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溅射传感器

溅射传感器

  • 所属分类:薄膜沉积和电子枪控制装置

  • 点击次数:
  • 发布日期:2018/01/04
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详细介绍

溅射传感器

INFICON 溅射传感器专为各种溅射过程而设计。镀金铍铜传感器体和冷却管在溅射环境中可实现最佳冷却效果。传感器头内置的磁铁可抑制因外部磁场偏转溅射系统中的高能自由电子而引起的过热。后装式晶体支架设计便于更换晶体,更换时无需从系统中拆卸传感器头。

SputteringSensor_web.png

功能

  • 镀金铍铜传感器体和冷却管可实现最佳冷却效果

  • 磁铁可偏转自由电子,使其远离监控器晶体

  • 利用可弯曲的水管轻松安装,灵活放置传感器

  • 后装式晶体插入便于更换晶体

规格

类型Sputtering Sensor
无水时的最高烘烤温度
105°C
最小水流时的最高工作等温环境温度
400° C
尺寸(最大外壳)
1.36 in. OD x 0.69 in. high (3.45 cm x 1.75 cm)
水、空气和同轴长度
Standard 30 in. (76.2 cm)
晶体交换
Rear-loading
安装
Customer supplied
安装要求
馈入件

2 pass water with coax connector

2¾ in. ConFlat® Flange – IPN 002-043

1 in. Bolt – IPN 002-042

 

其他

1) Customer to provide vacuum-tight braze joints or connectors for the water tubes.

2) XIU or Oscillator designed to interface with the specific deposition controller.

水流速
Minimum water flow 750 cc/min, 30° C max (Do not allow to freeze) Coolant should not contain chlorides as stress corrosion cracking may occur. If the water tube passes through a cryoshroud, drain the tubes if the water flow is stopped for any reason.
材料
主体和支架
Au plated Be-Cu
弹簧、电气触点
Au plated Be-Cu
水管
Au plated Be-Cu, 0.125 in. (0.32 cm) O.D.
连接器
304 Stainless steel
绝缘体
99% Al2O3
电线
Teflon® insulated copper
焊料
Cadmium free silver and indium alloys
晶体
0.550 in. (1.4 cm) Diameter
磁铁
ALNICO 5 Alloy
可选闸门组件 750-005-G1 规格:
温度
130° C
1 in. 螺栓和 Ultra-Torr(压缩接头)端接:
材料
304 stainless steel, Teflon, ceramic, beryllium nickel, VITON®
温度
Operational environment to 300ºC with water cooling or 165ºC without
安装
1.015 in. ±0.010 in. diameter aperture
CF 40 焊接式端接:
材料
304 stainless steel, Teflon, ceramic, beryllium nickel
温度
Operational environment to 450ºC with water cooling or 165ºC without
安装
Mates with 2 ¾ in. ConFlat type flanges with 1.375 in. I.D. min.

零件号

Sputtering Sensor
零件号明细
750-618-G1溅射传感器(仅传感器,不包括馈入件)

附件

名称说明
QCM 传感器馈入件QCM 传感器馈入件
Sputtering Sensor
零件号明细
750-005-G1用于溅射传感器的气动闸门组件(仅闸门组件,不包括传感器)
750-420-G1电磁阀,24 伏(与带闸门和多晶体传感器配合使用)

耗材

名称说明
石英监控器晶体石英监控器晶体

备件

Sputtering Sensor
零件号明细
007-023陶瓷夹持器
007-049Crystal Holder, Sputtering Sensor
007-007止动弹簧(用于晶体支架)
007-047Front Cover, Sputtering Sensor
007-009DET, MAGNET
070-0440Z5-1 RETAINING RING,SS,PIC
070-0442定位环(安装到闸门组件的轴上)
070-0441Spacer, B4-4, Stainless Steel
082-044Teflon 螺钉(用于片簧)
082-029-P1SCREW 2-56 x .125 LG SOC SET SCR SS
750-009-P2COVER, PIVOT FINISHED
750-046-G2SPUTTER SHUTTER WELD ASM FIN @
750-048-P1Retainer Spring, CrystalSix
750-115-P4联轴器(安装到波纹管组件)
750-169-P4用于气动闸门组件的波纹管组件
750-174-P2母型同轴
750-175-P1绝缘体(片簧下面)
750-188-P3片簧
008-007CRYSTAL SNATCHER
750-619-G1Body, Sputtering Sensor
750-626-P1Spring, Crystal 12 and Sputtering Sensor
In-vacuum cables
321-039-G12真空电缆,15.2 厘米(6 英寸)
007-252真空电缆,30.5 厘米(12 英寸)
321-039-G11真空电缆,61.0 厘米(24 英寸)
007-044真空电缆,78.1 厘米(30.75 英寸)
007-059真空电缆,91.4 厘米(36 英寸)
007-061真空电缆,121.9 厘米(48 英寸)- 需要 ModeLock 控制器
321-039-G13真空电缆,154.2 厘米(60 英寸)- 需要 ModeLock 控制器
321-039-G14真空电缆,182.9 厘米(72 英寸)- 需要 ModeLock 控制器
321-039-G15真空电缆,3.5 米(137.8 英寸)- 需要 ModeLock 控制器和4 米 XIU
321-039-G16真空电缆,4 米(157.5 英寸)- 需要 ModeLock 控制器和4 米 XIU


相关标签: 薄膜沉积和电子枪控制装置,溅射传感器价格,溅射传感器批发

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