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Transpector MPH 残余气体分析仪

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Transpector MPH 残余气体分析仪

  • 所属分类:气体分析仪

  • 点击次数:
  • 发布日期:2018/01/04
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详细介绍

Transpector MPH 残余气体分析仪

TranspectorMPH_web.png

 

监控您的过程

无与伦比的性能有助于提高产量并实现最长运行时间

持续升高的硅晶圆价格和成品需求意味着损坏晶圆的代价比以前更高。因此,在半导体制造中心了解过程并监测缺陷也变得更加重要。Transpector MPH 气体分析系统专门用于让您的系统在所有气体分析应用中都实现业内一流的性能,有助于最大限度地提高芯片产量,降低工具停工时间。Transpector MPH 兼具较低总体拥有成本和较长故障平均间隔时间的特性,有助于让您的盈亏底线优于市场上的所有其他残余气体分析仪 (RGA)。

INFICON 发挥其在气体分析过程控制设备领域的专长,制造的 RGA 拥有业内一流的数据采集速度、最低可检测分压和最小的信噪比。所有这些特性都不会牺牲 INFICON Transpector 气体分析仪一贯出色的可靠性。

功能

  • 模拟扫描和所选峰值的 1.8 ms 最高每点数据率

  • TCP/IP 以太网连接

  • 双丝极

  • 可现场更换电子倍增器

  • 组合阳极、阴极和反射极丝极套件

  • 较短的传感器可降低安装占地面积

  • 九个数量级的动态量程

  • <2E-15 Torr 的 MDPP(100 amu 型号)

  • 信噪比更高

  • 可调换传感器和电子元件

  • 传感器在洁净室环境中装配、测试并进行双层包装

  • 符合 RoHS 标准

规格

类型MPH100FMPH100MMPH200FMPH200MMPH300FMPH300M
传感器长度
14.3 cm19.3 cm14.3 cm19.3 cm14.3 cm19.3 cm
质量范围
100 amu100 amu200 amu200 amu300 amu300 amu
检测器类型
FCFC/EMFCFC/EMFCFC/EM
灵敏度 (FC)
6E-4 A/Torr6E-4 A/Torr5E-4 A/Torr5E-4 A/Torr4E-4 A/Torr4E-4 A/Torr
灵敏度 (EM)
NA500 A/TorrNA500 A/TorrNA250 A/Torr
最小可检测分压
3E-13 Torr2E-15 Torr4E-13 Torr3E-15 Torr5E-13 Torr4E-15 Torr
最高传感器工作温度(FC)
200°C200°C200°C200°C200°C200°C
最高传感器工作温度(EM)
NA150°CNA150°CNA150°C
丝极类型选件 (1)
Y2O3/IrY2O3/IrY2O3/IrY2O3/IrY2O3/IrY2O3/Ir
丝极类型选件 (2)
TungstenTungstenTungstenTungstenTungstenTungsten
分辨率(整个质量范围内)
<1 amu wide (3)<1 amu wide (3)<1 amu wide (3)<1 amu wide (3)<1 amu wide (3)<1 amu wide (3)
温度系数
<1% of peak height/°C<1% of peak height/°C<1% of peak height/°C<1% of peak height/°C<1% of peak height/°C<1% of peak height/°C
最高每点数据率
1.8 ms1.8 ms1.8 ms1.8 ms1.8 ms1.8 ms
零冲击(@ 质量 2)
<5 ppm<5 ppm<65 ppm<65 ppm<100 ppm<100 ppm
最大工作压力
5E-4 Torr5E-4 Torr5E-4 Torr5E-4 Torr5E-4 Torr5E-4 Torr
最高烘烤温度300300300300300300
功率输入
20-30 VDC20-30 VDC20-30 VDC20-30 VDC20-30 VDC20-30 VDC

(1) 用于普通应用

(2) 用于卤素环境应用

(3) 位于峰值高度的 10%

附件

MPH100F
零件号明细
961-021-G1MPH 电源,80 - 250 VAC / 4 ft (1.2m) 美式插头
961-021-G2MPH 电源,80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 美式插头,带 15 ft (4.5m) 延长电缆
961-021-G3MPH 电源,80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 美式插头,带 30 ft (9m) 延长电缆
961-021-G4MPH 电源,80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 230V 插头
961-021-G5MPH 电源,80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 230V 插头,带有 15 ft (4.5m) 延长电缆
961-021-G6MPH 电源,80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 230V 插头,带有 30 ft (9m) 延长电缆
600-1190-P8Cable, Ethernet Communication, 7.6 Meter
600-1190-P15ETHERNET COMUNICATION CABLE 15.3 METER
600-1428-P1电源延长电缆 - 15 ft (4.5m)
600-1429-P1电源延长电缆 - 30 ft (9m)
961-417-G14 端口以太网路由器,带有 Wi-Fi 按钮
961-418-G18 端口以太网交换机
961-702-G1Pirani 联锁套件
914-024-G1Angle Valve Kit, Manual
914-026-G1MPH 角阀套件,电动气动 24 V(DC)(包括加热器)
961-029-G1HEATING JACKET KIT 120V
961-029-G2HEATING JACKET KIT 230V
MPH100M
零件号明细
961-021-G1MPH 电源,80 - 250 VAC / 4 ft (1.2m) 美式插头
961-021-G2MPH 电源,80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 美式插头,带 15 ft (4.5m) 延长电缆
961-021-G3MPH 电源,80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 美式插头,带 30 ft (9m) 延长电缆
961-021-G4MPH 电源,80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 230V 插头
961-021-G5MPH 电源,80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 230V 插头,带有 15 ft (4.5m) 延长电缆
961-021-G6MPH 电源,80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 230V 插头,带有 30 ft (9m) 延长电缆
600-1190-P8Cable, Ethernet Communication, 7.6 Meter
600-1190-P15ETHERNET COMUNICATION CABLE 15.3 METER
600-1428-P1电源延长电缆 - 15 ft (4.5m)
600-1429-P1电源延长电缆 - 30 ft (9m)
961-417-G14 端口以太网路由器,带有 Wi-Fi 按钮
961-418-G18 端口以太网交换机
961-702-G1Pirani 联锁套件
914-024-G1Angle Valve Kit, Manual
914-026-G1MPH 角阀套件,电动气动 24 V(DC)(包括加热器)
961-029-G1HEATING JACKET KIT 120V
961-029-G2HEATING JACKET KIT 230V
MPH200F
零件号明细
961-021-G1MPH 电源,80 - 250 VAC / 4 ft (1.2m) 美式插头
961-021-G2MPH 电源,80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 美式插头,带 15 ft (4.5m) 延长电缆
961-021-G3MPH 电源,80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 美式插头,带 30 ft (9m) 延长电缆
961-021-G4MPH 电源,80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 230V 插头
961-021-G5MPH 电源,80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 230V 插头,带有 15 ft (4.5m) 延长电缆
961-021-G6MPH 电源,80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 230V 插头,带有 30 ft (9m) 延长电缆
600-1190-P8Cable, Ethernet Communication, 7.6 Meter
600-1190-P15ETHERNET COMUNICATION CABLE 15.3 METER
600-1428-P1电源延长电缆 - 15 ft (4.5m)
600-1429-P1电源延长电缆 - 30 ft (9m)
961-417-G14 端口以太网路由器,带有 Wi-Fi 按钮
961-418-G18 端口以太网交换机
961-702-G1Pirani 联锁套件
914-024-G1Angle Valve Kit, Manual
914-026-G1MPH 角阀套件,电动气动 24 V(DC)(包括加热器)
961-029-G1HEATING JACKET KIT 120V
961-029-G2HEATING JACKET KIT 230V
MPH200M
零件号明细
961-021-G1MPH 电源,80 - 250 VAC / 4 ft (1.2m) 美式插头
961-021-G2MPH 电源,80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 美式插头,带 15 ft (4.5m) 延长电缆
961-021-G3MPH 电源,80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 美式插头,带 30 ft (9m) 延长电缆
961-021-G4MPH 电源,80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 230V 插头
961-021-G5MPH 电源,80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 230V 插头,带有 15 ft (4.5m) 延长电缆
961-021-G6MPH 电源,80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 230V 插头,带有 30 ft (9m) 延长电缆
600-1190-P8Cable, Ethernet Communication, 7.6 Meter
600-1190-P15ETHERNET COMUNICATION CABLE 15.3 METER
600-1428-P1电源延长电缆 - 15 ft (4.5m)
600-1429-P1电源延长电缆 - 30 ft (9m)
961-417-G14 端口以太网路由器,带有 Wi-Fi 按钮
961-418-G18 端口以太网交换机
961-702-G1Pirani 联锁套件
914-024-G1Angle Valve Kit, Manual
914-026-G1MPH 角阀套件,电动气动 24 V(DC)(包括加热器)
961-029-G1HEATING JACKET KIT 120V
961-029-G2HEATING JACKET KIT 230V
MPH300F
零件号明细
961-021-G1MPH 电源,80 - 250 VAC / 4 ft (1.2m) 美式插头
961-417-G14 端口以太网路由器,带有 Wi-Fi 按钮
961-021-G2MPH 电源,80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 美式插头,带 15 ft (4.5m) 延长电缆
961-021-G3MPH 电源,80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 美式插头,带 30 ft (9m) 延长电缆
961-021-G4MPH 电源,80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 230V 插头
961-021-G5MPH 电源,80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 230V 插头,带有 15 ft (4.5m) 延长电缆
961-021-G6MPH 电源,80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 230V 插头,带有 30 ft (9m) 延长电缆
600-1190-P8Cable, Ethernet Communication, 7.6 Meter
600-1190-P15ETHERNET COMUNICATION CABLE 15.3 METER
600-1428-P1电源延长电缆 - 15 ft (4.5m)
600-1429-P1电源延长电缆 - 30 ft (9m)
961-418-G18 端口以太网交换机
961-702-G1Pirani 联锁套件
914-024-G1Angle Valve Kit, Manual
914-026-G1MPH 角阀套件,电动气动 24 V(DC)(包括加热器)
961-029-G1HEATING JACKET KIT 120V
961-029-G2HEATING JACKET KIT 230V
MPH300M
零件号明细
961-021-G1MPH 电源,80 - 250 VAC / 4 ft (1.2m) 美式插头
961-416-P1备用 MPH 加热套
961-021-G2MPH 电源,80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 美式插头,带 15 ft (4.5m) 延长电缆
961-021-G3MPH 电源,80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 美式插头,带 30 ft (9m) 延长电缆
961-021-G4MPH 电源,80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 230V 插头
961-021-G5MPH 电源,80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 230V 插头,带有 15 ft (4.5m) 延长电缆
961-021-G6MPH 电源,80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 230V 插头,带有 30 ft (9m) 延长电缆
600-1190-P8Cable, Ethernet Communication, 7.6 Meter
600-1190-P15ETHERNET COMUNICATION CABLE 15.3 METER
600-1428-P1电源延长电缆 - 15 ft (4.5m)
600-1429-P1电源延长电缆 - 30 ft (9m)
961-417-G14 端口以太网路由器,带有 Wi-Fi 按钮
961-418-G18 端口以太网交换机
961-702-G1Pirani 联锁套件
914-024-G1Angle Valve Kit, Manual
914-026-G1MPH 角阀套件,电动气动 24 V(DC)(包括加热器)
961-029-G1HEATING JACKET KIT 120V
961-029-G2HEATING JACKET KIT 230V

备件

MPH100F
零件号明细
961-H1FASMPH 传感器,100 AMU FC (MPH100F),带有 Y2O3/Ir 丝
961-H1FBSMPH 传感器,100 AMU FC (MPH100F),带有钨丝
MP-H10SMPH 电子盒,100 AMU FC 或 EM/FC(MPH100F、MPH100M),带有以太网
961-700-G1镀铱丝套件
961-700-G2钨丝套件
961-701-G1镀依丝离子源
961-701-G2钨丝离子源
961-416-P1备用 MPH 加热套
914-407-P1Spare Valve Heating Jacket
600-1117-P1Heater Power Cable, Transpector, 120 VAC
600-1117-P2Heater Power Cable, Transpector, 230 VAC
914-410-P1Spare Angle Valve, Manual
914-220-G1Spare Angle Valve, Air Operated
961-206-G2MPH 延长套件
961-022-G1备用 O 形密封圈和螺母套件
074-5007-G1气体分析产品手册 CD
MPH100M
零件号明细
961-H1MASMPH 传感器,100 AMU EM/FC (MPH100M),带有 Y2O3/Ir 丝
961-H1MBSMPH 传感器,100 AMU EM/FC (MPH100M),带有钨丝
MP-H10SMPH 电子盒,100 AMU FC 或 EM/FC(MPH100F、MPH100M),带有以太网
961-700-G1镀铱丝套件
961-700-G2钨丝套件
961-701-G1镀依丝离子源
961-701-G2钨丝离子源
961-2428-G2电子倍增器更换套件
961-416-P1备用 MPH 加热套
914-407-P1Spare Valve Heating Jacket
600-1117-P1Heater Power Cable, Transpector, 120 VAC
600-1117-P2Heater Power Cable, Transpector, 230 VAC
914-410-P1Spare Angle Valve, Manual
914-220-G1Spare Angle Valve, Air Operated
961-206-G2MPH 延长套件
961-205-G2MPH HPR 延长套件
961-022-G1备用 O 形密封圈和螺母套件
074-5007-G1气体分析产品手册 CD
MPH200F
零件号明细
961-H2FASMPH 传感器,200 AMU FC (MPH200F),带有 Y2O3/Ir 丝
961-H2FBSMPH 传感器,200 AMU FC (MPH200F),带有钨丝
MP-H20SMPH 电子盒,200 AMU FC 或 EM/FC(MPH200F、MPH200M),带有以太网
961-700-G1镀铱丝套件
961-700-G2钨丝套件
961-701-G1镀依丝离子源
961-701-G2钨丝离子源
961-416-P1备用 MPH 加热套
914-407-P1Spare Valve Heating Jacket
600-1117-P1Heater Power Cable, Transpector, 120 VAC
600-1117-P2Heater Power Cable, Transpector, 230 VAC
914-410-P1Spare Angle Valve, Manual
914-220-G1Spare Angle Valve, Air Operated
961-206-G2MPH 延长套件
961-022-G1备用 O 形密封圈和螺母套件
074-5007-G1气体分析产品手册 CD
MPH200M
零件号明细
961-H2MASMPH 传感器,200 AMU EM/FC (MPH200M),带有 Y2O3/Ir 丝
961-H2MBSMPH 传感器,200 AMU EM/FC (MPH200M),带有钨丝
MP-H20SMPH 电子盒,200 AMU FC 或 EM/FC(MPH200F、MPH200M),带有以太网
961-700-G1镀铱丝套件
961-700-G2钨丝套件
961-701-G1镀依丝离子源
961-701-G2钨丝离子源
961-2428-G2电子倍增器更换套件
961-416-P1备用 MPH 加热套
914-407-P1Spare Valve Heating Jacket
600-1117-P1Heater Power Cable, Transpector, 120 VAC
600-1117-P2Heater Power Cable, Transpector, 230 VAC
914-410-P1Spare Angle Valve, Manual
914-220-G1Spare Angle Valve, Air Operated
961-206-G2MPH 延长套件
961-205-G2MPH HPR 延长套件
961-022-G1备用 O 形密封圈和螺母套件
074-5007-G1气体分析产品手册 CD
MPH300F
零件号明细
961-H3FASMPH 传感器,300 AMU FC (MPH300F),带有 Y2O3/Ir 丝
961-H3FBSMPH 传感器,300 AMU FC (MPH300F),带有钨丝
MP-H30SMPH 电子盒,300 AMU FC 或 EM/FC(MPH300F、MPH300M),带有以太网
961-700-G1镀铱丝套件
961-700-G2钨丝套件
961-701-G1镀依丝离子源
961-701-G2钨丝离子源
961-416-P1备用 MPH 加热套
914-407-P1Spare Valve Heating Jacket
600-1117-P1Heater Power Cable, Transpector, 120 VAC
600-1117-P2Heater Power Cable, Transpector, 230 VAC
914-410-P1Spare Angle Valve, Manual
914-220-G1Spare Angle Valve, Air Operated
961-206-G2MPH 延长套件
961-022-G1备用 O 形密封圈和螺母套件
074-5007-G1气体分析产品手册 CD
MPH300M
零件号明细
961-H3MASMPH 传感器,300 AMU EM/FC (MPH300M),带有 Y2O3/Ir 丝
961-H3MBSMPH 传感器,300 AMU EM/FC (MPH300M),带有钨丝
MP-H30SMPH 电子盒,300 AMU FC 或 EM/FC(MPH300F、MPH300M),带有以太网
961-700-G1镀铱丝套件
961-700-G2钨丝套件
961-701-G1镀依丝离子源
961-701-G2钨丝离子源
961-2428-G2电子倍增器更换套件
961-416-P1备用 MPH 加热套
914-407-P1Spare Valve Heating Jacket
600-1117-P1Heater Power Cable, Transpector, 120 VAC
600-1117-P2Heater Power Cable, Transpector, 230 VAC
914-410-P1Spare Angle Valve, Manual
914-220-G1Spare Angle Valve, Air Operated
961-206-G2MPH 延长套件
961-205-G2MPH HPR 延长套件
961-022-G1备用 O 形密封圈和螺母套件
074-5007-G1气体分析产品手册 CD


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