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炫酷抽屉双传感器

炫酷抽屉双传感器

  • 所属分类:薄膜沉积和电子枪控制装置

  • 点击次数:
  • 发布日期:2018/01/04
  • 在线询价
详细介绍

炫酷抽屉双传感器

炫酷抽屉双传感器设计用于在真空室中需要第二晶体的关键过程。拥有水冷浇铸不锈钢传感器壳体、两个炫酷抽屉晶体支架以及一个气动闸门,可以为坚固耐用的传感器头提供超高的备份晶体可靠性。腔室中没有同轴电缆,可以进行更纯净、更可靠的真空系统安装。

CoolDrawerDualSensor_web.png

功能

  • 双晶体

  • 炫酷抽屉晶体支架

  • 无内部电缆

  • 晶体闸

  • 随附:CF40 馈入件和 2.54 cm (1 in.) 螺栓馈入件

  • 在配有焊接式 CF40 法兰时可烘烤

  • 在配有压缩接头时可调长度

  • 焊接为客户指定长度的传感器/馈入件组合

规格

类型Cool Drawer Dual Sensor
表面加工
Stainless steel, gold plated Cool Drawer™
冷却水
Minimum water flow of 150 to 200 cm³/min using 1/8 in. O.D. tube, 30°C max. (Do not allow to freeze)
晶体
Industry standard 0.550 in. diameter
空气源
55 to 60 PSI regulated
电气连接
Two standard female BNCs on atmosphere side
1 in. 螺栓和压缩接头密封端接
材料
304 stainless steel, Teflon®, ceramic, beryllium nickel, VITON®
温度
Operational environment to 300° C with water cooling or 165° C without
安装
1.015 in. ±0.010 in. diameter aperture
CF 40 焊接式端接
材料
304 stainless steel, ceramic, beryllium nickel
温度
Operational environment to 450° C with water cooling or 200° C without
安装
Mates with 2 ¾ in. ConFlat®type flanges

附件

Cool Drawer Dual Sensor
零件号明细
750-420-G1电磁阀,24 伏(与带闸门和多晶体传感器配合使用)

耗材

名称说明
石英监控器晶体石英监控器晶体

备件

Cool Drawer Dual Sensor
零件号明细
123259炫酷抽屉传感器晶体夹持器
123261炫酷抽屉传感器抽屉
123260炫酷抽屉传感器抽屉和夹持器组件
147206-2Bellows, 35 in. Tube, Cool Drawer Sensor
147207Bellows and Cover, Cool Drawer Sensor
147401Shutter, Cool Drawer Dual Sensor
147402Link, Cool Drawer Sensor
147403ACTUATOR - DUAL SENSOR HEAD
147406* 波纹管支架
147407RETAINER BELLOWS COVER POLISHED
147408Threaded Bar 2x56 for Bellows
147411Spacer, Cool Drawer Sensor
147424Bellows Guide Tube Electropol
082-026Nut, 2-56 Hex, Stainless Steel
082-064* 紧锁垫圈
084-205* #4-40 x 3/16 十字槽螺钉
800128LCKWSHR SPLIT #4 - USE 070-201 / 084-054
8003714-40 Stainless Steel .187 Shoulder Screw
800372WASHER .174 IDx.309 OD x .060
800416* 6-32 x 3/16 in. 固定螺钉
803313Spring, 0.360 in. x 1.000 in. x .032 in.
123223-2导管铜焊组件 – 短引脚
803102用于 5 端口可调馈入件的 O 形密封圈
803261WASHER .235OD X .134ID X .030 302-304 S


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