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SKY® CDG100D电容膜片真空计

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SKY® CDG100D电容膜片真空计

  • 所属分类:真空计

  • 点击次数:
  • 发布日期:2018/01/04
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详细介绍

SKY® CDG100D 0.1 ... 1000 托/毫巴

INFICON SKY CDG100D 压力计是实现精确总压测量与控制的理想之选。 CDG100D 真空计温度控制在 100 °C,具有卓越的性能,适用于苛刻的半导体和等离子过程。 在 100 毫托至 1000 托满刻度范围内均可使用,带有所有常用类型的法兰和现场总线接口,能够提供 0 至 10V、不受气体类型限制的线性压力信号。 INFICON 电容式压力计采用超纯氧化铝陶瓷隔膜,具有防腐蚀性。 陶瓷传感器具有信号稳定性更佳、从大气恢复的速度更快、预热时间短和使用寿命长等诸多优势。 INFICON CDG 品质卓越,极具成本效益,适用于苛刻的半导体、等离子和真空应用。

CDGxxxD tiba34_35.png

益处

  • 拥有成本更低,预热速度快 50%,节能,低功耗

  • 易于集成,各种满刻度、法兰和接口,标配两个设定点

  • 轻松一键调零或远程信号调零指令,可调零点偏移

  • 诊断端口用于快速维修和维护

  • 两年保修服务,先进的加热概念和真空计保护延长了使用寿命

  • 卓越的信号稳定性和可重复性,即使是最苛刻的等离子应用,都无需长期执行重新校准

  • 合规性与标准: CE、EN、UL、SEMI、RoHS

典型应用

  • 用于刻蚀、CVD、PVD 和其他半导体制造过程

  • 化学和腐蚀性高温过程

  • 需要真空计保护的一般薄膜和真空过程

新闻

配备 EtherCAT 数字接口现在可用!

规格

类型1000 ... 500 Torr / mbar200 ... 1 Torr / mbar0.5 ... 0.1 Torr / mbar
精度 (1)% of reading0.20.20.4
温度效应


零点percent FS/°C0.00250.00250.005
满量程% of reading / °C0.020.020.02
压力,最大kPa (absolute)400260130
分辨率percent FS0.0030.0030.003
最低读数percent FS0.010.010.01
建议的最低读数percent FS0.050.050.05
建议的最低控制压力percent FS0.50.50.5
温度


运行(周围环境)(5)°C+10 … +50

在法兰处烘烤°C≤110≤110≤110
贮存°C–20 … +65–40 … +65–40 … +65
电源电压
+14 … +30 VDC or ±15 V (±5%)+14 … +30 VDC or ±15 V (±5%)+14 … +30 VDC or ±15 V (±5%)
功耗


加热时W≤15≤15≤15
运行温度W≤10≤10≤10
输出信号(模拟)V (dc)0 … +100 … +100 … +10
反应时间 (2)ms3030130 / 30 (3)
保护等级
IP 40IP 40IP 40
标准


CE 合规
EN 61000‑6‑2/-6-3, EN 61010 & RoHSEN 61000‑6‑2/-6-3, EN 61010 & RoHSEN 61000‑6‑2/-6-3, EN 61010 & RoHS
ETL 认证
UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1
SEMI 合规 (5)
SEMI S2

电气连接
D-sub, 15 pole, maleD-sub, 15 pole, maleD-sub, 15 pole, male
设定点


设定点数量
2 (SP1,SP2)2 (SP1,SP2)2 (SP1,SP2)
继电器触点≤30≤30≤30
滞后percent FS111
诊断端口


协议
RS232-CRS232-CRS232-C
读数
pressure, status, IDpressure, status, IDpressure, status, ID
设置
set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offsetset points, filter, zero adjust, factory reset, DC offsetset points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset
暴露于真空的材料
Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (4))Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (4))Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (4))
内部容积


内部容积 1/2'' 管cm³ (in.³)4.2 (0.26)4.2 (0.26)4.2 (0.26)
内部容积 DN 16 ISO KFcm³ (in.³)4.2 (0.26)4.2 (0.26)4.2 (0.26)
内部容积 DN 16 CF-Rcm³ (in.³)4.2 (0.26)4.2 (0.26)4.2 (0.26)
内部容积 8 VCR®cm³ (in.³)4.2 (0.26)4.2 (0.26)4.2 (0.26)
重量


重量 1/2'' 管g837837837
重量 DN 16 ISO KFg852852852
重量 DN 16 CF-Rg875875875
重量 8 VCR®g897897897





EtherCAT


协议 EtherCAT
protocol specialized for EtherCATprotocol specialized for EtherCATprotocol specialized for EtherCAT
通讯标准
ETG.5003 Part 1 "Semiconductor Device Profile" ETG.5003 Part 2080 "Specific Device Profile: Vacuum Pressure Gauge"ETG.5003 Part 1 "Semiconductor Device Profile" ETG.5003 Part 2080 "Specific Device Profile: Vacuum Pressure Gauge"ETG.5003 Part 1 "Semiconductor Device Profile" ETG.5003 Part 2080 "Specific Device Profile: Vacuum Pressure Gauge"
节点地址
Explicit Device IdentificationExplicit Device IdentificationExplicit Device Identification
物理层
100BASE-Tx (IEEE 802.3)100BASE-Tx (IEEE 802.3)100BASE-Tx (IEEE 802.3)
数字功能读取
pressure, status, IDpressure, status, IDpressure, status, ID
数字功能设置
set points, filter, zero adjust, reset, DC offsetset points, filter, zero adjust, reset, DC offsetset points, filter, zero adjust, reset, DC offset
过程数据
Fixed PDO mapping and configurable PDO mappingFixed PDO mapping and configurable PDO mappingFixed PDO mapping and configurable PDO mapping
邮箱 (CoE)
SDO requests, responses and informationSDO requests, responses and informationSDO requests, responses and information
EtherCAT 连接器
RJ45, 8-pin (socket), IN and OUTRJ45, 8-pin (socket), IN and OUTRJ45, 8-pin (socket), IN and OUT
电缆
shielded Ethernet CAT5e or highershielded Ethernet CAT5e or highershielded Ethernet CAT5e or higher
电缆长度m (ft.)≤100 (330)≤100 (330)≤100 (330)





DeviceNet™


协议
DeviceNet™, group 2 slave onlyDeviceNet™, group 2 slave onlyDeviceNet™, group 2 slave only
数据率kBaud125, 250, 500 by switch or network programmable125, 250, 500 by switch or network programmable125, 250, 500 by switch or network programmable
电缆长度 125 kbpsm (ft.)500 (1650)500 (1650)500 (1650)
电缆长度 250 kbpsm (ft.)250 (825)250 (825)250 (825)
电缆长度 500 kbpsm (ft.)100 (330)100 (330)100 (330)
MAC ID
address 00 - 63 by switch or network programmableaddress 00 - 63 by switch or network programmableaddress 00 - 63 by switch or network programmable
数字功能读取
pressure, status, IDpressure, status, IDpressure, status, ID
数字功能设置
set points, filter, zero adjust, reset, DC offsetset points, filter, zero adjust, reset, DC offsetset points, filter, zero adjust, reset, DC offset
技术规格
DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile" (ODVA)DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile" (ODVA)DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile" (ODVA)
设备类型
''VG'' vacuum gauge''VG'' vacuum gauge''VG'' vacuum gauge
I / O 从属传讯
polling onlypolling onlypolling only
真空计 D 型连接器的电源电压
+14 … +30 VDC or ±15 V / ≤12 W+14 … +30 VDC or ±15 V / ≤12 W+14 … +30 VDC or ±15 V / ≤12 W
为微型连接器上的 DeviceNet 收发器提供电压
24 V nom / <2 W (11 … 25 V)24 V nom / <2 W (11 … 25 V)24 V nom / <2 W (11 … 25 V)
DeviceNet™ 连接器
microstyle, 5 pin, malemicrostyle, 5 pin, malemicrostyle, 5 pin, male
CDG(模拟输出、CDG 电源电压、设定点)连接器
D-sub, 15 pin, maleD-sub, 15 pin, maleD-sub, 15 pin, male





Profibus DP


波特率9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 5009.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 5009.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500
地址
address 00 - 125 by switch or network programmableaddress 00 - 125 by switch or network programmableaddress 00 - 125 by switch or network programmable
数字功能读取
pressure, status, IDpressure, status, IDpressure, status, ID
数字功能设置
set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offsetset points, filter, zero adjust, factory reset, DC offsetset points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset
Profibus DP 连接器
D-sub, 9 pin, femaleD-sub, 9 pin, femaleD-sub, 9 pin, female
CDG(模拟输出、电源电压、设定点)连接器
D-sub, 15 pin, maleD-sub, 15 pin, maleD-sub, 15 pin, male

(1) 25 °C 环境温度时非线性、滞后、可重复,运行 2 小时后不产生温度效应。

(2) 增加 10 … 90 % FS 

(3) 仅适用于压力控制类型。

(4) 18% 铬、10% 镍、3% 钼、69% 铁

, 环境温度 >40°C 可增大表面温度高于 SEMI S2 的规定值

零件号

CDG100D PIM 2016_04_18-01.png


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