2 小时后不产生温度效应。

(2) 增加 10 … 90 % FS

(3) 非运行

(4) 仅适用于 CDG025D-S

(5) 28% 镍、23% 钴、49% 铁

(6) 18% 铬、10% 镍、3% 钼、69% 铁

零件号

CDG025D PN.png


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