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STM-2XM 双通道速率/厚度监测仪

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STM-2XM 双通道速率/厚度监测仪

  • 所属分类:沉积控制器

  • 点击次数:
  • 发布日期:2018/01/04
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详细介绍

STM-2XM 双通道速率/厚度监测仪

多个应用的简单操作
STM-2XM 双通道速率 厚度监测仪.jpg

STM-2XM 是一款双通道速率/厚度监测仪,它将高精度与灵活编程相结合,易于操作,价格实惠。

STM-2XM 配有五种操作模式,可适应从简单到复杂的各种过程。 例如,使用简单模式仅监测单一传感器最简单的过程,或使用合金模式进行共沉积监测。 独立模式可将 STM-2XM 用作两个完全独立的监测仪。 

两个传感器输入可以使用两个单石英晶体传感器或一个双石英晶体传感器。 每秒进行 10 次测量,从而实现每次测量 0.037 Å 的分辨率(密度为 1)。

功能丰富

STM-2XM 有八个可编程的数字输入、八个可编程的数字输出以及四个模拟输出,允许通常保留用于更昂贵仪器的集成水平。

可编程的功能包括闸门延迟、时间/功率监测和速率采样。 使用所有这些功能可实现最精确的读数和最长的晶体使用寿命。

通过简单的前面板界面或通过随附的 LabVIEW® 软件,运行并监测 STM-2XM。 这一简单的软件功能齐全并且易于使用。

易于使用

STM-2XM 配备了高对比度的 LCD 显示屏和直观的菜单系统。 整个菜单内均可找到屏幕提示,用于简单的引导式编程和操作。 易于阅读的 LCD 可显示累积的质量或厚度。

功能

  • 两条测量通道

  • 用于速率、速率偏差或厚度的四个模拟输出

  • 八个可编程的数字输入

  • 八个可编程的数字输出

  • 每秒 10 个读数时的高精度

  • 显示质量或厚度

  • 共沉积监测功能

典型应用

  • 单/双传感器监测

  • 共沉积监测

规格

类型STM-2XM
兼容传感器
Single/shuttered single or dual QCM sensor
传感器输入
Two
测量频率范围
6.0 to 5.0 MHz (fixed)
频率分辨率
±0.03 MHz at 6 MHz
参考频率稳定性
±2 ppm
厚度和速率分辨率/测量
±0.037 Å @ tooling/density = 100/1, fundamental frequency = 6 MHz
测量间隔
0.10 s
存储薄膜
15
显示模式
Thickness/Mass
数字输入
Eight
数字输出
Eight
模拟输出
Four
模拟输出额定参数
0 to +/-10 V, 10 mA
继电器额定参数
Up to 48 V (dc) • V (ac), 2A
电源要求
120/240, 50/60 Hz, 2.5 VA

零件号

STM-2XM
零件号明细
STM-2XM-G1STM-2XM 监测仪,美式电源线
STM-2XM-G2STM-2XM 监测仪,欧式电源线

附件

名称说明
前装式单传感器前装式单传感器
前装式双传感器前装式双传感器
炫酷抽屉单传感器炫酷抽屉单传感器
炫酷抽屉双传感器炫酷抽屉双传感器
UHV 可烘烤传感器UHV 可烘烤传感器
ALD 探头ALD 探头
溅射传感器溅射传感器
零件号明细
783-014-008机架安装套件 - 在一个 48.3 厘米(19 英寸)机架中安装一个 STM-2XM 仪器
783-014-009双机架安装套件 - 在一个 48.3 厘米(19 英寸)机架中安装两个 STM-2XM 仪器
Oscillator kits(包括振荡器和电缆)
783-500-109-103 米(10 英尺)振荡器套件 - 包括 OSC-100 振荡器、15.2 厘米(6 英寸)BNC 电缆和 3 米(10 英尺)BNC 电缆
783-500-109-257.6 米(25 英尺)振荡器套件 - 包括 OSC-100 振荡器、15.2 厘米(6 英寸)BNC 电缆和 7.6 米(25 英尺)BNC 电缆
783-500-109-5015.2 米(50 英尺)振荡器套件 - 包括 OSC-100 振荡器、15.2 厘米(6 英寸)BNC 电缆和 15.2 米(50 英尺)BNC 电缆
783-500-109-7522.8 米(75 英尺)振荡器套件 - 包括 OSC-100 振荡器、15.2 厘米(6 英寸)BNC 电缆和 22.8 米(75 英尺)BNC 电缆
Oscillator Only(未随附电缆)
783-500-013仅 OSC-100 振荡器(无电缆)
Cables
782-902-01115.2 厘米(6 英寸)BNC 电缆,公型/母型
782-902-012-103 米(10 英尺)BNC 电缆,公型/公型
782-902-012-257.6 米(25 英尺)BNC 电缆,公型/公型
782-902-012-5015.2 米(50 英尺)BNC 电缆,公型/公型
782-902-012-7522.8 米(75 英尺)BNC 电缆,公型/公型

耗材

名称说明
石英监控器晶体石英监控器晶体


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