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SQC-310 薄膜沉积控制器

SQC-310 薄膜沉积控制器

  • 所属分类:薄膜沉积和电子枪控制装置

  • 点击次数:
  • 发布日期:2018/01/04
  • 在线询价
详细介绍

SQC-310 薄膜沉积控制器


高精度连续镀膜控制或共镀膜控制

SQC310_right_web.png
凭借先进的技术、完善的显示和实惠的价格,INFICON SQC-310 系列提供同类膜厚控制仪无法企及的优势。可以选择适合您应用的理想型号:连续镀膜 (SQC-310) 或共镀膜 (SQC-310C)。

功能

  • 明亮的彩色 LCD 显示屏 - 提供英文或中文版本

  • 标准 RS-232 和 USB(可选 RS-232 和以太网)

  • 设有“Quick Setup”(快速设定)菜单、6 个区分上下文按钮以及一个简便的参数设定旋钮,易于设定和操作

  • 用于开发、测试和下载过程的 Windows® 程序,以及用于将仪器数据记录到 PC 进行过程分析与质量控制的 Windows 程序

  • 精确的过程控制,尤其适用于低沉积速率,测量速率为每秒 10 个读数,测量分辨率为 ±0.03 Hz

  • 存储容量可达 100 个过程、1000 层薄膜、50 种薄膜材料

  • 使用单传感器或多传感器监控源材料,提供精确的源分布监控

规格

类型SQC-310SQC-310C
测量

QCM 输入
2 (4 optional)4
测量频率范围
Adjustable:
1.0 MHz minimum
6.5 MHz maximum
Adjustable:
1.0 MHz minimum
6.5 MHz maximum
频率分辨率 (1)
± 0.012 Hz± 0.012 Hz
厚度和速率分辨率/测量 (2)
±0.015 ű0.015 Å
频率稳定性
± 2 ppm total, 0 to 50C± 2 ppm total, 0 to 50C
测量周期
0.10 to 1.0 s (adjustable)0.10 to 1.0 s (adjustable)
速率显示
0.01 Å/sec0.01 Å/sec
控制

存储
100 processes, 1000 layers, 50 films100 processes, 1000 layers, 50 films
控制输出
2 (4 optional)4
输出信号
± 0 to 10 VDC, 15 bits± 0 to 10 VDC, 15 bits
数字输入/继电器
8/8 (16/16 optional)16/16
数字输入
5 VDC non-isolated5 VDC non-isolated
继电器
SPST Form 1A, 30V, 2A maxSPST Form 1A, 30V, 2A max
接口
Standard RS-232 and USB (RS-232 and Ethernet optional)Standard RS-232 and USB (RS-232 and Ethernet optional)
远程电源控制
Optional (IPN 782-900-017)Optional (IPN 782-900-017)
显示器

类型
1/4 VGA 320 x 240 active matrix color LCD1/4 VGA 320 x 240 active matrix color LCD
图表
Rate, deviation, power or full screen numericRate, deviation, power or full screen numeric
一般

功率
100-240 VAC, 50/60 Hz, 25W100-240 VAC, 50/60 Hz, 25 W
合规性
CE, RoHSCE, RoHS
Windows® 软件
IncludedIncluded
壳体/安装
5 1/4” half-rack5 1/4” half-rack
(1) 0.25 秒测量间隔的分辨率
(2) 工具/密度 = 100/1,基础频率= 6 赫兹,0.25 秒测量间隔

零件号

SQC-310-C_OrderChart_2013_web-01.png

附件

名称说明
前装式单传感器前装式单传感器
前装式双传感器前装式双传感器
炫酷抽屉单传感器炫酷抽屉单传感器
炫酷抽屉双传感器炫酷抽屉双传感器
UHV 可烘烤传感器UHV 可烘烤传感器
溅射传感器溅射传感器
CrystalSix 传感器CrystalSix 传感器
Crystal 12 传感器Crystal 12 传感器
RSH-600 旋转式传感器RSH-600 旋转式传感器
零件号明细
782-900-017手持功率控制装置,10 ft. (3 m) 卷线
782-900-007全高机箱扩展器 – 将一台 SQC-310 或 Composer Elite 安装到 19 in. 机架(包括封板)
782-900-016机架适配器 – 将两台 SQC-310 仪器安装到 19 in. 机架
782-502-097-G1以太网扩展卡
782-502-096-G2USB 扩展卡
Oscillator kits(包括振荡器和电缆)
783-500-109-103 米(10 英尺)振荡器套件 - 包括 OSC-100 振荡器、15.2 厘米(6 英寸)BNC 电缆和 3 米(10 英尺)BNC 电缆
783-500-109-257.6 米(25 英尺)振荡器套件 - 包括 OSC-100 振荡器、15.2 厘米(6 英寸)BNC 电缆和 7.6 米(25 英尺)BNC 电缆
783-500-109-5015.2 米(50 英尺)振荡器套件 - 包括 OSC-100 振荡器、15.2 厘米(6 英寸)BNC 电缆和 15.2 米(50 英尺)BNC 电缆
783-500-109-7522.8 米(75 英尺)振荡器套件 - 包括 OSC-100 振荡器、15.2 厘米(6 英寸)BNC 电缆和 22.8 米(75 英尺)BNC 电缆
Oscillator Only(未随附电缆)
783-500-013仅 OSC-100 振荡器(无电缆)
Cables
782-902-01115.2 厘米(6 英寸)BNC 电缆,公型/母型
782-902-012-103 米(10 英尺)BNC 电缆,公型/公型
782-902-012-257.6 米(25 英尺)BNC 电缆,公型/公型
782-902-012-5015.2 米(50 英尺)BNC 电缆,公型/公型
782-902-012-7522.8 米(75 英尺)BNC 电缆,公型/公型

耗材

名称说明
石英监控器晶体石英监控器晶体


相关标签: 薄膜沉积和电子枪控制装置,SQC-310薄膜沉积控制器价格,SQC-310薄膜沉积控制器批发

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