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Stripe CDG100Dhs真空计

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Stripe CDG100Dhs真空计

  • 所属分类:真空计

  • 点击次数:
  • 发布日期:2018/01/04
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详细介绍

Stripe CDG100Dhs 0.1 ...1000 托/毫巴

CDG045Dhs高速电容膜片真空计.jpg

 

INFICON Stripe 高速电容式隔膜真空计目前是最快速、高度准确的真空仪器。响应时间不到 2 ms,配备 EtherCAT 现场总线接口,开拓了全新的应用领域。成熟的控温、防腐蚀、超纯陶瓷传感器能长期提供出众的量程稳定性,而且具有无与伦比的零位稳定性。Stripe 随附 INFICON 已获专利的独特传感器屏蔽,用于保护真空计,使其免受不需要的过程副产品的影响。INFICON Stripe 使用创新的加热概念,提供冰凉的接触表面和独特的速度性能,可实现史无前例的生产力提升,使其成为同类产品中最先进的真空仪器。

益处

  • 高生产力 - 响应时间快于 2 ms

  • 灵活集成 - EtherCAT 现场总线

  • 使用寿命长 - 经验证的陶瓷传感器

  • 忘记重新校准 - 90ppm/年全方位稳定性

典型应用

  • 原子层沉积

  • 高速过程控制

  • PVD、CVD、刻蚀

  • 一般高温真空应用

规格

类型1000 ... 500 Torr / mbar200 ... 1 Torr / mbar0.5 ... 0.1 Torr / mbar
精度 (1)% of reading0.20.20.4
温度效应


零点percent FS/°C0.00250.00250.005
满量程% of reading / °C0.020.020.02
压力,最大kPa (absolute)400260130
分辨率percent FS0.0030.0030.003
最低读数percent FS0.010.010.01
建议的最低读数percent FS0.050.050.05
建议的最低控制压力percent FS0.50.50.5
温度


运行(环境)°C+10 … +50+10 … +50+10 … +50
在法兰处烘烤°C≤110≤110≤110
贮存°C–20 … +85–20 … +85–20 … +85
电源电压
+14 … +30 VDC or ±15 V (±5%)+14 … +30 VDC or ±15 V (±5%)+14 … +30 VDC or ±15 V (±5%)
功耗


加热时W≤16≤16≤16
运行温度W≤11≤11≤11
输出信号(模拟)V (dc)0 … +100 … +100 … +10
反应时间 (2)ms222
保护等级
IP 30IP 30IP 30
标准


CE 合规
EN 61000‑6‑2/-6-3, EN 61010 & RoHSEN 61000‑6‑2/-6-3, EN 61010 & RoHSEN 61000‑6‑2/-6-3, EN 61010 & RoHS
ETL 认证
UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1
SEMI 合规
SEMI S2SEMI S2SEMI S2
电气连接
D-sub, 15 pole, maleD-sub, 15 pole, maleD-sub, 15 pole, male
设定点


设定点数量
2 (SP1,SP2)2 (SP1,SP2)2 (SP1,SP2)
继电器触点≤30≤30≤30
滞后percent FS111
诊断端口


协议
USBUSBUSB
读数
pressure, status, IDpressure, status, IDpressure, status, ID
设置
set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offsetset points, filter, zero adjust, factory reset, DC offsetset points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset
暴露于真空的材料
Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (4))Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (4))Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (4))
内部容积


内部容积 1/2'' 管cm³ (in.³)4.2 (0.26)4.2 (0.26)4.2 (0.26)
内部容积 DN 16 ISO KFcm³ (in.³)4.2 (0.26)4.2 (0.26)4.2 (0.26)
内部容积 DN 16 CF-Rcm³ (in.³)4.2 (0.26)4.2 (0.26)4.2 (0.26)
内部容积 8 VCR®cm³ (in.³)4.2 (0.26)4.2 (0.26)4.2 (0.26)
重量


重量 1/2'' 管g837837837
重量 DN 16 ISO KFg852852852
重量 DN 16 CF-Rg875875875
重量 8 VCR®g897897897





EtherCAT


协议 EtherCAT
protocol specialized for EtherCATprotocol specialized for EtherCATprotocol specialized for EtherCAT
通讯标准
ETG.5003 Part 1 "Semiconductor Device Profile" ETG.5003 Part 2080 "Specific Device Profile: Vacuum Pressure Gauge"ETG.5003 Part 1 "Semiconductor Device Profile" ETG.5003 Part 2080 "Specific Device Profile: Vacuum Pressure Gauge"ETG.5003 Part 1 "Semiconductor Device Profile" ETG.5003 Part 2080 "Specific Device Profile: Vacuum Pressure Gauge"
节点地址
Explicit Device IdentificationExplicit Device IdentificationExplicit Device Identification
物理层
100BASE-Tx (IEEE 802.3)100BASE-Tx (IEEE 802.3)100BASE-Tx (IEEE 802.3)
数字功能读取
pressure, status, IDpressure, status, IDpressure, status, ID
数字功能设置
set points, filter, zero adjust, reset, DC offsetset points, filter, zero adjust, reset, DC offsetset points, filter, zero adjust, reset, DC offset
过程数据
Fixed PDO mapping and configurable PDO mappingFixed PDO mapping and configurable PDO mappingFixed PDO mapping and configurable PDO mapping
邮箱 (CoE)
SDO requests, responses and informationSDO requests, responses and informationSDO requests, responses and information
EtherCAT 连接器
RJ45, 8-pin (socket), IN and OUTRJ45, 8-pin (socket), IN and OUTRJ45, 8-pin (socket), IN and OUT
电缆
shielded Ethernet CAT5e or highershielded Ethernet CAT5e or highershielded Ethernet CAT5e or higher
电缆长度m (ft.)≤100 (330)≤100 (330)≤100 (330)

(1) 非线性,迟滞,在 25 °C 环境工作温度中的可重复性,2 小时工作后无温度影响。

(2) 提高 10 … 90 % FS  

零件号

Stripe100_PN.png


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