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BPG400 大气压至超高真空真空计

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BPG400 大气压至超高真空真空计

  • 所属分类:真空计

  • 点击次数:
  • 发布日期:2018/01/04
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详细介绍

BPG400 大气压至超高真空真空计

BPG40x tiba15_31.png

 

INFICON贝阿德-阿尔珀特皮拉尼(Pirani)BPG400型复合真空计将两种真空计的功能融合到一个紧凑的装置中,测量范围从 5×10-10 毫巴至大气压(3.8×10-10 托至大气压)。 多项技术相结合降低了安装、设置和集成的复杂性。 选择BPG400真空计,价格经济,且可重复测量基准压力。

益处

  • 测量范围非常广,从 5×10-10 毫巴至大气压(3.8×10-10 托至大气压)

  • 10-8 … 10-2 毫巴过程压力范围内 5% 的优良可重复性

  • 皮拉尼联锁保护贝阿德-阿尔珀特系统在高压操作下单丝过早烧毁和过度污染

  • 使用寿命长的氧化钇铱丝

  • 备有可选的图形显示屏和现场总线接口

  • 高真空皮拉尼自动调节,减少操作员干预

  • RoHS 合规

  • 低真空和超高真空范围内的一般真空测量和控制

典型应用

  • 对半导体过程和传输腔室的压力测量

  • 工业镀膜

  • 低真空和超高真空范围内的一般真空测量和控制

规格

类型BPG400
测量范围(空气、O2、CO、N25×10-10 … 1000
精度
10-8 … 10-2 毫巴% of reading±15
可重复性
10-8 … 10-2 毫巴% of reading5
除气 (1)
p < 7.2 × 10-6mbarelectron bombardment, max. 3 min
压力,最大bar (absolute)2
温度
运行(环境)°C0 … +50
贮存°C-20 … +70
在法兰处烘烤,有延伸件°C150
在法兰处烘烤,无延伸件°C80
移除烘烤电子设备°C150
电源电压+20 … +28
输出信号模拟
输出信号V0 … +10
测量范围V+0.774 … +10
电压与压强volts per decade0.75
错误信号V0.3 / 0.5
最小负载电阻kΩ10
接口(数字)(2)
RS232C
电气连接
D-Sub, 15-pin, male
电缆长度,最大 (3)m (ft.)100 (330)
暴露于真空的材料
Yt2O3, Ir, Pt, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, stainless steel, glass
内部容积 KF / CFcm³ (in.³)24 (1.46) / 34 (2.1)
重量 KF / CFg285 / 550
保护等级
IP30
Profibus DP
波特率9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500
地址
2 switches (address 00 - 127) or network programmable
数字功能
read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; degas function, Pirani full scale adjust, monitor gauge status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information
模拟功能
0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B
设定点继电器: 设定点数量
2
设定点继电器: 范围mbar1×10-9 … 100
设定点继电器: 继电器触点
n.o., potential free
设定点继电器: 滞后% of reading10
设定点继电器: 触点额定值60
Profibus DP 连接器
D-Sub, 9-pin, female
BPG(模拟输出、电源电压、设定点)连接器
D-Sub, 15-pin, male
DeviceNet™
协议
DeviceNet™, group 2 slave only
数据率开关kBaud125, 250, 500 or network programmable
电缆长度 125 kbpsm (ft.)500 (1650)
电缆长度 250 kbpsm (ft.)250 (825)
电缆长度 500 kbpsm (ft.)100 (330)
MAC ID
2 switches (address 00 - 63) or network programmable
数字功能
read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; degas function, Pirani full scale adjust, monitor gauge status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information
模拟功能
0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B
技术规格
DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile"
设备类型
''CG'' for combination gauge
I / O 从属传讯
polling only
设定点继电器: 设定点数量
2
设定点继电器: 范围mbar1×10-9 … 100
设定点继电器: 继电器触点
n.o., potential free
设定点继电器: 滞后% of reading10
设定点继电器: 触点额定值60
DeviceNet™ 电源电压+11 … +25
真空计电源电压+20 … +28
DeviceNet™ 连接器
Microstyle, 5-pin
BPG(模拟输出、电源电压、设定点)连接器
D-Sub, 15-pin, male

1) 除气期间降低精度

2) 同时使用 RS232C 或 VGC40x 控制器系列,不允许使用现场总线

3) 适用于 RS232C 运行 <30m

零件号

BPG400
零件号明细
353-500BPG400 规管
353-500-11BPG400 BA Pirani Gauge; DN 25 ISO-KF
353-500-I0BPG400规管
353-502-ABPG400规管
354-498Spare electronic BPG400 without Display
354-499Spare electronic BPG400 with Display
353-501BPG400 规管
353-502BPG400 规管
353-503BPG400 BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R
353-505复合真空规
353-506BPG400-SP BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R
353-507BPG400-SD BA Pirani Gauge; DN25ISO-KF
353-508BPG400-SD BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R

附件

BPG400
零件号明细
353-510100 mm sensor extension tube


353-512Baffle for BPG400

211-113中心圈 with baffle DN 25 KF


备件

BPG400
零件号明细
354-490BPG400 备用传感器
354-491BPG400 备用传感器


相关标签:     真空计,BPG400大气压至超高真空真空计价格,BPG400大气压至超高真空真空计批发

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