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PEG100 中真空至超高真空真空计

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PEG100 中真空至超高真空真空计

  • 所属分类:真空计

  • 点击次数:
  • 发布日期:2018/01/04
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详细介绍

PEG100 中真空至超高真空真空计


 peg100潘宁真空计.jpg

INFICON 潘宁PEG100型真空计提供可靠的高真空测量。 坚固耐用的潘宁冷阴极传感器不会出现灯丝烧毁的现象。 由于采用钛阴极板且等离子点火后高电压将会降低,真空计还可在溅射应用环境下运行。 现场总线选件,除了对数模拟输出信号外,允许使用 Profibus DP 或 DeviceNet 协议将真空计轻松集成到真空系统中。

益处

  • 测量范围广,从 1 x 10-9 至 1 x 10-2 毫巴(7.5 x 10-10 至 7.5 x 10-3 托)

  • 全金属冷阴极传感器(潘宁),带陶瓷馈入装置

  • 创新的电极几何形状提供卓越的点火属性

  • 等离子点火后降低的高压和钛阴极板可减少污染危险,即使在有氩气的溅射运行中

  • 阳极环和钛阴极可轻松进行清洁或更换

  • 最小化真空计附近的磁场强度

  • 用于电源接通和等离子体点火的 LED 指示器

  • 对数模拟输出信号

  • 现场总线接口(Profibus DP、DeviceNet)允许使用网络通信将真空计轻松集成到真空系统中

典型应用

  • 高真空压力监控

  • 蒸发溅射系统

  • 高真空范围内的一般真空测量和控制

规格

类型PEG100
测量范围1 x 10-9 to 1 x 10-2
精度
10-8 至 10-4 毫巴% of reading±30
压力,最大(绝对)bar10
温度
运行(环境)°C+10 to +50
贮存°C-20 to +75
无电子设备,烘烤°C350
带电子元件,在法兰处烘烤°C70
供应
电压V (dc)14.5 to 36
消耗,最大W<2
输出信号模拟
输出信号V0 to 10.6
测量范围V0.66 to 10
电压与压强之间的关系volts per decade1.333
连接器
FCC 68, female, 8 pin (shielded)
电缆长度,最大(模拟)m (ft.)100 (330)
暴露于真空的材料
Stainless steel, CrNi, AI2O3, NiFe, Mo, Cu, Ni, Ti
内部容积cm³ (in.³)21 (1.28)
重量,接近g500
保护类型
IP40
DeviceNet™
设备类型
generic
显示对等网络传讯
no
I / O 对等传讯
no
配置一致性值
no
默认节点恢复
no
波特率kBaud125 / 250 / 500
主板 / 扫描器
no
I / O 从属传讯: 位触发
yes
I / O 从属传讯: 轮询
yes
I / O 从属传讯: 周期
yes
I / O 从属传讯: 状态改变 (COS)
yes
DeviceNet™ 电源V (dc)11 to 25
DeviceNet™ 连接器
Phoenix Combicon, 5 pin
Profibus DP
支持的波特率(自动检测)kBaud9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500 / 1500
扩展的用户参数数据byte5
配置: 输入输出数据数量
2
同步模式和冻结模式
Yes
Profibus 的连接器
D-sub, 9 pin

零件号

PEG100
零件号明细
351-002PEG100-P 规管
351-003PEG100D 型真空计
351-004PEG100-D Penning Gauge; DN40CF-F
351-005PEG100-P 规管

零件号

PEG100
零件号明细
351-002PEG100-P 规管
351-003PEG100D 型真空计
351-004PEG100-D Penning Gauge; DN40CF-F
351-005PEG100-P 规管


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