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SQM-160 薄膜沉积监控器

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SQM-160 薄膜沉积监控器

  • 所属分类:沉积控制器

  • 点击次数:
  • 发布日期:2018/01/04
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详细介绍

SQM-160 薄膜沉积监控器

SQM-160 使用成熟的 INFICON 石英晶体传感器技术在薄膜沉积过程中测量速率和厚度。两个传感器输入为标准输入,另外四个传感器输入为可选输入。两个记录器输出提供模拟速度和厚度信号。

sqm160膜厚检测仪.jpg
传感器输入可分配给不同的材料,在大型系统中平均分配以实现精确的沉积控制,或者配置为双传感器。速率采样模式可在高速率过程中屏蔽传感器,从而延长传感器的使用寿命。速率显示为 0.1Å/s 或 0.01Å/s,用户可自行选择。此外,还可以选择频率或质量显示。凭借四个继电器输入,SQM-160 可控制来源或传感器屏蔽、信号时间和厚度设定点以及信号晶体失效。数字输入允许外部信号启动/停止和归零读数。

功能

  • 两个标准测量通道,另外四个可选

  • 模拟输出便于记录速率/厚度

  • 高分辨率选项: 每秒 10 个读数时 0.03 赫兹

  • RS-232 标准接口,可选择连接 USB 或以太网

规格

类型SQM-160 Standard ResolutionSQM-160 High Resolution
QCM 传感器输入
Standard: 2; optional: 4Standard: 2; optional: 4
测量频率范围
Adjustable:
1.0 MHz minimum
6.5 MHz maximum
Adjustable:
1.0 MHz minimum
6.5 MHz maximum
频率分辨率 (1)
± 0.30 Hz± 0.03 Hz
厚度和速率分辨率/测量 (2)
± 0.37 ű 0.037 Å
测量周期
0.10 to 2.0 s (adjustable)0.10 to 2.0 s (adjustable)
测量过滤器
1 to 20 readings1 to 20 readings
存储薄膜
9999
模拟输出
Two 0 to 5 VDC, rate & thicknessTwo 0 to 5 VDC, rate & thickness
数字输入/输出
Four inputs, four relay outputsFour inputs, four relay outputs
通信接口

Standard: RS-232;

Optional: USB or Ethernet

Standard: RS-232;

Optional: USB or Ethernet

功率
100-120/200-240 VAC, 50/60 Hz, 20 W100-120/200-240 VAC, 50/60 Hz, 20 W
CE 合规性

Class 1 equipment,

73/72/EEC LVD, 89/336/EEC ECD

Class 1 equipment,

73/72/EEC LVD, 89/336/EEC ECD

壳体/安装

1/2-rack cabinet, 3-1/2" high,

89 x 213 x 197mm (3-1/2" x 8-1/2" x 7-3/4")

1/2-rack cabinet, 3-1/2" high,

89 x 213 x 197mm (3-1/2" x 8-1/2" x 7-3/4")

重量
2.7 Kg (6 lbs)2.7 Kg (6 lbs)
Windows 软件(集成)

Provides remote setup and operation,

datalogging functions - see sample

screenshot at right.

Provides remote setup and operation,

datalogging functions - see sample

screenshot at right.

(1) 0.10 秒测量间隔的分辨率
(2) 工具/密度 = 100/1,基础频率= 6 赫兹,0.10 秒测量间隔

零件号

SQM-160_OrderChart_2013_web-01.png

附件

名称说明
前装式单传感器前装式单传感器
前装式双传感器前装式双传感器
炫酷抽屉单传感器炫酷抽屉单传感器
炫酷抽屉双传感器炫酷抽屉双传感器
UHV 可烘烤传感器UHV 可烘烤传感器
溅射传感器溅射传感器
零件号明细
782-900-008用于一台 SQM-160 或 CI-100 仪器的 19 in. 机架安装套件
782-900-014用于两台 SQM-160 或 CI-100 仪器的 19 in. 机架安装套件
782-502-096-G1USB 扩展卡
782-502-097-G1以太网扩展卡
Oscillator kits(包括振荡器和电缆)
783-500-109-103 米(10 英尺)振荡器套件 - 包括 OSC-100 振荡器、15.2 厘米(6 英寸)BNC 电缆和 3 米(10 英尺)BNC 电缆
783-500-109-257.6 米(25 英尺)振荡器套件 - 包括 OSC-100 振荡器、15.2 厘米(6 英寸)BNC 电缆和 7.6 米(25 英尺)BNC 电缆
783-500-109-5015.2 米(50 英尺)振荡器套件 - 包括 OSC-100 振荡器、15.2 厘米(6 英寸)BNC 电缆和 15.2 米(50 英尺)BNC 电缆
783-500-109-7522.8 米(75 英尺)振荡器套件 - 包括 OSC-100 振荡器、15.2 厘米(6 英寸)BNC 电缆和 22.8 米(75 英尺)BNC 电缆
Oscillator Only(未随附电缆)
783-500-013仅 OSC-100 振荡器(无电缆)
Cables
782-902-01115.2 厘米(6 英寸)BNC 电缆,公型/母型
782-902-012-103 米(10 英尺)BNC 电缆,公型/公型
782-902-012-257.6 米(25 英尺)BNC 电缆,公型/公型
782-902-012-5015.2 米(50 英尺)BNC 电缆,公型/公型
782-902-012-7522.8 米(75 英尺)BNC 电缆,公型/公型

耗材

名称说明
石英监控器晶体石英监控器晶体


相关标签: 沉积控制器,SQM-160薄膜沉积监控器价格,SQM-160薄膜沉积监控器批发

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