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HPG400 大气压至高真空真空计

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HPG400 大气压至高真空真空计

  • 所属分类:真空计

  • 点击次数:
  • 发布日期:2018/01/04
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详细介绍

HPG400 大气压至高真空真空计

HPG400皮拉尼高压热离子真空计.jpg

 

INFICON 高压热电离皮拉尼HPG400型真空计 将高压热电离技术与皮拉尼传感器整合在一个单个紧凑经济的装置中,可测量 2×10-6 毫巴至大气压(1.5×10-6 托至大气压)范围内的压力。 HPG400 型真空计为精确的溅射过程压力控制提供重复测量并再现测量数据。

益处

  • HPG400 可节省成本和工具空间,降低真空系统安装与设置的复杂性

  • 高压热电离真空计可以准确可靠地测量 1×10-5 … 1 毫巴范围内的压力,进而改善过程控制

  • 用户可选的热离子发射在 5×10-2 至 1 毫巴之间启动

  • 皮拉尼联锁保护热丝,防止过早烧毁

  • 备有可选的图形显示屏和现场总线接口

  • 高真空皮拉尼自动调节,减少操作员干预

  • RoHS 合规

典型应用

  • 半导体制造、电子和媒介产业中的溅射应用

  • 工业镀膜

  • 低真空和高真空范围内的一般真空测量和控制

规格

类型HPG400
测量范围(空气,N22×10-6 … 1000
精度
10-5 … 1 毫巴% of reading±15 (1)
可重复性
10-5 … 10-1 毫巴% of reading2
10-1 … 100 毫巴% of reading30
热离子发射,可选:
选购件 1mbar1
选购件 2mbar5×10-1
选购件 3mbar2×10-1
选购件 4mbar1×10-1
选购件 5mbar5×10-2
压力,最大bar (absolute)2
温度
运行(环境)°C0 … +50
贮存°C-20 … +70
在法兰处烘烤°C80
移除烘烤电子设备°C150
电源电压20 … 28
输出信号模拟
输出信号V0 … +10.2
测量范围热阴极V1.5 … 7.5
测量范围皮拉尼V8.5 … 9.75
电压比压强热阴极volts per decade1
电压与压强皮拉尼volts per decade0.25
错误信号热阴极V0.3
错误信号皮拉尼V0.5
最小负载电阻kΩ10
接口(数字)(2)
RS232C
电气连接
D-Sub, 15-pin, male
电缆长度,最大 (3)m (ft.)100 (330)
暴露于真空的材料
Yt2O3, Ir, Pt, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, stainless steel, glass
内部容积 KF / CFcm³ (in.³)20 (1.2) / 30 (1.8)
重量 KF / CFg430 / 695
保护等级
IP30
DeviceNet™
协议
DeviceNet™, group 2 slave only
数据率开关kBaud125, 250, 500 or network programmable
电缆长度 125 kbpsm (ft.)500 (1650)
电缆长度 250 kbpsm (ft.)250 (825)
电缆长度 500 kbpsm (ft.)100 (330)
MAC ID
2 switches (address 00 - 63) or network programmable
网络规模
up to 64 nodes per segment
数字功能
read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; Pirani full scale adjust, monitor gauge status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information
模拟功能
0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B
可视通信指示器
LED network status (green / red) ; LED module status (green / red)
技术规格
DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile"
设备类型
''CG'' for combination gauge
I / O 从属传讯
polling only
设定点继电器: 设定点数量
2
设定点继电器: 范围mbar2×10-6 … 100
设定点继电器: 继电器触点
n.o., potential free
设定点继电器: 滞后% of reading10
设定点继电器: 触点额定值60
DeviceNet™ 电源电压11 … 25
真空计电源电压V (dc)20 … 28
DeviceNet™ 连接器
Microstyle, 5-pin
HPG(模拟输出、电源电压、设定点)连接器
D-Sub, 15-pin, male
Profibus DP
波特率9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500
地址
2 switches (address 00 - 127) or network programmable
数字功能
read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; Pirani full scale adjust, monitor gauge status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information
模拟功能
0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B
设定点继电器: 设定点数量
2
设定点继电器: 范围mbar2×10-6 … 100
设定点继电器: 继电器触点
n.o., potential free
设定点继电器: 滞后% of reading10
设定点继电器: 触点额定值60
Profibus DP 连接器
D-Sub, 9-pin, female
HPG(模拟输出、电源电压、设定点)连接器
D-Sub, 15-pin, male

(1) 精度从 10-5 毫巴至所选热离子排放值

(2) 同时使用 RS232C 或 VGC40x 系列控制器,不允许使用现场总线

(3) 适用于 RS232C 运行 <30m

零件号

HPG400
零件号明细
353-520皮拉尼真空计
354-486HPG400 Spare meas. system DN 25 ISO-KF
353-521HPG400 HP Pirani Gauge; DN 25 ISO-KF
353-522HPG400 HP Pirani Gauge; DN 40 CF-F
353-523HPG400 HP Pirani Gauge; DN 40 CF-F
353-525HPG400-SP HP Pirani Gauge; DN25ISO-KF
353-526HPG400-SP PBus,DN 40 CF-F
353-527HPG400-SD HP Pirani Gauge; DN25ISO-KF
353-528HPG400-SD DNet DN 40 CF-F

附件

HPG400
零件号明细
211-113中心圈 with baffle DN 25 KF
353-511BPG400 24V电源

357-499Baffle HPG (10 pieces)

备件

HPG400
零件号明细
354-487HPG400 备用传感器
354-488HPG400 Spare meas. system DN 40 CF-F


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