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BAG402 中真空至超高真空真空计

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BAG402 中真空至超高真空真空计

  • 所属分类:真空计

  • 点击次数:
  • 发布日期:2018/01/04
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详细介绍

BAG402 中真空至超高真空真空计

INFICON 的单一 Bayard-Alpert 热电离真空计 BAG402,测量范围从 5×10-10 mbar 至 2.7×10-2mbar(3.75×10-10 Torr 至 5×10-2 Torr)。选择 INFICON BAG402 紧凑型主动真空计套装,在低成本、可重复的工艺过程中进行基础压力测量。独特的双丝极结构提供更优异的精度、长期稳定性 和长使用寿命。

BAG402.png

益处

  • 测量范围从 5×10-10 mbar 到 2.7×10-2 mbar(3.75×10-10 Torr 到 5×10-2 Torr)

  • 出色的可重复性,在 10-8 … 10-2 mbar 工艺压力范围内为 5%

  • 过压检测保护,防止灯丝烧毁

  • 两根长寿命氧化铱灯丝

  • 发射电流选择,降低控制的繁琐

  • 植入校准数据的传感器元件可确保规管的高精准性,并且易于更换

  • 符合RoHS

典型应用

  • 半导体工艺和传送腔室的压强测量

  • 工业镀膜

  • 从低真空到超高真空范围的普通真空测量及控制

规格

类型BAG402
测量范围 (空气, 氧2, 一氧化碳, 氮2)5×10-10 … 2.7×10-2
精度
10-8 … 10-2 毫巴% of reading±15
重复性
10-8 … 10-2 毫巴% of reading5
除气 (1)
p < 7.2 × 10-6mbarelectron bombardment, max. 3 min
压强, 最大bar (absolute)2
温度
操作 (环境)°C0 … +50
储存°C-20 … +70
法兰口的烘烤,不带BPG402-S电子单元°C80
供电电压+20 … +28
输出信号模拟 (4)
输出信号V0 … +10
测量范围 log / linV0 … +9
电压 vs. 压强volts per decade1
错误信号V> +10
负载阻抗, 最小kΩ10
第二模拟输出
none
设点继电器
设定点数量
none
范围

继电器触点

滞后

触点额定值

数字功能
degas and emission
接口 (数字) (2)
Diagnosis port
发射控制
manual
灯丝
two Yttriumoxid (Y2O3) coated Iridium (Ir)
灯丝状态 / 继电器
LED / relay
电气连接
D-Sub, 9-pin, male
电缆长度,最大值m (ft.)100 (330)
暴露于真空中的材料
Y2O3, Ir, Pt, Mo, NiFe, NiCr, stainless steel, glass
内部容积 KF / CFcm³ (in.³)24 (1.46) / 34 (2.1)
重量 KF / CFg450 / 710
保护级别
IP30

1)除气期间准确性降低

2)不可同时使用 RS232C 或 VGC40x 系列控制器和现场总线

零件号

BAG402
零件号明细
353-600BAG402 DSUB9 KF25
353-601BAG402 DSUB9 CF40

附件

BAG402
零件号明细

303-333Diagnostic cable 1.9m (P3)

备件

BAG402
零件号明细
354-484备用传感器 BAG402 DN 25 ISO-KF
354-485备用传感器 BAG402 DN 40 CF-R


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