vat真空阀门

产品分类

热门关键词

联系我们

昆山熙日机械设备有限公司

联系人: 张小姐

手机:(0)13913143077

联系人:李先生

手机:(0)15895662155

邮箱:kssunnyjx@126.com

QQ:1191890920

微信:kssunnyjx

网址:www.leybold-inficon.com

www.xiri-vacuum.com

办公地址:江苏省昆山市长江南路77号

维修地址:江苏省昆山市花桥镇星光工业园2A


MPG40x 大气压至超高真空真空计

您的当前位置: 首 页 >> 产品中心 >> 真空计

MPG40x 大气压至超高真空真空计

  • 所属分类:真空计

  • 点击次数:
  • 发布日期:2018/01/04
  • 在线询价
详细介绍

MPG40x 大气压至超高真空真空计

MPG40x tiba30.png

 

INFICON 倒置磁控管皮拉尼MPG400 和 MPG401型真空计测量,范围范围从 5 x 10-9 毫巴至大气压(3.8 x 10-9 托至大气压)。 将多项技术融合到到一个带有对数模拟输出信号的单个紧凑数装置中,极大降低了安装、设置和集成的复杂性。

益处

  • 复合真空计 – 倒置磁控管与皮拉尼

  • 测量范围广,从 5 x 10-9 毫巴到大气压

  • 不会出现单丝烧毁的现象

  • 卓越的点火属性

  • 易于清洁

  • FPM 或金属密封馈入装置

  • 高压 LED 指示灯

  • 对数模拟输出信号

典型应用

  • 高真空压力监控

  • 蒸发系统和溅射系统的基本压力

  • 中高真空范围内的一般真空测量和控制

规格

类型MPG400 FPM sealedMPG401 metal-sealed
测量范围(空气,N25 x 10-9 … 10005 x 10-9 … 1000
精度 (N2)

1 x 10-8 … 100 毫巴% of reading≈±30%≈±30%
可重复性

1 x 10-8 … 100 毫巴% of reading≈±5%≈±5%
安装定位
anyany
容许压力bar (absolute)≤10 (limited to inert gases)≤10 (limited to inert gases)
容许温度

运行(环境)°C+5 … +55+5 … +55
贮存°C–40 … +65–40 … +65
烘烤 (1)°C150150
单丝温度(皮拉尼)°C120120
电源电压

真空计上V (dc)+15 … +30+15 … +30
缆线最长的电源装置 (2)V (dc)+16 … +30+16 … +30
波纹V (p-p)≤1≤1
功耗W≤2≤2
可连接的保险丝AT≤1≤1
输出信号(测量信号)

电压范围V0 … +10.50 … +10.5
测量范围V+1.82 … +8.6+1.82 … +8.6
电压与压强
logarithmic, 0.6 volts per decadelogarithmic, 0.6 volts per decade
错误信号

无电源V<0.5<0.5
皮拉尼传感器,单丝断裂V>9.5>9.5
输出电阻2 x 102 x 10
最小负载电阻kΩ10, short-circuit proof10, short-circuit proof
反应时间

p > 10-6 毫巴ms<10<10
p = 10-8 毫巴ms≈1000≈1000
识别真空计
85, referenced to supply common85, referenced to supply common
状态

仅皮拉尼模式V0 (low)0 (low)
复合皮拉尼 / 冷阴极模式V15 … 30 (high)15 … 30 (high)
LEDLED greenhigh voltage onhigh voltage on
电气连接
FCC 68 appliance connector, 8 poles, femaleFCC 68 appliance connector, 8 poles, female
传感器电缆
8 poles plus shielding8 poles plus shielding
电缆长度m≤50 (8 x 0.14 mm2)≤50 (8 x 0.14 mm2)
运行电压kV≤3.3≤3.3
运行电流µA≤500≤500
暴露于真空的材料
stainless steel, Al2O3, FPM75, Mo, Ni, Au, Wstainless steel, Al2O3, Ag, Cu, Sn, Mo, Ni, Au, W
内部容积cm³≈20≈20
重量

DN 25 ISO-KFg≈700≈730
DN 40 ISO-KFg≈720≈750
DN 40 CF-Fg≈980≈1010
保护类别
IP 40IP 40
标准

CE 合规
EN 61000-6-2, EN 61000-6-3, EN 61010-1EN 61000-6-2, EN 61000-6-3, EN 61010-1

1) 没有电子和磁遮蔽。

2) 必须根据传感器电缆的长度按比例增加电源的最低电压。

零件号

MPG400 FPM sealed
零件号明细
351-010MPG400 真空计
351-011MPG400 DN 40 ISO-KF
351-012MPG400 DN 40 CF-F
MPG401 metal-sealed
零件号明细
351-020MPG401 DN 25 ISO-KF
351-021MPG401 DN 40 ISO-KF
351-022MPG401 DN 40 CF-F
351-023磁屏蔽

附件

MPG400 FPM sealed
零件号明细
351-023磁屏蔽
MPG401 metal-sealed
零件号明细
351-023磁屏蔽

备件

MPG400 FPM sealed
零件号明细
BN846469-TSpare measurement system MPG400
BN846470-TSpare measurement system MPG400 DN40 KF
BN846471-TSpare measurement system MPG400 DN40CF-F
351-994MPG40X 点火单元
351-995起辉器
351-998维修包
351-999维修保养套件
MPG401 metal-sealed
零件号明细
BN846472-TReplacement meas. unit MPG401 DN25 KF
BN846473-TReplacement meas. unit MPG401 DN40 KF
BN846474-TSpare meas. system, MPG401 DN40CF-F
351-994MPG40X 点火单元
351-995起辉器
351-996MPG401 Repair set
351-997MPG401 Maintenance set


相关标签:     真空计,MPG40x大气压至超高真空真空计价格,MPG40x大气压至超高真空真空计批发

最近浏览:

在线客服
分享 一键分享