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Gemini™ 大气压至超高真空真空计

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Gemini™ 大气压至超高真空真空计

  • 所属分类:真空计

  • 点击次数:
  • 发布日期:2018/01/04
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详细介绍

Gemini™ 大气压至超高真空真空计

Gemini MPG500新型倒置磁控管皮拉尼真空计.jpg

 

INFICON Gemini™ 倒置磁控管真空计是所有真空测量应用(专利申请中)的动力源泉。Gemini将两个传感器系统整合在一个小装置中,测量范围从大气压至 1x10 – 9 毫巴。获得专利的超低杂散磁场设计为全新的应用领域开启了大门。独特的可互换式双室传感器单元不用清洗并减少了维护,这使使Gemini成为同类产品中最坚稳和经济的真空计。

Gemini冷阴极和组合真空计配备了完全集成的数字电子设备,使系统集成具有很强的灵活性。冷阴极和皮拉尼组合选项提供了跨越多个应用领域的无缝转换、可靠性、实用性和灵活性。

益处

  • 在恶劣环境下,使用寿命长

  • 低杂散磁场

  • 零维护- 可换插头

  • 超紧凑尺寸

  • 可靠的快速点火

  • 抗腐蚀馈入装置

  • 可选测量电流

典型应用

  • 基本压力监视和控制,在蒸发和溅射镀膜应用中从大气压到高真空。

  • 一般真空测量 – 工业炉、建筑玻璃、半导体、冰箱和空调。

  • 分析和研发应用 – 质谱分析、电子显微镜、医疗、眼科、光学和高能物理。

新闻

新一代冷阴极/冷阴极-皮拉尼组合真空计现在开放订购!

规格

类型MAG50xMPG50x
测量系统
Cold cathode ionization measurement system (according to the inverted magnetron principle)Pirani and cold cathode ionization measurement system (according to the inverted magnetron principle)
测量范围(空气、氮气)1×10-9 … 1×10-21×10-9 … 1000
准确度 (N2)

1×10-8 … 1×10-2 毫巴% of reading3030
1×10-2 … 100 毫巴% of reading-30
100 … 1000 毫巴% of reading-50
可重复性 (N2)

1×10-8 … 1×10-2 毫巴% of reading5-
1×10-8 … 100 毫巴% of reading-5
安装定位
anyany
容许压力bar (absolute)10 (limited to inert gases <50°C)10 (limited to inert gases <50°C)
容许温度

运行(环境)°C+5 ... +55+5 ... +55
法兰烘烤 (1)°C<150<150
储存°C-40 ... +70-40 ... +70
灯丝温度°C-120
一年 30 天的相对湿度

1×10-7 … 1×10-2 毫巴%<95 (non-condensing)<95 (non-condensing)
1×10-8 … 1×10-2 毫巴%<70 (non-condensing)<70 (non-condensing)
供电电压

在量规 (2)V (dc)+14.5 ... +30+14.5 ... +30
波纹V (p-p)

<1

<1

功耗W<2<2
待连接的保险丝AT<1<1
电压范围

模拟输出V0 ... +10.50 ... +10.5
测量范围

3MAx-00x-0x0NV+1.5 ... +8.5-
3MBx-00x-0x0PV-+1.398 ... +8.598
3MAx-00x-0x0QV+0.667 ... +10-
电压比压力

3MAx-00x-0x0Nvolts per decade1 (logarithmic)-
3MBx-00x-0x0Pvolts per decade-0.6 (logarithmic)
3MAx-00x-0x0Qvolts per decade1.33 (logaritmic)-
错误信号

错误信号V

<+0.5

09.5 ... +10.5

输出阻抗2x102x10
负载阻抗kΩ

>10 (short circuit-proof)

>10 (short circuit-proof)

阶跃响应时间

p > 10-6 毫巴ms

<100

<100

p = 10-8 毫巴s

~1


量规标识kΩ10085
状态(针 6)

仅皮拉尼模式V-0 (low)
冷阴极点燃V+15 ... +30-
组合皮拉尼/冷阴极模式 3)V-+15 ... +30 (high)
电气连接

3Mxx-00x-000x
FCC68, 8-pin, femaleFCC68, 8-pin, female
3Mxx-00x-010x
D-sub, 9-pin, maleD-sub, 9-pin, male
传感器电缆

3Mxx-00x-000x
8-pin, shielded8-pin, shielded
电缆长度

50 米电缆m< 50 (8x0.14 mm2)< 50 (8x0.14 mm2)
75 米电缆m< 75 (8x0.25 mm2)< 75 (8x0.25 mm2)
100 米电缆m< 100 (8x0.34 mm2)< 100 (8x0.34 mm2)
300 米电缆m< 300 (8x1.00 mm2)< 300 (8x1.00 mm2)
工作电压kV<3.3<3.3
工作电流高µA<500<500
工作电流低µA<100<100
曝露在真空的材料

3Mx0-00x-0x0x
Ni alloy, AI2O3, glass, stainless steelsW, Ni alloy, AI2O3, glass, stainless steels
3Mx3-00x-0x0x
Ni alloy, AI2O3, stainless steelsNi alloy, AI2O3, stainless steels
内部容量cm³22.822.8
重量

DN 25 ISO-KFg

<280

<280

DN 40 ISO-KFg<320<320
DN 40 CF-F & CF-Rg<570<570
防护等级
IP 40IP 40
标准

符合CE

EMC (EN 61000-6-2, EN 61000-6-3), EN 61010-1 & RoHS

EMC (EN 61000-6-2, EN 61000-6-3), EN 61010-1 & RoHS

维护
nonenone

1) 没有电子设备。

2)供电装置的最小电压必须根据传感器电缆的长度成比例增加。

3) 冷阴极点火。

零件号

Gemini order information

附件

MAG50x
零件号明细
211-098细目过滤中心环组件DN 25 ISO-KF
351-550MxG50x 点火单元
MPG50x
零件号明细
211-098细目过滤中心环组件DN 25 ISO-KF
351-550MxG50x 点火单元

备件

MAG50x
零件号明细
351-500MAG500 spare sensor, 25KF, SS
351-501MAG504 spare sensor, 25KF, SS
351-512MAG500 spare sensor, 40KF, SS
351-513MAG504 spare sensor, 40KF, SS
351-524MAG500 spare sensor, 40CF-F, SS
351-525MAG504 spare sensor, 40CF-F, SS
351-536MAG500 spare sensor, 40CF-R, SS
351-537MAG504 spare sensor, 40CF-R, SS
351-995起辉器
351-555Spare ion chamber ss
MPG50x
零件号明细
351-506MPG500 spare sensor, 25KF, SS
351-507MPG504 spare sensor, 25KF, SS
351-518MPG500 spare sensor, 40KF, SS
351-519MPG504 spare sensor, 40KF, SS
351-530MPG500 spare sensor, 40CF-F, SS
351-531MPG504 spare sensor, 40CF-F, SS
351-542MPG500 spare sensor, 40CF-R, SS
351-543MPG504 spare sensor, 40CF-R, SS
351-995起辉器
351-555Spare ion chamber ss


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