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Transpector XPR3 气体分析系统

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Transpector XPR3 气体分析系统

  • 所属分类:气体分析仪

  • 点击次数:
  • 发布日期:2018/01/04
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详细介绍

Transpector XPR3 气体分析系统

TranspectorXPR3_web.png

 

无需复杂压力转换的 PVD 过程监控


Transpector XPR3 提供的 RGA 过程监控功能可以为您提供有关污染级别、除气级别、气体纯度和设备操作等方面的实时数据。用户可以根据此信息检测和诊断问题,从而最大化吞吐量和产量,也可以根据此信息制定更有效的预防性维护计划,从而延长工具运行时间。

Transpector XPR3 是新一代气体分析系统,可用于基于四极杆的高压过程气体分析。它借鉴了之前 INFICON 系统的成功经验,具有前所未有的灵敏度、准确性和灵活性,可以监控气相沉积 (PVD) 过程。Transpector XPR3 取得了一系列技术上的突破,无需大型、复杂的压力转换设备,即可在 20 mTorr 至超高真空范围内操作。

功能

  • 经过重新设计的离子源最大限度减少污染积存,可延长使用寿命,提供更纯净的信号。

  • 新 EM 在 PVD 过程压力下工作,可实现更快速、更纯净的数据收集,消除 FC 向 EM 过度的必要,更便于数据分析。

  • 更长的新型四极杆提高了低质量范围下的滤波性能,增强了丰度灵敏度,从而提高了氢气检测灵敏度。

典型应用

  • PVD 过程模块

  • 预清洗模块

  • 非群集 PVD 工具

  • 夹钳式除气模块

附件

Transpector XPR
零件号明细
074-5007-G1气体分析产品手册 CD
600-1001-P1515 ft. (4.6 m) 公型/母型 RS-232 电缆
600-1001-P30RS232 电缆 30 ft.(单传感器通信)
600-1008-P15电源延长电缆,15 ft. (4.5m)
600-1008-P30电源延长电缆,30 ft. (9m)
600-1193-G3Interlock Cable, Valve Control Option
911-039-G1Power Supply, 80-250 VAC, Standard Plug
911-039-G2Power Supply, 80-250 VAC, German Plug
911-040-G15Cable Set, RS485 15 Feet
911-040-G30Cable Set, RS485 30 Feet
911-451-P1Converter, USB to RS232
914-024-G1Angle Valve Kit, Manual
914-025-G1Angle Valve Kit, Air Operated, 24 VDC

备件

Transpector XPR
零件号明细
600-1109-P1Cable, Interlock
600-1117-P1Heater Power Cable, Transpector, 120 VAC
600-1117-P2Heater Power Cable, Transpector, 230 VAC
914-022-G2Yttria Filament Kit, XPR, XPR2, XPR3
914-220-G1Spare Angle Valve, Air Operated
914-348-P1Ceramic Shield, XPR, XPR2
914-407-P1Spare Valve Heating Jacket
914-410-P1Spare Angle Valve, Manual
918-401-P1Pirani Gauge
Transpector XPR2
零件号明细
600-1109-P1Cable, Interlock
600-1117-P1Heater Power Cable, Transpector, 120 VAC
600-1117-P2Heater Power Cable, Transpector, 230 VAC
914-022-G2Yttria Filament Kit, XPR, XPR2, XPR3
914-220-G1Spare Angle Valve, Air Operated
914-348-P1Ceramic Shield, XPR, XPR2
914-407-P1Spare Valve Heating Jacket
914-410-P1Spare Angle Valve, Manual
918-401-P1Pirani Gauge
Transpector XPR3
零件号明细
600-1109-P1Cable, Interlock
600-1117-P1Heater Power Cable, Transpector, 120 VAC
600-1117-P2Heater Power Cable, Transpector, 230 VAC
914-022-G2Yttria Filament Kit, XPR, XPR2, XPR3
914-220-G1Spare Angle Valve, Air Operated
914-407-P1Spare Valve Heating Jacket
914-410-P1Spare Angle Valve, Manual
914-415-P1Interlock Heating Jacket, 120/230VAC
914-416-G1Weldment Assembly, Interlock, XPR3
918-401-P1Pirani Gauge


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