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Quantus LP100 气体分析仪

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Quantus LP100 气体分析仪

  • 所属分类:气体分析仪

  • 点击次数:
  • 发布日期:2018/01/04
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详细介绍

Quantus LP100 气体分析仪


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实时终点检测和检漏

INFICON Quantus LP100 气体分析仪可在关键过程环境中进行实时检漏和终点检测。许多过程对泄漏都很敏感,或要求进行终点检测。Quantus LP100 是一种气体分析仪,专门用于实时应对敏感过程环境中的细微变化,以最大限度地减少报废,提高产出。



功能

  • 方便的现场可更换等离子单元

  • 使用标准 KF25 连接方便地安装

  • 更低的维护成本

  • 低至 ppm 级的出色检测下限

  • 工作范围为 10 mTorr 至 1 Torr

  • 长期可靠性:无需泵

  • 低拥有成本

  • 快速的 10 Hz 采样频率

  • 精致小巧(高 x 宽 x 长)87 x 151 x 241 mm (3.4 x 5.9 x 9.5 in.)

  • 有经验的现场培训 INFICON 工程师提供支持

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