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QCM 传感器馈入件

QCM 传感器馈入件

  • 所属分类:薄膜沉积和电子枪控制装置

  • 点击次数:
  • 发布日期:2018/01/04
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详细介绍

QCM 传感器馈入件


INFICON 提供各种石英晶体监测仪 (QCM) 传感器馈入件,以适应多种 QCM 传感器和腔室配置。CF40 (2.75 in. ConFlat®) 和 2.54 cm (1 in.) 螺栓式馈入件提供电气连接、水冷却和空气管的各种组合。INFICON 馈入件还配备了 Ultra-Torr O 形密封圈压缩接头,用于轻松安装和传感器长度调整。根据要求可提供其他馈入件款式(KF40 等),因此请联系 INFICON 提出您的馈入件需求。

除非另行说明,否则典型的馈入件电气连接包含一个同轴 BNC 连接器(大气端)和一个 Microdot®连接器(真空端)。此款式的电气连接旨在与真空电缆传感器(例如 INFICON 前装式单传感器前装式双传感器薄型单传感器、精选薄型双传感器溅射传感器CrystalSix 和 Crystal 12 传感器)配合使用。

Feedthroughs_sil_right_2_SMALL.png
备注:馈入件水管和空气管为 4.8 mm (3/16 in.) 外径。

备注:薄型双传感器使用 4.8 mm (3/16 in.) 外径水冷管。 它们与配备馈入件的 Ultra-Torr 不兼容,需要管接头才能焊接到具有 4.8 mm (3/16 in.) 外径水冷管的标准馈入件。

下表是基于传感器类型的馈入件要求和零件号的快速参考。

功能

  • 提供 2.54 厘米(1 英寸)螺栓或 CF40(2.75 英寸 ConFlat®)款式

  • 可用的 Ultra-Torr O 形密封圈压缩接头

  • 提供自定义馈入件配置

  • 根据要求可提供其他馈入件款式

零件号

QCM Sensor Feedthroughs
零件号明细
2.54 cm (1 in.) Bolt Feedthroughs(附带 VITON® O 形密封圈)
002-0421 英寸螺栓馈入件,1 根同轴电缆,2 个管道
750-030-G11 英寸螺栓馈入件,1 根同轴电缆,3 个管道
750-707-G11 英寸螺栓馈入件,2 根同轴电缆,3 个管道
750-624-G11 英寸螺栓馈入件,1 根同轴电缆,2 个管道
783-501-0131 英寸螺栓馈入件,1 根同轴电缆、2 个管道,Ultra-Torr O 形密封圈压缩接头
CF40 (2.75 in. ConFlat) Feedthroughs(包括铜垫圈)
002-043CF40 馈入件,1 根同轴电缆,2 个管道
750-685-G1CF40 馈入件,1 根同轴电缆,3 个管道
002-080CF40 馈入件,2 根同轴电缆,3 个管道
750-683-G1CF40 馈入件,1 根同轴电缆,4 个管道
206-878-G2CF40 螺栓馈入件,1 根同轴电缆、2 个管道,Ultra-Torr O 形密封圈压缩接头
750-685-G2CF40 螺栓馈入件,1 根同轴电缆、3 个管道,Ultra-Torr O 形密封圈压缩接头
206-890-G2CF40 螺栓馈入件,2 根同轴电缆、3 个管道,Ultra-Torr O 形密封圈压缩接头
KF40 Feedthroughs(附带 VITON® O 形密封圈)
130246KF40 馈入件,1 根同轴电缆,2 个管道
130239KF40 馈入件,1 根同轴电缆,3 个管道

附件

名称说明
带蝶形螺母的夹环带蝶形螺母的夹环
QCM Sensor Feedthroughs
零件号明细
782-902-022BNC 到 Microdot® 适配器电缆,15.2 厘米(6 英寸)

备件

QCM Sensor Feedthroughs
零件号明细
002-064四环垫圈,VITON®,CF40
012-328铜垫圈
070-0237O 形密封圈,VITON®,2.54 厘米(1 英寸)螺栓
211-003卡箍 DN 32-40 ISO-KF
211-070中心环组件 DN 40 ISO-KF, Inox / FPM


相关标签: 薄膜沉积和电子枪控制装置,QCM传感器馈入件价格,QCM传感器馈入件批发

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