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Transpector CPM 紧凑型过程监控器

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Transpector CPM 紧凑型过程监控器

  • 所属分类:气体分析仪

  • 点击次数:
  • 发布日期:2018/01/04
  • 在线询价
详细介绍

Transpector CPM 紧凑型过程监控器

TranspectorCPM_web.png

 

经济型综合气体分析


INFICON Transpector® CPM 通过以下功能提供 现场 预警并降低成本:

  • 测量气相反应

  • 验证真空完整性

  • 鉴定痕迹量级污染物

  • 测量过程和本底成分

  • 检测气体纯度


INFICON CPM 紧凑型过程监控器是一款功能全面、结构紧凑且经济实惠的气体分析仪,适用于现场监控复杂的过程。这种干泵系统使用 INFICON Transpector 2 气体分析系统的成熟技术,帮助您达到新的性能水平。


  • 功能

  • 基于四极的气体分析系统可监控复杂的过程。

  • 支持 24/7 全天候监控,可最大限度地提高产量和吞吐量,从而大幅降低成本。

  • 小巧灵活、经济实惠,适合安装到任何高压真空室。

  • HexBlock™ 采样系统提高性能。

  • 内置 CDG,支持过程压力监控和真空联锁。

  • 可选校准基准(用于调节)和气体基准。

  • 长寿命封闭式离子源可检测亚 ppm 量级的污染,同时耐最强的腐蚀性和活性气体。

  • 轻便,易携带。

附件

CPM Compact Process Monitor
零件号明细
911-451-P1Converter, USB to RS232
923-720-G11000 Torr CPM CDG,包括电缆
923-720-G2100 Torr CPM CDG,包括电缆
923-720-G310 Torr CPM CDG,包括电缆
923-720-G41 Torr CPM CDG,包括电缆

备件

CPM Compact Process Monitor
零件号明细
915-700-G2Closed Ion Source Kit
915-701-G2Sensor Filament Kit
915-723-G1Closed Ion Source Kit
915-724-G1Spare Ion Source Liner
923-208-G111 Torr CPM CDG
923-208-G1210 Torr CPM CDG
923-208-G131000 Torr CPM CDG
923-401-P1Manifold Heater, CPM
923-403-P2US18238, SMC VQ100 Manifold for CPM
923-404-P1HexBlock Insulator, CPM
923-603-G2Electronics Box, CPM
CPM Compact Process Monitor Gas Inlet
零件号明细
059-0400Replacement c-ring, CPM
922-204-G1Capillary, CPM, 1.5 m
922-204-G3Capillary, CPM, 3 m
923-706-G10Orifice Kit, CPM, 30 Torr
923-706-G3Orifice Kit, CPM, 10 Torr
923-706-G4Orifice Kit, CPM, 1 Torr
923-706-G5Orifice Kit, CPM, 100 mTorr
923-706-G6Orifice Kit, CPM, 10 mTorr
923-706-G7Orifice Kit, CPM, 360 mTorr
923-706-G8Orifice Kit, CPM, 15 mTorr
923-706-G9Orifice Kit, CPM, 3 Torr
923-707-G1Sniffer Kit, CPM, 10 Torr, 5 cm
923-707-G2Sniffer Kit, CPM, 100 Torr
923-707-G3Sniffer Kit, CPM, 7 Torr, 30.5 cm
923-707-G4Sniffer Kit, CPM, 30 Torr, 5 cm
923-707-G5Sniffer Kit, CPM, 300 Torr
923-707-G6Sniffer Kit, CPM, 30 Torr, 30 cm
923-707-G7Sniffer Kit, CPM, 10 Torr, 30.5 cm
CPM Compact Process Pumping
零件号明细
923-723-G14 级隔膜泵 - 24 V(dc)
923-724-G1Turbo SplitFlow PumpKit CPM nonCorrosive
923-724-G2Turbo SplitFlow Pump Kit, CPM Corrosive
CPM Compact Process Monitor Preventative Maintenance
零件号明细
923-710-G1HexBlock Orifice Replacement tools
923-711-G1HexBlock Valve Replacement Kit
923-712-G1HexBlock Orifice Gasket, Quantity 5
923-722-G1用于 2 级泵的更换隔膜套件
930-4241-P1Replacement Diaphragm Kit, 4-Stage Pump


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