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前装式双传感器

前装式双传感器

  • 所属分类:薄膜沉积和电子枪控制装置

  • 点击次数:
  • 发布日期:2018/01/04
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详细介绍

前装式双传感器

INFICON 前装式双晶体传感器拥有经实践检验的可靠性和耐用性,提供超越当前市场上的任何传感器头的最佳热稳定性。双传感器提供备用晶体,对于在真空室中需要第二晶体的关键过程至关重要。

FrontLoadDualSensor_web.png
前装式设计允许在侧面插入空间不足的应用中轻松插入晶体支架。经机械装配而成,而不是焊接在一起,因此,您能够在现场方便地更换其部件(如有必要)。传感器可单独订购,或以传感器/馈入件组合的形式订购,该组合可焊接在一起,或通过压缩接头装配在一起。

功能

  • 双晶体

  • 晶体闸

  • 前装式晶体支架

  • 易于安装

  • 随附:2.54 cm (1 in.) 螺栓馈入件和 CF40 馈入件

  • 在配有压缩接头时可调长度

  • 在配有压缩接头或焊接到馈入件时无需铜焊

  • 焊接为客户指定长度的传感器/馈入件组合

功能

  • 双晶体

  • 晶体闸

  • 前装式晶体支架

  • 易于安装

  • 随附:2.54 cm (1 in.) 螺栓馈入件和 CF40 馈入件

  • 在配有压缩接头时可调长度

  • 在配有压缩接头或焊接到馈入件时无需铜焊

  • 焊接为客户指定长度的传感器/馈入件组合

规格

类型Front Load Dual Sensor
无水时的最高烘烤温度
130° C
最小水流时的最高工作等温环境温度
400 ° C
尺寸(无闸门的最大外壳)
1.54 in. x 3.23 in. x 1.95 in. (39.12 mm x 82.04 mm x 49.54 mm)
水管和同轴长度,“E”传感器
Standard 30 in. (762 mm)
晶体交换
Front-loading, self-contained package for ease of exchange. Shutter flips up to ease access to the holders.
安装
Two #4-40 tapped holes on the back of the sensor body
安装要求
馈入件

Qty. (1) 2¾ in. (69.85 mm) ConFlat® with 2 Microdot®, 2 pass water and air, or

Qty. (1) 1 in. (25.4 mm) bolt with 2 Microdot, 2 pass water and air.

其他

1) Valve assembly for air—IPN 750-420-G1

2) Two oscillators or one oscillator and 779-220-G1 CrystalTwo Switch designed to interface with the deposition controller.

3) For automatic operation, the deposition process controller must be designed for the implementation of this feature.

实用工具

1) Minimum water flow 150-200 cc/min, 30°C max (Do not allow to freeze.)

2) Air, 80 PSIG (5.5 bar) [552 kPa] very low volume, DO NOT EXCEED 110 PSIG (7.6 bar) [760 kPa]

水质
Coolant should not contain chlorides as stress corrosion cracking may occur. Extremely dirty water may result in loss of cooling capacity.
材料
主体和支架
304 Type stainless steel
弹簧
Au plated Be-Cu
水管
S-304, 0.125 in. (3.175 mm) OD x 0.015 in. (0.381 mm) Wall thickness seamless stainless steel tubing
连接器 (Microdot)
Stainless steel, Teflon® and glass insulated
绝缘体
>99% Al2O3
电线
Teflon insulated copper
其他机械部件
304 or 18-8 stainless steel
铜焊
Vacuum process high temperature Ni-Cr alloy
晶体
0.550 in. (13.97 mm) diameter
1 in. 螺栓和 Ultra-Torr(压缩接头)端接的馈入件规格:
材料
304 stainless steel, Teflon, ceramic, beryllium nickel, VITON®
温度
Operational environment to 300ºC with water cooling or 165° C without
安装
1.015 in. ±0.010 in. diameter aperture
CF 40 (2 3/4 in. ConFlat) 焊接式端接馈入件规格:
材料
304 stainless steel, Teflon, ceramic, beryllium nickel
温度
Operational environment to 450° C with water cooling or 165° C without
安装
Mates with 2 ¾ in. ConFlat type flanges with 1.375 in. I.D. min.

零件号

FrontLoadDual_OrderChart_2013_web-01.png

附件

名称说明
QCM 传感器馈入件QCM 传感器馈入件
Front Load Dual Sensor
零件号明细
750-420-G1电磁阀,24 伏(与带闸门和多晶体传感器配合使用)

耗材

名称说明
石英监控器晶体石英监控器晶体

备件

Front Load Dual Sensor
零件号明细
007-007止动弹簧(用于晶体支架)
007-023陶瓷夹持器
080-018固定螺钉(用于母型同轴)
082-044Teflon 螺钉(用于片簧)
750-115-P4联轴器(安装到波纹管组件)
750-169-P2波纹管组件(不包括联轴器)
750-171-P1指形弹簧触点
750-172-G1晶体支架(包括止动弹簧)
750-174-P2母型同轴
750-175-P1绝缘体(片簧下面)
750-188-P3片簧
008-007CRYSTAL SNATCHER
750-210-G1闸门模块(波纹管组件、轴组件和闸门组件)
750-215-G1轴组件(闸门模块的组成部分)
750-216-G1闸门组件(闸门模块的组成部分)
In-vacuum cables
321-039-G12真空电缆,15.2 厘米(6 英寸)
007-252真空电缆,30.5 厘米(12 英寸)
321-039-G11真空电缆,61.0 厘米(24 英寸)
007-044真空电缆,78.1 厘米(30.75 英寸)
007-059真空电缆,91.4 厘米(36 英寸)
007-061真空电缆,121.9 厘米(48 英寸)- 需要 ModeLock 控制器
321-039-G13真空电缆,154.2 厘米(60 英寸)- 需要 ModeLock 控制器
321-039-G14真空电缆,182.9 厘米(72 英寸)- 需要 ModeLock 控制器
321-039-G15真空电缆,3.5 米(137.8 英寸)- 需要 ModeLock 控制器和4 米 XIU
321-039-G16真空电缆,4 米(157.5 英寸)- 需要 ModeLock 控制器和4 米 XIU


相关标签: 薄膜沉积和电子枪控制装置,前装式双传感器价格,前装式双传感器批发

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