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Edge CDG045D电容膜片真空计

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Edge CDG045D电容膜片真空计

  • 所属分类:真空计

  • 点击次数:
  • 发布日期:2018/01/04
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详细介绍

Edge CDG045D2 1 … 1000 托 / 毫巴

INFICON Edge 电容膜片真空计属于高精准真空测量仪器,专为 苛刻的生产环境而设计。经验证的温度控制、防腐蚀超纯陶瓷传感器可长期提供 卓越的满量程稳定性和最先进的零点稳定性。Edge 采用 INFICON 获得专利的 独特传感器屏蔽,可保护真空计在使用过程中产生不需要的附带结果。 先进的电子设备为所有应用提供各种可配置的信号条件以及可选的 EtherCAT 现场总线接口。 创新的加热概念确保了冰凉的接触表面并节省了宝贵的工具空间。 INFICON Edge 是同类产品中体积最小的真空测量仪器。

Edge CDG045D2 电容膜片真空计.jpg

益处

  • 设计紧凑,节省宝贵的工具空间

  • 易于集成,EtherCAT,各种满刻度和法兰,标配两个设定点

  • 轻松一键调零或远程信号调零指令,可调零点偏移

  • 诊断端口用于快速维修和维护

  • 两年保修服务,先进的加热概念和真空计保护延长了使用寿命

  • 卓越的信号稳定性和可重复性,即使是最苛刻的等离子应用,都无需长期执行重新校准

  • 合规性与标准:CE、EN、UL、SEMI、RoHS

典型应用

  • 用于 CVD、刻蚀、PVD 和其他半导体制造过程

规格

类型1000 Torr, 1100 mbar500 ... 1 Torr / mbar
精度 (1)% of reading0.150.15
温度效应

零点percent FS/°C0.00250.0025
满量程% of reading / °C0.010.01
压力,最大kPa (absolute)400260
分辨率percent FS0.0030.003
最低读数percent FS0.010.01
建议的最低读数percent FS0.050.05
建议的最低控制压力percent FS0.50.5
温度

传感器°C4545
运行(环境)°C+10 … +40+10 … +40
在法兰处烘烤°C≤110≤110
贮存°C–20 … +65–20 … +65
电源电压
+14 … +30 VDC or ±15 V (±5%)+14 … +30 VDC or ±15 V (±5%)
功耗

加热时W≤15≤15
运行温度W≤10≤10
输出信号(模拟)V (dc)0 … +100 … +10
反应时间 (2)ms3030
保护等级
IP 40IP 40
标准

CE 合规
EN 61000‑6‑2/-6-3, EN 61010 & RoHSEN 61000‑6‑2/-6-3, EN 61010 & RoHS
ETL 认证
UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1
SEMI 合规
SEMI S2SEMI S2
电气连接
D-sub, 15 pole, maleD-sub, 15 pole, male
设定点

设定点数量
2 (SP1,SP2)2 (SP1,SP2)




继电器触点≤30≤30
滞后percent FS11
诊断端口

协议
RS232-CRS232-C
读数
pressure, status, IDpressure, status, ID
设置
set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offsetset points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset
暴露于真空的材料
Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (4))Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (4))
内部容积

内部容积 1/2'' 管cm³ (in.³)4.2 (0.26)4.2 (0.26)
内部容积 DN 16 ISO KFcm³ (in.³)4.2 (0.26)4.2 (0.26)
内部容积 DN 16 CF-Rcm³ (in.³)4.2 (0.26)4.2 (0.26)
内部容积 8 VCR®cm³ (in.³)4.2 (0.26)4.2 (0.26)
重量

重量 1/2'' 管g837837
重量 DN 16 ISO KFg852852
重量 DN 16 CF-Rg875875
重量 8 VCR®g897897




EtherCAT

协议 EtherCAT
protocol specialized for EtherCATprotocol specialized for EtherCAT
通讯标准
ETG.5003 Part 1 "Semiconductor Device Profile" ETG.5003 Part 2080 "Specific Device Profile: Vacuum Pressure Gauge"ETG.5003 Part 1 "Semiconductor Device Profile" ETG.5003 Part 2080 "Specific Device Profile: Vacuum Pressure Gauge"
数据率Kbps100000100000
节点地址
Explicit Device IdentificationExplicit Device Identification
物理层
100BASE-Tx (IEEE 802.3)100BASE-Tx (IEEE 802.3)
数字功能读取
pressure, status, IDpressure, status, ID
数字功能设置
set points, filter, zero adjust, reset, DC offsetset points, filter, zero adjust, reset, DC offset
过程数据
Fixed PDO mapping and configurable PDO mappingFixed PDO mapping and configurable PDO mapping
邮箱 (CoE)
SDO requests, responses and informationSDO requests, responses and information
EtherCAT 连接器
RJ45, 8-pin (socket), IN and OUTRJ45, 8-pin (socket), IN and OUT
电缆
shielded Ethernet CAT5e or highershielded Ethernet CAT5e or higher
电缆长度m (ft.)≤100 (330)≤100 (330)

(1) 25 °C 环境温度时非线性、滞后、可重复,运行 2 小时后不产生温度效应。

(2) 增加 10 … 90 % FS  

(3) 仅适用于压力控制类型

(4) 18% 铬,10% 镍,3% 钼,69% 铁

零件号

tiba__e1 CDG045D2 Edge PIM 2017_05_09-01.png


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