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BPG402-Sx 大气压至超高真空真空计

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BPG402-Sx 大气压至超高真空真空计

  • 所属分类:真空计

  • 点击次数:
  • 发布日期:2018/01/04
  • 在线询价
详细介绍

BPG402-Sx 大气压至超高真空真空计

BPG40x tiba15_31.png

 

INFICON 贝阿德-阿尔珀特皮拉尼(Pirani)BPG402-S型复合真空计将两种真空计的功能融合到一个紧凑型装置中,测量范围为 5×10-10 毫巴至大气压(3.8×10-10 托至大气压)。多项技术相结合降低了安装、设置和集成的复杂性。选择带有两根氧化钇镀层铱丝的BPG400型真空计,价格经济,且可重复测量基准压力。传感元件自带的在轨校准数据在更换传感器时确保了高再现性。

益处

  • 测量范围非常广,从 5×10-10 毫巴至大气压(3.8×10-10 托至大气压)

  • 10-8 … 10-2 毫巴过程压力范围内 5% 的优良可重复性

  • 皮拉尼联锁保护单丝,防止过早烧毁

  • 两根使用寿命长的氧化钇铱丝

  • 备有可选的图形显示屏和现场总线接口

  • 高真空皮拉尼自动调节,减少操作员干预

  • 易于更换的传感元件与板载校准数据确保高再现性

  • RoHS 合规

典型应用

  • 对半导体过程和传输腔室的压力测量

  • 工业镀膜

  • 低真空和超高真空范围内的一般真空测量和控制

新闻

现有全新EtherCAT数字接口供应!

规格

类型BPG402-S
测量范围(空气、O2、CO、N25×10-10 … 1000
精度
10-8 … 10-2 毫巴% of reading±15
可重复性
10-8 … 10-2 毫巴% of reading5
除气 (1)
p < 7.2 × 10-6mbarelectron bombardment, max. 3 min
压力,最大bar (absolute)2
温度
运行(环境)°C0 … +50
贮存°C-20 … +70
在法兰处烘烤,无电子设备 BPG402-S°C80
无电子设备,在法兰处烘烤 BPG402-SL°C150
电源电压+20 … +28
输出信号模拟
输出信号V0 … +10
测量范围V+0.774 … +10
电压与压强volts per decade0.75
错误信号V0.1 / 0.3 / 0.5
最小负载电阻kΩ10
设定点继电器
设定点数量
1
范围mbar1×10-9 … 100
继电器触点
n.o., potential free
滞后% of reading10
触点额定值≤30
数字功能
degas
接口(数字)(2)
RS232C
发射控制
automatic / manual via interface
单丝
two Yt2O3 coated Ir
单丝状态/继电器
LED / relay
电气连接
D-Sub, 15-pin, male
电缆长度,最大 (3)m (ft.)100 (330)
暴露于真空的材料
Yt2O3, Ir, Pt, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, stainless steel, glass
内部容积 KF / CFcm³ (in.³)24 (1.46) / 34 (2.1)
重量 KF / CFg450 / 710
保护等级
IP30
Profibus DP
波特率9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500
地址
2 switches (address 00 - 127) or network programmable
数字功能
read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; emission control, degas function, monitor gauge status, filament status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information
模拟功能
0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B
设定点继电器: 设定点数量
2
设定点继电器: 范围mbar1×10-9 … 100
设定点继电器: 继电器触点
n.o., potential free
设定点继电器: 滞后% of reading10
设定点继电器: 触点额定值≤30
Profibus DP 连接器
D-Sub, 9-pin, female
CDG(模拟输出、电源电压、设定点)连接器
D-Sub, 15-pin, male
DeviceNet™
协议
DeviceNet™, group 2 slave only
数据率开关kBaud125, 250, 500 or network programmable
电缆长度 125 kbpsm (ft.)500 (1650)
电缆长度 250 kbpsm (ft.)250 (825)
电缆长度 500 kbpsm (ft.)100 (330)
MAC ID
2 switches (address 00 - 63) or network programmable
数字功能
read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; emission control, degas function, monitor gauge status, filament status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information
模拟功能
0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B
技术规格
DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile"
设备类型
''CG'' for combination gauge
I / O 从属传讯
polling only
设定点继电器: 设定点数量
2
设定点继电器: 范围mbar1×10-9 … 100
设定点继电器: 继电器触点
n.o., potential free
设定点继电器: 滞后% of reading10
设定点继电器: 触点额定值≤30
DeviceNet™ 电源电压+11 … +25
真空计电源电压+20 … +28
DeviceNet™ 连接器
Microstyle, 5-pin
BPG(模拟输出、电源电压、设定点)连接器
D-Sub, 15-pin, male
以太网
以太网协议
protocol specialized for EtherCAT
通讯标准
ETG.5003 Part 1 "Semiconductor Device Profile" ETG.5003 Part 2080 "Specific Device Profile: Vacuum Pressure Gauge"
节点地址
Explicit Device Identification
物理层
100BASE-Tx (IEEE 802.3)
以太网数字功能
read pressure, select units: Torr, mbar, Pa emission control, degas function monitor gauge status, filament status safe state allows definition of behavior in case of error detailed alarm and warning information
过程数据
Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping
邮箱 (CoE)
SDO requests, responses and information
以太网连接件
RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT
电缆
shielded Ethernet CAT5e or higher
电缆长度m (ft.)≤100 (330)

1) 除气期间降低精度

2) 同时使用 RS232C 或 VGC40x 系列控制器,不允许使用现场总线

3) 适用于 RS232C 运行 <30m

零件号

BPG402-S
零件号明细
353-570BPG402-S BA Pirani Gauge; DN 25 ISO-KF
353-571BPG402-S BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R
353-572BPG402-S 真空计
353-573BPG402-S BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R
353-574BPG402-SP BA Pirani Gauge; DN 25 ISO-KF
353-575BPG402-SP BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R
353-576BPG402-SD 型真空计
353-577BPG402-SD BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R.
353-578BPG402-SL BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R
353-590BPG402-SE ECAT, DN 25 ISO-KF
353-591BPG402-SE ECAT, DN 40 CF-R

附件

BPG402-S
零件号明细
353-511BPG400 24V电源

353-512Baffle for BPG400
211-113中心圈 with baffle DN 25 KF

备件

BPG402-S
零件号明细
354-494BPG402 感应器
354-495BPG402 Spare measurement system DN40CF-R


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