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ALD 探头

ALD 探头

  • 所属分类:薄膜沉积和电子枪控制装置

  • 点击次数:
  • 发布日期:2018/01/04
  • 在线询价
详细介绍

ALD 探头

满足 ALD 应用的最佳精度、运行时间以及极低的维护要求

ALD_PIM_2016.png
INFICON ALD 探头为原子状态膜层沉积 (ALD) 提供了具石英晶体微天平 (QCM) 测量水准的可靠性、精度和重复性。ALD 探头可承受高达 450 ℃ 的高温,其设计允许探头在严苛的 ALD 应用环境中运行。裸露的晶体电极完全接地,以有效地消除任何潜在的电气干扰问题。

专为 ALD 设计

INFICON ALD 探头的独特性之一便是利用惰性气体(通常为氮气)吹扫晶片背面和探头腔体。这可防止反应室的气体进入探头,并确保晶片背面和电气触点无沉积材料。这种技术可在不适合使用标准 QCM 的系统中实现现场测量。

馈入件和馈入件连接

INFICON ALD 探头可采用自定义焊接长度,也可采用长度可调的压缩接头而无需铜焊或焊接。所有配置都使用 2 ¾ 英寸(CF40) ConFlat® 法兰馈入件。

高温晶片实现更准确的测量

与 INFICON 的新型高温石英晶片结合使用时,INFICON ALD 探头可在高温应用中达到最佳测量精度和较低的频率噪声。这些高温晶片针对 120、240 和 285 ℃ 应用进行了优化,因此您总能获得适合自己应用的正确晶片。也可提供针对其他温度优化过的晶片。请根据自己的需求联系 INFICON。

  • 与大多数 ALD 工艺温度兼容

  • 显著减少维护工作

  • 最大化系统运行时间

  • 最大化测量精度

  • 在高工艺温度下可获得低噪声的稳定读数

功能

  • 工作温度可达 450 ℃

  • 气体吹扫管路可防止晶体背片出现沉积材料

  • 焊接式 Conflat 法兰 (CF40) 选件

  • O 形密封圈压缩接头选件

  • 提供高温晶片

典型应用

  • 原子层沉积 (ALD)

零件号

ALD PN.png

附件

零件号明细
750-1058-G10120 ℃ 优化晶片,6 MHz,14 mm (0.55 in.),金,每包 10 片
750-1059-G10240 ℃优化晶片,6 MHz,14 mm (0.55 in.),金,每包 10 片
750-1060-G10285 ℃ 优化晶片,6 MHz,14 mm (0.55 in.),金,每包 10片

耗材

名称说明
石英监控器晶体石英监控器晶体

备件

零件号明细
007-007止动弹簧(用于晶体支架)
007-064陶瓷夹持器
007-094Clamping Sring, UHV Bakeable Sensor
007-095Handle, UHV Bakeable Sensor
007-098母型连接器(包括套圈和螺母)
007-099可烘烤头部触点
007-100High Temperature BNC Insulator
007-103Insulator, UHV Bakeable Sensor
007-104High Temperature BNC Body, Bakeable
007-147Vented Screw, 4-40 x 3/8 in.
007-228SPEC,4-40 X 5/8 VENTED SHC SC
007-267-P2Spreader Bar, UHV Bakeable Sensor
007-268-P1Shoulder Washer, UHV Bakeable Sensor
007-269-P1Shoulder Washer, UHV Bakeable Sensor
070-201#4 开口紧锁垫圈
084-069-P1SCREW 4-40 x .187 LG PHIL FLAT HD SS
750-018-P3SPLIT CLAMP {THD} {CLEAN} @
750-018-P5SPLIT CLAMP {CLEAN} @
750-218-G1Crystal Holder, Bakeable Sensor


相关标签: 薄膜沉积和电子枪控制装置,ALD探头价格,ALD探头批发

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